This is a free preview. For full access
Photolithography for Silicon Wafer Patterning
Description
Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.
The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...
Show More
Transcript
أدت الحاجة المتزايدة للأجهزة المحمولة ذات أحجام العينات الصغيرة للغاية إلى تصغير الأجهزة التي تسمى BioMEMs. يتم إنتاج BioMEMs عن طريق التصنيع الدقيق. عملية تصنيع الهياكل الدقيقة باستخدام تقنية أشباه الموصلات. غالبا ما تستخدم تقنية التصنيع الدقيق التي تسمى الطباعة الحجرية الضوئية لتصميم الأنماط المعقدة على الركيزة باستخدام الضوء. سيقدم هذا الفيدي...
Show More