Name: Die Messung der Ausgasraten von Stahl (Video) | JoVE Journal
Uploaded: 2016-12-13T15:00:00.000+00:00
Duration: 8 min 32 s
Description: Erfahren Sie die Messung von Wasserstoff-Ausgasraten aus Stahl-Vakuumkammern mit der Druckanstiegsmethode. Diese Technik ermöglicht systematische Messungen auch bei sehr geringen Ausgasraten und kleinen Proben.

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Diese Arbeit wurde gemeinsam vom Converging Research Center Program durch das Ministerium für Wissenschaft, IKT und Zukunftsplanung, Korea (NRF-2014M3C1A8048817) und dem R&D Convergence Program des NST (National Research Council of Science and Technology) der Republik Korea (CAP-14-3-KRISS) unterstützt.

Achtung: Bitte beachten Sie, alle geeigneten Sicherheitspraktiken, während die Geräte und Probenkammern Montage. Bitte tragen Sie persönliche Schutzausrüstung (Schutzbrille, Handschuhe, Sicherheitsschuhe, etc.). 1. Die Herstellung einer Probe Vakuumkammer <ol><li> Design und Herstellung der Vakuumkammer <ol><li> Vorbereiten und Konstruktionszeichnungen zu einem kommerziellen Anbieter oder ein hauseigenes Maschinenhalle zur Herstellung der Probe Vakuumkammer vorzulegen. Ein repräsentatives Beispiel für das Design für eine Vakuumkammer S20C Stahl Zeichnung ist in Abbildung 1 dargestellt. Die Kammer in diesem Experiment entworfen ist sehr einfach und wird üblicherweise durch Vakuumunternehmen verwendet. HINWEIS: Der Hersteller sollte ein Grundwissen über UHV-Systeme haben. </li><li> Überprüfen Sie alle Dimensionen Einhaltung der Zeichnung zu gewährleisten. </li><li> Nach der Formgebung (Bearbeitung) die Vakuumkammer, decken Sie die Ende CF-Flansche mit Kunststoff da zu verhindernmage während des Transports. </li></ol></li><li> Reinigung HINWEIS: Beachten Sie die örtlichen Umwelt, Gesundheit und Sicherheitsbestimmungen bei der chemischen Reinigung. Persönliche Schutzausrüstung tragen. Behandeln Sie die Teile Vinyl-Handschuhe verwenden. Sie nicht die Teile nicht mit bloßen Händen berühren. <ol><li> Reinigen Sie die Stahlteile nach dem UHV Reinigungsverfahren für Stähle. Ein typisches Reinigungsverfahren wird nachstehend beschrieben. </li><li> Entfetten der Teile eines Lösungsmittels, wie beispielsweise unter Verwendung von Aceton für 5 min bei Raumtemperatur. </li><li> Reinigen der Teile in einem Ultraschallbad für 20 min unter Verwendung einer BN-Reiniger (pH 13). </li><li> Spülen Sie die Teile mit Leitungswasser für 10 Minuten, gefolgt von einer gründlichen Spülung mit VE-Wasser für 20 min. </li><li> Gründlich mit Alkohol und fönen trockenen Stickstoffgas. </li><li> Wickeln Sie die Teile in einer sauberen, fusselfreien Papier und lassen Sie die Teile an der Luft trocknen für einen Tag. </li></ol></li><li> Schweißen HINWEIS: Verwenden Sie nicht die Teile nicht mit bloßen Händen berühren. Das Wirlder sollte in UHV Schweißen ausgebildet werden. <ol><li> Legen Sie die Teile auf einer Schweißbank. </li><li> Vormontieren, die Teile und richten Sie die Teile gemäß der Konstruktionszeichnung. </li><li> Rückspülung mit Argongas (5 l / min) zur Verhinderung von Korrosion während des Schweißens. </li><li> Tack schweißen die Endflansche mit dem Wolfram-Inertgas (WIG) Schweißtechnik (Argon Flussrate: 8,9 l / min). 15 </li><li> Weld die Endflansche mit vollständig die TIG-Technik und einen Wende jig. Zulassen der Wärmeeinflusszone auf Raumtemperatur abkühlen. Stoppen Sie den Argongasstrom. </li></ol></li><li> Lecktest <ol><li> Siegel ein Ende der Kammer mit einem CF-Blindflansch. </li><li> Schließen Sie das andere Ende mit einem Helium-Lecksucher (HLD). </li><li> Abpumpen des Probenvakuumkammer mit dem HLD. </li><li> Legen Sie die Wärmeschweißnaht in einem Kunststoffbeutel und füllen Sie den Beutel mit Heliumgas. </li><li> Messen Sie jede Veränderung in der Helium-Ebene. Stellen Sie sicher, dass die Kammer dicht ist. Der Helium-Leckrate should sein &lt;1 × 10 - 11 Pa m 3 sec - 1 (1 x 10 - 10 mbar L s - 1). </li><li> Wenn kein Leck beobachtet wird, Entlüftung der Kammer. Andernfalls Neuschweißen die Vakuumkammer nach dem Entlüften (wiederholen Sie die Schritte 1.3.3 bis 1.4.5). </li></ol></li></ol> 2. Die Herstellung der Ofen <ol><li> Bereiten Sie und die Konstruktionszeichnungen an einen Lieferanten einreichen oder eine hauseigene Maschinenhalle für den Ofen Herstellung. Siehe das Bild in Abbildung 2 dargestellt. </li><li> Beschaffen Sie die notwendigen Teile und Zubehör in Temperaturregelung der Liste spezieller Werkstoffe / Ausrüstung beschrieben. </li><li> Schließen Sie die Kühlleitung. </li><li> Versorgen Sie Wasser in einen Kühler gekühlt. Führen Sie den Kühler und undichte Stellen kontrollieren. Stoppen Sie den Kühler. </li></ol> 3. Experimenteller Aufbau für RoR Messungen <ol><li> Sammeln Sie die erforderlichen Vakuumausrüstung / Hardware angegeben inDie Liste der einzelnen Werkstoffe / Ausrüstung. Der Versuchsaufbau besteht in erster Linie aus einer SRG, ein Restgasanalysators (RGA), eine Turbomolekularpumpe (TMP) mit einer Grobpumpe (RP) ausgestattet, ein Ganzmetall - Eckventil (AV Ch), ein T - Stück (CF35) und eine Reduzierung (CF35 bis CF63). Zusätzliche Elemente können einen Heliumleckdetektor umfassen und eine UHV Anzeige, wie sie in der Liste der spezifische Materialien / Geräte aufgeführt. Der AV - Ch sollte einen drehbaren Flansch auf dem Sitz (Dichtung) Seite haben die SRG einpendeln. </li><li> Sammeln Sie die Schraubenschlüssel (M6 und M8), Kupferdichtungen (CF35 und CF63) und Schrauben / Muttern (M6 und M8) für die Montage erforderlich. </li><li> Verwenden Sie ein industrieller Ebene Meter, um die SRG montieren. </li><li> Behandeln Sie die Teile Vinyl-Handschuhe verwenden. Sie nicht die Oberfläche berühren, die ausgesetzt ist mit bloßen Händen zu saugen. Sicherheitsschuhe tragen. </li><li> Versammlung der Versuchsapparatur <ol><li> Montieren Sie die Vakuumkomponenten nacheinander Kupferdichtungen von der Pumpenseite auf die Probenseite mit, wie gezeigt in <strong&gt; 3. Legen Sie immer den Ventilsitzseite der Probenkammer zugewandt ist. Ziehen Sie alle Flanschverbindungen von Angesicht zu Angesicht mit einer Kupferdichtung (CF35) mit einem Schraubenschlüssel (M6), mit Ausnahme der Verbindung zwischen der Probenkammer und der Kammer Absperrventil (AV Ch). </li><li> Stellen Sie die SRG Flanschanordnung und die Probenkammer, so dass die Achse des SRG Kopf ist vertikal die Pegelanzeige verwendet wird; innerhalb von ± 2 ° (max) (Abbildung 4). Ziehen Sie die Flanschverbindung zwischen der Probenkammer und der AV - Ch, face-to-face, während das Niveau des SRG Flansch zu halten. Wenden Sie sich an das Handbuch des SRG Benutzer für eine detaillierte Anleitung. </li><li> Schließen Sie das RP und die HLD mit Ventilen (AV Ro, AV HLD) mit dem Spannflansch (KF) Anschluss des Abgas Ende des TMP zu isolieren. Vorsicht: Stellen Sie sicher, dass es keinen mechanischen Schock für die SRG Flanschanordnung oder Rotor. </li></ol></li><li> Lecktest <ol><li> Schalten Sie den HLD und warten, bis der Detektorbereit. Öffnen Sie die AV HLD und schließen Sie das AV - Ro. </li><li> Abpumpen das Setup des HLD verwenden. Beachten Sie die HLD Handbuch für die korrekte Arbeitsweise. Warten Sie ca. 30 min das restliche Heliumgas aus der Einrichtung heraus zu pumpen. Stellen Sie sicher, dass das Heliumniveau innerhalb der Mindestnachweisgrenze des HLD ist. </li><li> Spray Heliumgas durch das Leck-Prüfrille an den Flanschen. </li><li> Messen Sie jede Veränderung in der Helium-Ebene. Stellen Sie sicher, dass die Kammer dicht ist undicht. 11 Pa m 3 sec - - 1 (1 × 10 - 10 mbar L sec - 1) Der Helium - Leckrate sollte &lt;1 × 10 sein. </li><li> Im Falle einer Leckage von den Flanschen, nachgezogen werden sollten, die Flansche. </li><li> Wenn keine Lecks gefunden werden, die Dichtigkeitsprüfung zu stoppen und das Vakuumsystem entlüften. Öffnen Sie den AV - Ro und schließen Sie das AV - HLD. </li></ol></li></ol> 4. Messung der Ausgasraten <ol&gt; <li> Abpumpen Verfahren <ol><li> Abpumpen des Vakuumsystems durch das Einschalten der TMP und die RP zugleich. </li><li> Während der Pumpvorgang eingeschaltet ist, die erforderlichen Elemente für Bakeout sammeln; elektrische Heizung Bänder, Heizungssteuerungen, Handmultimeter, Al-Folie und Temperatursensoren / Kabel. </li></ol></li><li> Ausheizen Verfahren <ol><li> Entfernen Sie die SRG Kopf von der Flanschanordnung. Wrap Vakuumkomponenten (zwischen der SRG Flanschanordnung und dem Einlassflansch der TMP) in Heizbänder. </li><li> Überprüfen Sie und stellen Sie sicher, dass es keine elektrischen Kurzschluss zwischen den Heizern ist und die Vakuumteile mit Handmultimeter. </li><li> Verbinden Sie die Heizungen an die jeweiligen Steuerungen und wickeln Sie die Kammer in Al-Folie. </li><li> Erhöhen Sie die Temperatur auf 150 ° C mit einer Anstiegsrate von 1 ° C-2 ° C / min. </li><li> Halten der Kammer bei 150 ° C für 24-48 h unter Verwendung Ausheizen Programmsteuerung. Pflegen Sie die Temperatur des RGAElektronik unter 50 ° C Kühllüfter. </li><li> Entgasen jeder der RGA Filamente durch Elektronenbeschuss für mindestens 5 min. </li><li> Messen Sie die RGA - Spektrum von 1 bis 50 m / e , um sicherzustellen , dass die H 2 O - Peak (m / e = 18) weniger als die Hälfte der H 2 Peak (m / e = 2). Wenn nicht, auch weiterhin die Bakeout. </li><li> Das System kann bei einer Rampenrate auf Raumtemperatur abkühlen, von 1 ° C-2 ° C / min. Prüfen Sie auf undichte Stellen an den RGA-Spektrum bezieht nach unten während der kühlen gemessen. </li><li> Analysieren Sie den Restgas in der Probenkammer. Messen Sie die RGA-Spektrum. Schließen Sie das AV - Ch und messen wieder die RGA - Spektrum. Die RGA - Spektrum der Probenkammer entspricht der Differenz zwischen der erfassten Spektren vor und nach dem AV Ch schließt. </li><li> Stellen Sie sicher , dass die Summe aller Verunreinigungsgase, wie H 2 O, CO und CO 2, unter 5% liegt ; Andernfalls wiederholen Sie die Bakeout. </li></ol></li><li> Betrieb des SRG HINWEIS: Der ordnungsgemäße Betrieb der SRG ist sehr wichtig. Wenden Sie sich an die SRG Bedienungsanleitung für Anweisungen. <ol><li> Bauen Sie die SRG Kopf auf den SRG Flanschanordnung. </li><li> Stellen Sie sicher , dass die Achse des SRG Kopf innerhalb von ± 2 ° (max) (Abbildung 4). Verwenden Sie einen Pegelmesser als Referenz. </li><li> Starten Sie die SRG und warten auf die Stabilisierung des Rest ziehen, wird eine druckunabhängige Signal der SRG, die in der Regel ein paar Stunden dauert. </li><li> Geben Sie die richtigen Eingabeparameter, wie beispielsweise Gas (H 2), Temperatur (24 ° C) und Meßintervall (10 sec). </li></ol></li><li> Verfahren für die Einleitung Temperaturregelung <ol><li> Während des Wartens auf das Signal zu stabilisieren, stabilisieren die Temperatur der Probe. Schalten Sie den Kühler laufen Wasser durch das System zu kühlen. Stellen Sie die Flüssigkeitstemperatur auf 15 ° C. </li><li> Starten Sie den Heizungsregler für die Probe. Stellen Sie die Solltemperatur auf 24 ° C. Warten Sie for die Temperatur innerhalb von ± 0,1 ° C zu stabilisieren, nachdem die Tür des Ofens geschlossen wird. </li></ol></li><li> Verfahren zur Erfassung der SRG - Signal <ol><li> Überprüfen, ob die Änderung des Offsetwertes des Signals innerhalb ± 1 × 10 - 9 Pa / sec; Andernfalls wird die SRG aus dem System zu zerlegen und den Rotor oder Flanschanordnung, dann 3,5-4,4 wiederholen ändern. (Falls dies nicht möglich ist, erwerben die Steigung des Offset für 8-24 Std. Wird dies aus den gemessenen Ausgasungsrate Daten abgezogen werden.) </li><li> Überprüfen Sie den Signalpegel von SRG-Controller zur Verfügung gestellt; Sie sollte mindestens -10 dB sein. Idealerweise sollte es zwischen 0 und 6 dB sein. Jedoch Werte von bis zu 12 dB sind akzeptabel. Ist das Signal&gt; 14 dB, die SRG den Betrieb zu stoppen. Nehmen Sie den Kopf und erwärmen die Fingerhut bis 200 ° C. Wiederholen Sie den gesamten Vorgang ab Schritt 4.5.1. </li><li> Überprüfen Sie den Dämpfungspegel von SRG-Controller zur Verfügung gestellt; der optimale Wert liegt zwischen -; 35 und -60 dB, die normalerweise zufrieden im System unter Verwendung von TMP und Scroll-Pumpe, die auf einem Gummikissen gelegt wird. Andernfalls beenden Sie alle laufenden Geräte und Quellen aller mechanischen Schwingungen zu entfernen. </li></ol></li><li> Der Erwerb der RoR Daten <ol><li> Ziehen Sie das AV schließen den Druckaufbau zu beginnen. Achten Sie darauf, nicht die SRG zu einem mechanischen Schock zu unterziehen. </li><li> Schließen Sie die Tür des Ofens und erwerben Druckdaten für 8-24 h mit einem Computer. </li><li> Precheck die gemessenen Daten zu verifizieren, dass die Variation in der Temperatur innerhalb von ± 0,1 ° C nach der Stabilisierung ist, und daß der Druckanstieg ist linear innerhalb von 10% Fehler. Wenn diese Kriterien erfüllt sind, um die Messung zu stoppen. Andernfalls fahren zu messen, bis der Druckanstieg linear innerhalb von 10% Abweichung für mindestens 16 Stunden wird. </li><li> Schalten Sie alle Geräte. </li></ol></li><li> Die Berechnung der Ausgasungsrate <ol><li> Wählen Sie den Druck eingestellt, nachdem die Temperatur Stabilisation. </li><li> Setzen Sie die Druckanstiegsdaten unter Verwendung einer linearen kleinsten Quadrate und die Steigung zu berechnen. Die Steigung d P / d t ist die gemessene Geschwindigkeit des Druckanstiegs , nachdem das Ventil geschlossen ist. </li><li> Berechne die Ausgasrate, q (H 2 Äquivalente), unter Verwendung der Gleichung q = (V / A) (d P / d t) [Pa m 3 s - 1 m - 2], wobei V das Volumen der Probenkammer (m 3) ist und A die geometrische Oberfläche der Kammer (m 2). </li></ol></li></ol>

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Die Autoren haben keinen Interessenkonflikt zu erklären.

Zahlreiche Verfahren für die Messung von Ausgasraten wurden in der Literatur berichtet worden. Experimentelle Verfahren umfassen den Durchsatz Leitwert Modulation, Zwei-Weg, ROR, und Variationen dieser Methoden. Jedoch ist keine Methode ideal für die erforderlichen Daten zu erhalten Ausgasen. 10 Die RoR Methode SRG verwenden, jedoch wurde die Methode der Wahl für die Messung der geringe Ausgasung Materialien. 11-13 SRG 17 wird oft als Sekundärstandard in Hochvakuumsystemen ohne fehlerhaf...

Stähle werden routinemäßig wegen ihrer guten mechanischen Eigenschaften in Konstruktion. Bestimmte Stähle (Eisenstähle, insbesondere) sind bevorzugte Materialien für Anwendungen mit Vakuum. Je nach Art und Grad haben diese Stähle ausreichend niedrige Ausgasraten wesentlich für Hochvakuum (HV, 10 - 7 &lt;p &lt;10-5 Pa) oder Ultrahochvakuum (UHV, 10 -10 &lt;p &lt;10-7 Pa) Systeme . Ferner hat umfangreiche Forschung wurde auf die Entwicklung von speziellen Vorbehandlungsverfahren durchgeführt , die 1-3 Ausgasen reduzieren. Die Vorbehandlungsmaßnahmen sind so konzipiert , um die Pump Investitionen zu minimieren oder das Vakuum von HV zu UHV oder von UHV extremen Hochvakuum (p &lt;10-10 Pa) zu verbessern. Obwohl viele praktische Methoden wurden vorgeschlagen, um die Ausgasung Ratte zu reduzierene von Eisenstähle sind auf die Verringerung der Zeit und der Temperatur bisherigen Methoden konzentriert erforderlich eine geringere Ausgasung Rate zu erhalten. Wärmebehandlung bei 350 ° C-450 ° C statt Vakuum bei 800 ° C-950 ° C Brennen, ist ein gutes Beispiel für diesen Ansatz. Weiterhin 1,4,5, für eine bestimmte Vakuumanwendung die ideale Materialauswahl ist entscheidend; beispielsweise ein ferritisches Material mit einem sehr niedrigen Ausgasrate zur Verwendung in Magnetfeldabschirmung auswählt. 6,7 Während dieser Untersuchungen, die präzise Messung der Ausgasrate ist eine Voraussetzung für das Screening von Kandidatenmaterialien oder die Wirksamkeit der verschiedenen Vorbehandlungsverfahren zu überprüfen. 8,9 Die gebräuchlichsten experimentellen Techniken zur Messung der Ausgasung verwendet sind der Durchsatz und die Rate einer Druckerhöhung Methoden. 10 Kürzlich wurden verschiedene Experimente durchgeführt worden , um den Wasserstoff Ausgasungsrate auf der RoR - Methode unter Verwendung von Spin - Basis zu messenning Rotormesser (SRG). 1, 11-13 Die RoR Verfahren SRG mit ist sehr gut geeignet für sehr niedrige Wasserstoff Ausgasraten Messung , die oft den niedrigsten Druck erreichbar in einem Vakuumsystem aus Stahl begrenzen. Dies ist, weil die SRG vernachlässigbare Pump- oder Ausgasen Wirkung aufweist. Ferner hat die SRG auch eine hervorragende Genauigkeit und eine gute Linearität im Hochvakuum und Ultrahochvakuumbereich. 14 Da der veröffentlichten Literatur auf RoR Experimente beschränkt ist, lohnt es sich, die experimentellen Details zu beschreiben, ein tieferes Verständnis des Verfahrens zu entwickeln. In diesem Video-Artikel beschreiben wir ausführlich in den Prozess der Einrichtung des Experiments und bieten detaillierte Anweisungen Ausgasen Messungen mit Hilfe der RoR Methode auszuführen. Um die Wirksamkeit des Verfahrens zu demonstrieren, die Ausgasraten von zwei üblicherweise verwendeten Stählen (Edelstahl 304 und Weichstahl S20C) wurden vor und nach einer Wärmevorbehandlung gemessen, um den Wasserstoff zu reduzieren outgassing Rate. Die Vor- und Nachbehandlung Werte wurden verglichen. Typische experimentelle Ergebnisse einer recht einfachen Setup mit präsentiert die Wirksamkeit des Verfahrens zur Bewertung der geringen Wasserstoff Entgasen Raten optimiert zu demonstrieren.

<table><tbody><tr><td><stark>Probenkammer< / stark></td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>Edelstahl, 304</td><td>POSCO (www.posco.co.kr)</td><td></td><td></td></tr> <tr><td>Weichstahl, D3752</td><td>Xiangtan Eisen & Steel Co.,LTD (http://www.hnxg.com)</td><td></td><td></td></tr><tr><td>Baustahl, D3752</td><td>SeAh Besteel (www.seahbesteel.co.kr)</td><td></td><td></td></tr><tr><td>Name</td><td>Company</td><td>Katalognummer</td><td>Kommentare</td></tr><tr><td>Reinigung</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>Reinigungsbad</td><td>Samill IDS</td><td></td><td>Ultraschallreinigung, Heizung, Timer, Konzentrationskontrolle&nbsp;</td></tr><tr><td>Aceton</td><td>Samchun Chemical (www.samchun.com)</td><td>A1759</td><td>HPLC-Qualität (99,7%)</td></tr><tr><td>Tekusolv</td><td>NCH Co.&nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; (www.nch.com)</td><td>0368-0058J</td><td>Lösungsmittel</td></tr><tr><td>BN Reiniger</td><td>Henkel surface technologies (na.henkel-adhesives.com)</td><td>6610263775</td><td>Alkalisch, pH 13</td></tr><tr><td>Ethanol</td><td>Fisher Scientific (www.fishersci.com)</td><td>A995-4</td><td>HPLC Reagenz (99,9%)</td></tr><tr><td>Deionisiertes Wasser (Elektrodeionisierer SYSTEM)</td><td>A.T.A&nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; &nbsp; (www.atagroup.co)</td><td>EDI SYSTEM</td><td></td></tr><tr><td>Flüssigkeit N2 Gas</td><td>Hanyoung (www.gasmaster.co.kr)</td><td>B/T 176 L</td><td>LN2 Dewar, Reinheit 99,999%</td></tr><tr><td>Name<</td><td>>Firma</td><td>Katalognummer</td><td>Kommentare</td></tr><tr><td>Schweißen</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>Wolfram-Inertgas-Wedglemaschine</td><td>Thermischer Lichtbogen (www.victortechnologies.com/thermalarc)</td><td>400GTSW</td><td>Ar-Gas-Vorfluss und Nachfluss 8 L/min, Rückfluss 5 L/min</td></tr><tr><td>Drehvorrichtung</td><td>Vactron (www.vactron.co.kr)</td><td>Auf Bestellung</td><td>gefertigt</td></tr><tr><td>Ar-Gas</td><td>Lindekorea (www.lindekorea.com)</td><td></td><td>Reinheit 99,999%</td></tr><tr><td><stark>Name</stark></td><td>Company</td><td>Katalognummer</td><td>Kommentare</strong</td></tr><tr><td>>Dichtheitsprüfung</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>Lecksucher</td><td>Adixen (www.adixen.fr/en/)</td><td>ASM380</td><td>Saugvermögen (Luft): 9,7 L/sec</td></tr><tr><td>Er Gas</td><td>Lindekorea (www.lindekorea.com)</td><td></td><td>Reinheit 99,999%</td></tr><tr><td>Name</td><td>Unternehmen</td><td>Katalognummer</strong<></td>strong<td>>Kommentare</td></tr><tr><td>Vakuumausrüstung</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>Spinnrotor Messgerät&nbsp;</td><td>MKS Instruments (www.mks.com)</td><td>SRG-3</td><td>Controller, Kopf und Kauschen-Set</td></tr><tr><td>Oszilloskop</td><td>Tektronix (www.tek.com)</td><td>TDS2012B</td><td></td></tr><tr><td>Serieller Gasanalysator</td><td>Balzers</td><td>QMA200</td><td>m/e 0-100&nbsp;</td></tr><tr><td>TMP (HiPace 80)</td><td>Pfeiffer Vacuum (www.pfeiffer-vacuum.com)</td><td>PMP03941</td><td>Saugvermögen (N2): 67 L/sec</td></tr><tr><td>Scrollpumpe</td><td>Anest Iwata (www.anest-iwata.co.jp)</td><td>ISP 90</td><td>Saugvermögen (Luft): 1,8 l/sec</td></tr><tr><td>Ganzmetall-Easy-Close-Eckventil (CF35)</td><td>VAT Inc. (www.vatvalve.com)</td><td>54032-GE02-0002</td><td>Drehbarer Flansch</td></tr><tr><td>Eckventil ( KF25)</td><td>MDC Vacuum Inc. (www.mdcvacuum.com)</td><td>KAV-100</td><td></td></tr><tr><td>Name</td><td>Unternehmen<</td><td>strong>Katalognummer</td><td><>Kommentare</td></tr><tr><td>Temperaturregelung&nbsp; </td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>Chiller</td><td>JEIO Tech (www.jeiotech.com)</td><td>RW-2025G</td><td></td></tr><tr><td>Kühlleitung</td><td>LS Metal (www.lsmetal.biz)</td><td>C1100</td><td>Level Wound Coil, Durchmesser 10 mm</td></tr><tr><td>Heizungsregler</td><td>HMT</td><td>Auf Bestellung</td><td>gefertigt Bakeout-Programmregler</td></tr><tr><td>Elektrische Heizbänder Lebhafte</td><td>Hitze (www.briskheat.com)</td><td></td><td></td>BIH101080L</tr><tr><td>Thermoelement (Typ K)</td><td>miraesensor (www.miraesensor.com)</td><td>MR-2290</td><td></td></tr><tr><td>Handmultimeter</td><td>Saehan (www.saehan.co.kr)</td><td>3234</td><td></td></tr><tr><td>Datenrekorder (Temp.)</td><td>Yokogawa (www.yokogawa.com)</td><td>GP10-1E1F-UC10</td><td></td></tr></tbody></table>

die messung der ausgasraten von stahl

Measurement of Outgassing Rates of Steels

Stähle werden im allgemeinen Materialien in der Herstellung von Vakuum-Systeme aufgrund ihrer guten mechanischen, Korrosion und Vakuumeigenschaften verwendet. Eine Vielzahl von Stählen erfüllen das Kriterium der geringe Ausgasung für Hoch- oder Ultrahochvakuum-Anwendungen erforderlich ist. Jedoch kann ein bestimmtes Material unterschiedliche Ausgasraten präsentieren auf dem Herstellungsprozess oder die verschiedenen Vorbehandlungsverfahren bei der Herstellung beteiligt abhängig. Somit ist die Messung der Ausgasraten sehr wünschenswert für eine spezielle Vakuumanwendung. Aus diesem Grund wird die Rate-of-Druckanstieg (RoR) Verfahren häufig verwendet, um das Ausgasen von Wasserstoff nach Bakeout zu messen. In diesem Artikel wird eine detaillierte Beschreibung der Konstruktion und der Ausführung des experimentellen Protokolls in ROR-Verfahren beteiligt ist vorgesehen. Die RoR Verfahren verwendet einen Spinnrotor Spurfehler zu minimieren, die von Ausgasungen oder die Pumpwirkung eines Vakuummeter einzudämmen. Die Ausgasraten von zwei gewöhnlichen Stählen (Edelstahl und mild Stahl) wurden gemessen. Die Messungen wurden vor und nach der Wärmevorbehandlung der Stähle hergestellt. Die thermische Vorbehandlung von Stahl wurde ausgeführt, um die Ausgasung zu reduzieren. Extrem niedrige Raten von Ausgasung (in der Größenordnung von 10 - 11 Pa m 3 sec - 1 m - 2) routinemäßig unter Verwendung von relativ kleinen Proben gemessen werden kann.

Wie erwartet, wurde das Restgas nach dem Ausheizen hauptsächlich Wasserstoff. 7 Der Druckanstieg der SRG gemessen wurde linear über einen langen Zeitraum (Abbildung 5). So könnte die erneute Adsorption Effekt vernachlässigbar und die intrinsische Ausgasungsrate (q) für die in dieser Studie getesteten Stähle können die RoR - Methode bewertet werden. 10 Die gemessenen Druckanstieg Daten wurden unter Verwendung der linearen Methode der kleinst...

Ein Protokoll zur Messung der Ausgasungsraten von Wasserstoff aus gewöhnlichen Stahlvakuumkammern unter Verwendung der Druckanstiegsmethode wird vorgestellt.

Die Messung der Ausgasraten von Stahl

Steels are commonly used materials in the fabrication of vacuum systems because of their good mechanical, corrosion, and vacuum properties. A variety of ...

Das übergeordnete Ziel dieses Verfahrens ist es, die Ausgasungsrate von Wasserstoff aus Vakuumkammern mit Hilfe der Methode des Druckanstiegs zu messen. Diese Methode kann helfen, wichtige Fragen im Bereich der Vakuummessung zu beantworten, wie z. B. die Messung der Ausgasungsrate von Materialien mit sehr geringer Ausgasung. Der Hauptvorteil dieser Technik besteht darin, dass die Ausgasungsrate auch bei extrem gering ausgasenden Materialien oder relativ kleinen Proben systematisch gemessen werden kann.Das Verfahren wird von Se-Hyun Kim, einer Doktorandin aus meinem Labor, demonstriert. Zuerst werden die Vakuumkomponenten der Versuchsapparatur nacheinander mit Kupferdichtungen von der Pumpenseite zur Probenseite zusammengebaut. Ziehen Sie mit einem Schraubenschlüssel alle Flanschverbindungen von Angesicht zu Angesicht mit einer Kupferdichtung fest, mit Ausnahme der Verbindung zwischen der Probenkammer und dem Kammerabsperrventil.Stellen Sie mit einem Füllstandsmesser das rotierende Rotormessgerät oder die SRG-Flanschbaugruppe und die Probenkammer so ein, dass die Achse des SRG-Kopfes vertikal ist. Ziehen Sie die Flanschverbindung zwischen der Probenkammer und dem Kammerabsperrventil

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Forschung

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Engineering

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