流动辅助介: 一种低成本的制备高性能溶液可纳米线器件的方法

本文对纳米线器件的自组装进行了流动辅助介。以硅纳米线场效应晶体管的制备为例。

该程序的总体目标是演示电场辅助组装和高质量半导体纳米线的选择，包括制造金属电极并在流动辅助介电泳中使用这些电极以创建可溶液加工的纳米线场效应晶体管。这种方法可以帮助我们解决可溶液加工电子学领域的主要挑战之一，例如半导体纳米材料的放置、对完成的起毛的控制和优质纳米线的场序列。该技术的主要功能是它是一种快速可重复的方法，可以按比例缩小基于纳米材料的器件的可控制造。虽然这种方法可以深入了解纳米线的排列和选择，但它也可以应用于纳米管、纳米薄片和刀片状纳米材料的排列。该协议中的大多数步骤都在洁净室环境中进行。从重掺杂 4 英寸 N 型硅/二氧化硅晶圆开始。使用金刚石划线器切割晶片以生产合适尺寸的样品。注意不要触摸顶面。沿切口劈开晶片以产生多个样品。本实验的样本为 2.5 x 2.5 厘米。完成后，将样品放入超声波浴中。将样品放在底物支架上，并将其浸入装有去离子水的烧杯中。在烧杯中以全功率超声处理样品 5 分钟。然后将样品转移到装有丙酮的烧杯中，然后再次以全功率超声处理 5 分钟。最后，将样品转移到装有异丙醇的烧杯中，以全功率再超声处理 5 分钟。从超声波浴中取出样品，然后用氮气枪干燥。接下来，将样品转移到等离子体消解器中以去除任何残留的有机残留物。对于光刻，将样品移至黄色房间。在带有 150 度电炉的通风柜中工作