Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

Der gestiegene Bedarf an tragbaren Geräten mit extrem kleinen Probenvolumina hat die Miniaturisierung von Geräten, die als BioMEMs bezeichnet werden, vorangetrieben. BioMEMs werden mittels Mikrofabrikation hergestellt. Ein Verfahren zur Herstellung von mikroskaligen Strukturen mit Hilfe der Halbleitertechnologie. Eine Mikrofabrikationstechnik na...