Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

ייצור חללים ננומטריים אחידים באמצעות מליטה וופל ישיר סיליקון
 
Click here for the English version

ייצור חללים ננומטריים אחידים באמצעות מליטה וופל ישיר סיליקון

Article DOI: 10.3791/51179-v 10:32 min January 9th, 2014
January 9th, 2014

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

שיטה לחיבור קבוע של שני ופלים מסיליקון כדי לממש מארז אחיד מתוארת. זה כולל הכנת רקיקים, ניקוי, מליטה RT, ותהליכי חישול. ופלים מלוכדים וכתוצאה מכך (תאים) יש אחידות של המתחם ~ 1%1,2. הגיאומטריה המתקבלת מאפשרת מדידות של נוזלים וגזים מוגבלים.

Tags

Physics הנפקה 83 מליטה ישירה של רקיק סיליקון ננומטרי ופלים מלוכדים רקיק סיליקון נוזלים מוגבלים טכניקות ליתוגרפיות
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter