通过硅直接晶圆粘接制造均匀纳米级腔

描述了永久粘合两个硅晶片以实现统一外壳的方法。这包括晶圆制备、清洁、RT 粘接和退化过程。由此产生的粘结晶圆（细胞）具有外壳均匀性^~1%1，2。由此产生的几何形状允许测量封闭的液体和气体。