Fabrication, Verdichtung, und Replica Molding von 3D-Carbon Nanotube Mikrostrukturen

Das übergeordnete Ziel dieses Verfahrens ist es, Kohlenstoff-Nanoröhrenwälder als Mikrofabrikationsmaterial einzuführen. Beginnen Sie mit dem Wachstum von strukturierten, vertikal ausgerichteten Kohlenstoffnanoröhren unter Verwendung der Kapillarbildung, verdichten Sie die Säulen der Kohlenstoffnanoröhren, um die Robustheit zu erhöhen, und modifizieren Sie ihre Formen, nachdem Sie mit einem Polymer infiltriert wurden, um robuste Nanokomposit-Mikrostrukturen zu bilden. Verwenden Sie das Replikformen, um die Polymerrepliken zu gießen. Letztendlich wird die Rasterelektronenmikroskopie verwendet, um die Replikationstreue zwischen der Urform und den polymeren Repliken zu bestätigen.

Der Hauptvorteil unserer Technik im Vergleich zu bestehenden Methoden zur Mikrofabrikation, wie DPV und zusätzlicher Lithographie, besteht darin, dass CNT-basierte Urformen eine hohe Zähigkeit aufweisen, Merkmale mit hohen Aspektverhältnissen enthalten können und dass die CNT-Mikrofabrikation so konstruiert werden kann, dass komplexe dreidimensionale Merkmale erzeugt werden. Auch für das genaue Design der dreidimensionalen CNT-Form muss der CNT-Wachstumsprozess des Benutzers sorgfältig charakterisiert und optimiert werden. Die visuelle Demonstration dieser Methode ist von entscheidender Bedeutung.