Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

A subscription to JoVE is required to view this content.

Проектирование и характеристика методологии для эффективного широкий диапазон МЭМС Перестраиваемые фильтры
 
Click here for the English version

Проектирование и характеристика методологии для эффективного широкий диапазон МЭМС Перестраиваемые фильтры

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Протокол для фиксированной фиксированного луча дизайн, с использованием лазера Doppler Виброметр (АМГ), включая измерение частоты тюнинг, изменения настройки возможности и недопущение отказа устройства и stiction, представил. Превосходство метода LDV над сетевой анализатор продемонстрировал из-за его выше возможности режима.

Tags

Машиностроение выпуск 132 микроэлектромеханических систем (MEMS) фильтры дополнительные металл оксид-полупроводник (CMOS)-MEMS микрорезонаторных широкий диапазон активных частоты тюнинг высокой режиме резонанса Джоуль Отопление stiction лазерные доплеровские Виброметр ( АМГ)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter