$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
تسلسل عملية # 1 : النقش الساخنة ، وتصنيع الآلات والمذيبات البخار لحام
يتم نسخ CellChip في تصميمه مكعب بحلول النقش ساخنة أو الجزئي حقن. لهذا ، ونحن نستخدم قالب نحاس مجهريا مع الهندسة العكسية للرقاقة. الحاويات -- مرتبة في مجموعة منتظمة تصل إلى 1156 حاوية -- لديها تصميم مكعب مع طول الحافة من 300 ميكرون. النقش على الساخن ، ويتم تنفيذ عملية النسخ المتماثل على WUM02 التقليدية (Jenoptik Mikrotechnik ، ألمانيا). الأداة تتألف من اثنين من لوحات معدنية دائرية. في خطوة أولى ، يتم وضع صفيحة رقيقة PMMA (Lucryl ، G77Q11 ، BASF) في وسط لوحة أقل من أداة فتح. هي التي شنت centrically إدراج العفن microstructured في اللوحة العلوية. ثم يتم إغلاق أداة لإجلاء من العفن وتسخينها إلى درجة حرارة أعلى من درجة حرارة التحول الزجاجي من البوليمر. عن طريق الضغط على لوحات معا ، هو دفع البوليمر لزج في تجاويف اجلاء حتى تمتلئ تماما أنها تكرار بالضبط هندسة العفن. بعد التبريد الأداة ، يمكن demoulded الجزء microstructured البوليمر. هذه العملية تتطلب المزيد من البوليمر الشامل أكثر مما هو مطلوب فعلا لملء تجاويف القالب. الفائض يشكل طبقة البوليمر المتبقية والتي يمكن استخدامها لتخفيف demoulding الجزء. ومع ذلك ، لخلق مسام قطرها أصغر من 3 ميكرومتر في الجزء السفلي من الحاويات ، وطبقة سميكة المتبقية يجب أن تكون ضعيفة إلى أسفل ، أو حتى إزالتها تماما وحلت محلها غشاء يسهل اختراقها. لتبسيط عملية التكامل المسام ، يتم إزالتها بالكامل الجزء الخلفي من CellChip منسوخة بواسطة طاحونة بالقطع مع الماس. لذلك ، يتم إصلاح الأجزاء على لوحة التركيب وتبريد ، بالإضافة إلى ذلك ، يتم تجميد هياكل هشة في الماء deionised لحمايتها من التلف.
في خطوة عملية الماضي ، المستعبدين أخيرا التجارية ايون المسار محفورا غشاء (البولي ، وسمك 10 ميكرون ، مسام حجم 3 ميكرون ، 2x10 6 المسام / سم ² ، بيبر تصفية شركة محدودة) إلى الجزء الخلفي من مجموعة من حاويات فتحت الآن على حد سواء أعلى وأسفل. عملية التسنيد هو بخار لحام المذيبات عملية تتم في غرفة ، gastight ساخنة [الشكل. 1] ، ويتألف من المكبس العلوي والسفلي لوحة متحركة مع تشوك فراغ متكاملة. 4 يصل إلى أربعة CellChips تشكيله والأغشية المسار محفورا يتعرضون بالتوازي مع مذيب تبخر بعد أن تم اخلاء القاعة. ثم يتم الضغط على أجزاء مقولب والأغشية معا بواسطة المكبس العلوي. بعد فترة قصيرة من التعرض (<15 ق) ، تم إخلاء القاعة من جديد وبالتالي إزالة المذيب. بسبب الوقت القصير الاتصال ، يتم حله إلا بالقرب من سطح المادة ويمكن تجنب تشوه هيكل بالجملة بسبب الحمل الميكانيكية. أخيرا ، يتم فتح الغرفة ويمكن إزالة المذيب CellChips ملحومة وإعدادها للزراعة الخلايا [الشكل. 2].
الشكل 1.
الشكل 2.
تسلسل عملية # 2 : الإشعاع الأيوني الثقيلة ، والنقش على المسار microthermoforming (عملية SMART)
عملية جديدة تسمى SMART هي تقنية تم تطويرها مؤخرا لتصنيع functionalized الصغيرة الغشاء مثل المجهرية. يستند 5 والتكنولوجيا في عملية microtechnical بالحرارة ، ويسمى 'microthermoforming. 6،7 في هذه الخطوة العملية المركزية ، والتي تم تكييفها من العيانية عملية محاصرة ورقة بالحرارة ، ويتم تشكيل ساخن فيلم البوليمر رقيقة خففت الدولة في تقريرها المطاط ، ومرونة عن طريق ضغط الغاز داخل تجويف القالب [الشكل. 3]. على عكس النقش ساخنة أو حقن صب ، وهذه العملية ليست تشكيل الابتدائي وليس ذوبان البوليمر. يرجع ذلك إلى حقيقة أن يتم تشكيل الفيلم لا يزال في حالة صلبة مع تماسك مواد دائمة يمكن ، أولا تعديلات المادة مع قرارات الوحشي عالية يمكن إنشاء مستو على أفلام البوليمر ويتم الحفاظ عليها في جميع مراحل عملية التشكيل. بعد الخطوة microthermoforming ، يمكن زيادة هذه التعديلات بشكل انتقائي معالجتها ، على سبيل المثال ، عن طريق المعالجة الكيميائية الرطبة.

الشكل 3
عملية SMART من حيث المبدأ يتكون من خطوات عملية من ثلاث :
- إنشاء أنماط التعديل إلى حد كبير على حل مستو أفلام البوليمر رقيقة في عملية ما قبل
- 3D حالات العسر الشديدجي من الأفلام التي microthermoforming دون خسارة (المنقوشة) تعديلات
- بعد عملية (اختياري) لfunctionalisation النهائي رقيقة الجدران أجزاء microstructured
عملية SMART نحن نطبق حاليا لتصنيع CellChips مسامية يتضمن الخطوات العملية التالية [الشكل. 4]. غير المشع فيلم البوليمر رقيقة ، على سبيل المثال ، من البولي (Pokalon OG461Gl ، 50 ميكرون ، LoFo عالية التقنية السينمائي محدودة ، ألمانيا) ، مع تسارع الأيونات الثقيلة (مثل XE ، الاتحاد الافريقي أو الأيونات U) في مرافق التسريع من GSI (دارمشتات ألمانيا) مع طاقات تقريبا. 1 جيف وfluences في الترتيب من 106 8 بعد التبريد الأداة ، يمكن demoulded الجزء رقيقة الجدران. ايونات / سم ². عندما يخترق من خلال الفيلم ، كل أيون ينتج درب مستقيم تقريبا من المواد المعدلة ، ودعا المسار الكامنة. ثم يتم حراريا الأفلام قبل المعالجة لمجموعة من microcontainers 25x25 رقيقة الجدران ، مع كل قطر وعمق 300 ميكرون. تتم حاليا عملية النقش على الصحافة الساخنة تعديل [الشكل. 5] ، حيث فرضت البوليمر في الفيلم بين لوحات معدنية اثنين. وقد تم تجهيز اللوحة العلوية مع العفن مجهريا واحد يحتوي على أقل من الضغط والموصلات الكهربائية. ويمتد الفيلم إلى microcavities اجلاء سابقا من العفن بواسطة النتروجين مع ضغط يصل إلى 5 ميغاباسكال. وتشكل هذه الأفلام بالقرب من درجة حرارة التحول الزجاجي منع المسار الصلب.

الشكل 4
الشكل 5
في عملية واحدة آخر ، وحفرت بشكل انتقائي لايون المسارات المسام بغمر المجهرية بأكمله إلى وسيلة النقش المناسب (على سبيل المثال ، 5 مول / لتر هيدروكسيد الصوديوم ، و 10 ٪ ث / MeOH الخامس). من خلال التحكم في أوقات الحفر والنقش على الشروط ، مثل درجة الحرارة ، وتركيز والمواد المضافة الخاصة (على سبيل المثال ، حفر المروجين) ، ويمكن تعديل حجم وشكل المسامات الناتجة [الشكل. 6].
الشكل 6