JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
En protokoll for metallassistert kjemisk avtrykk av 3D-mikroskalafunksjoner med formnøyaktighet under 20 nm til faste og porøse silisiumskiver presenteres.