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Compact numérique Holographic Microscope pour les MEMS Inspection et caractérisation de Lens-moins
Data Acquisition Protocol for Determining Embedded Sensitivity Functions
Journal (Engineering)
Data Acquisition Protocol for Determining Embedded Sensitivity Functions
High-resolution, High-speed, Three-dimensional Video Imaging with Digital Fringe Projection Techniques
Journal (Engineering)
High-resolution, High-speed, Three-dimensional Video Imaging with Digital Fringe Projection Techniques
 
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Compact numérique Holographic Microscope pour les MEMS Inspection et caractérisation de Lens-moins

Article DOI: 10.3791/53630-v • 10:28 min • July 5th, 2016
July 5th, 2016 •
1, 1, 1, 2, 1,2
1School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, 2d'Optron Pte Ltd

Chapters

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Nous présentons un système holographique numérique de réflexion compact (CDHM) pour l'inspection et la caractérisation des dispositifs MEMS. Une conception de lentille moins en utilisant une onde d'entrée divergente fournissant un grossissement géométrique naturelle est démontrée. Des études à la fois statiques et dynamiques sont présentées.

Tags

Ingénierie numéro 113 holographie numérique système d'imagerie la mesure de la phase quantitative la microscopie les essais non destructifs MEMS
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