Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

A subscription to JoVE is required to view this content.

Design en karakterisatie methodologie voor efficiënte Wide Range afstembare MEMS Filters
 
Click here for the English version

Design en karakterisatie methodologie voor efficiënte Wide Range afstembare MEMS Filters

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Een protocol voor een vaste-fixed beam-ontwerpen met behulp van een laser Doppler vibrometer (LDV), met inbegrip van de meting van de frequentie afstemmen, wijziging van tuning mogelijkheden, en het vermijden van apparaatfout en stiction, wordt gepresenteerd. De superioriteit van de LDV-methode over de netwerkanalyse blijkt toe te schrijven aan zijn hogere modus vermogen.

Tags

Engineering kwestie 132 microschakelaars systems (MEMS) filters complementary metal-oxide semiconductor (CMOS)-MEMS microresonator breed scala actieve frequentie afstemming hoge-modus resonantie Joule Verwarming stiction laser Doppler vibrometer () LDV)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter