Journal
/
Engineering
/
Gözenekli ve Katı Silikon Gofretlerin Metal Destekli Elektrokimyasal Nanoimprintingi
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Gözenekli ve Katı Silikon Gofretlerin Metal Destekli Elektrokimyasal Nanoimprintingi

DOI:
10.3791/61040-v

•

09:18 min

•

February 08, 2022

•

, , ,
1The Polytechnic School,Arizona State University

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 01:19Mac-imprint Stamp Preparation
  • 02:43Photoresist Ultraviolet (UV) Nanoimprinting
  • 04:05Gold and Silver/Gold Catalyst Thin Film Deposition
  • 05:17Silver/Gold Catalyst Thin Film Dealloying
  • 06:01Mac-imprint Operation
  • 07:33Results: Representative Au Porous Stamp and Si Mac-imprint Imaging
  • 08:31Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

3D mikro ölçekli özelliklerin 20 nm altı şekil doğruluğuna sahip metal destekli kimyasal baskı için katı ve gözenekli silikon gofretlere bir protokol sunulmaktadır.

Tags

Metal-assisted Electrochemical NanoimprintingPorous SiliconSolid SiliconHierarchical MicrostructuresMetasurface-based Microoptic ElementsWaveguide TechnologiesOptical BiosensorsInfrared Optical DevicesIII-V SemiconductorsStamp To Substrate Tip And Tilt AlignmentRCA-1 SolutionPFOCSPDMSUV Nanoimprinting

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Fonksiyonel Malzemelerin Nanomoulding, Nanoimprinting bir yönlü Tamamlayıcı Desen Çoğaltma Yöntemi

VB Fabrikasyon<sub> 2</subElektrokimyasal Test için> / Hava Hücreleri

Organofosfor Bileşikleri Kullanma Silikon Yüzeyler ve Nanotellerin monolayer İletişim Doping

Silikon Doğrudan Gofret Yapıştırma ile Tek tip Nano ölçekli Boşlukların İmalatı

Protonsuz Li-O Elektrokimyasal Testi Protokol ve Karakterizasyonu<sub> 2</sub> Pil

Plazmatronun ablatif Malzeme Test sırasında Emisyon Spektroskopik Sınır Tabaka İncelenmesi

Elektrokimyasal Dağlama ve Elektron Etki İyonizasyon için Sharp Field Emission Noktaları Karakterizasyonu

Beyaz Fabrikasyon Exciplexes gelen Kararlı Emisyon ile elektrokimyasal Hücreleri Işık yayan

Spin ve açı çözüldü Photoemission spektroskopisi polarizasyon değişkenli lazer ile kombine için deneysel yöntemleri

Silikon uçlu Fiber Optik algılama peron ile yüksek çözünürlüklü ve hızlı tepki

Read Article