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ポリマー基板上へのマイクロ·サブミクロンのパターンを生成するためのリソグラフィMicropunching
 
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ポリマー基板上へのマイクロ·サブミクロンのパターンを生成するためのリソグラフィMicropunching

Article DOI: 10.3791/3725-v 09:24 min July 2nd, 2012
July 2nd, 2012

Kapitel

Summary

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micropunchingリソグラフィのアプローチは、上、側壁およびポリマー基板の底面にマイクロおよびサブミクロンのパターンを生成するために開発されています。それはパターニングが導電性ポリマー及び側壁パターンを生成する障害を克服しています。このメソッドは、複数の機能の迅速な製造を可能にし、積極的な化学の自由です。

Tags

機械工学、問題65、物理学、micropunchingリソグラフィー、導電性高分子、ナノワイヤー、側壁パターン、microlines
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