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Mikropumpen können Flüssigkeitsstrom in viel kleinerem Maßstab als die meisten Pumpen fahren. In den letzten Jahren wurden verschiedene treibende Regelungen mikrofluidischen Systemen1,2,3,4,5erfolgreich angewendet. Electrohydrodynamic (EHD) Pumpe ausüben kann Kräfte direkt auf die Flüssigkeit, ohne bewegliche Teile, wodurch es einfacher und leichter zu6zu fabrizieren. Nach der Kostenarten können EHD Pumpen als Einspritzpumpen, Induktion Pumpen oder Wärmeleitung Pumpen eingestuft werden. Induktion Pumpen funktionieren nicht auf isothermen Flüssigkeiten während Einspritzpumpen die flüssigen Leitfähigkeit ändern. Weil sie solche Probleme fehlt, Wärmeleitung Pumpen sind stabiler und haben eine breitere Anwendung.
Die Wärmeleitung Pumpe basiert auf das Missverhältnis der Dissoziation und Rekombination Sätze der Flüssigkeitsmoleküle. Prozess der Dissoziation und Rekombination kann normalerweise,7,8folgt ausgedrückt werden:

wo ist die Rekombination Rate kR konstant, während die Dissoziation Rate kd eine Funktion der elektrischen Feldstärke ist. Wenn die elektrische Feldstärke einen bestimmten Wert erreicht, wird die Dissoziation Rate die Rekombinationsrate übersteigen. Dann reisen mehr und mehr freien Ladungen an den beiden Elektroden der entgegengesetzten Polarität und Heterocharge Schichten bilden. Diese Heterocharge-Schichten sind der Schlüssel zu der Pumpe, wie die Bewegung der Ladungen die Flüssigkeitsmoleküle nach vorne schiebt. Daher kann net Körperkraft in der Flüssigkeit innerhalb der Kammer mit asymmetrischen Elektroden oder die Nichtübereinstimmung der Mobilität von positiven und negativen Ionen9,10,11,12 generiert werden .
Diese Arbeit stellt eine neue Art der Herstellung eine symmetrische planar Elektrodenplatte für eine Leitung Pumpe. Die Elektrodenplatte ist auf FR-4 CCL zubereitet und die Pumpenkammer wird vorbereitet, indem Mikromaterialbearbeitung. Die Herstellungsprozesse sind relativ einfacher und bequemer als die der anderen Herstellungsmethoden, wie Nanolithografie. Eine Testplattform ist eingerichtet, die Leistung der Wärmeleitung Mikropumpe unter verschiedenen Bedingungen zu untersuchen. Darüber hinaus wird die Zuverlässigkeit der Wärmeleitung Mikropumpe auch unter anderen Umständen untersucht.