Waiting
Login-Verarbeitung ...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Bruk av Offernanopartikler å fjerne effekten av…
JoVE Journal
Engineering

Ein Abonnement für JoVE ist erforderlich, um diesen Inhalt ansehen zu können. Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.

JoVE Journal Engineering
Bruk av Offernanopartikler å fjerne effekten av Shot-støy i kontakt med Holes fabrikkert av E-beam Litografi
The Preparation of Electrohydrodynamic Bridges from Polar Dielectric Liquids
Journal (Engineering)
The Preparation of Electrohydrodynamic Bridges from Polar Dielectric Liquids
Preparation of Free-Surface Hyperbolic Water Vortices
Journal (Engineering)
Preparation of Free-Surface Hyperbolic Water Vortices
 
Click here for the English version

Bruk av Offernanopartikler å fjerne effekten av Shot-støy i kontakt med Holes fabrikkert av E-beam Litografi

Article DOI: 10.3791/54551-v • 07:51 min • February 12th, 2017
February 12th, 2017 •
1, 2
1Department of Chemistry, Portland State University, 2Logic Technology Department, Intel Corporation

Kapitel

Summary
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Jevnstore nanopartikler kan fjerne svingninger i kontakthulldimensjoner mønstret i poly (metylmetakrylat) (PMMA) fotoresist filmer av elektronstråle (E-stråle) litografi. Prosessen innebærer elektrotrakt til sentrum og innskuddsnanopartikler i kontakt hull, etterfulgt av fotoresist reflow og plasma- og våt-etsing trinn.

Tags

Engineering E-bjelke / euv litografi elektrotrakt motstå reflow plasma etsning
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter