Design und Charakterisierung Methodik für effiziente Weitbereichs-abstimmbaren MEMS-Filter

Filter sind sehr beliebt und werden häufig in der Empfänger- und Sendersequenz in der drahtlosen Kommunikation verwendet. Darüber hinaus sind Gassensoren, Biosensoren und Temperatursensoren die beliebtesten Anwendungen. Diese anspruchsvollen Filter sollten im CMOS-MEMS-Prozess hergestellt werden, um sowohl eine zuverlässigere Fertigung als auch ein rauscharmes Signaldesign zu unterstützen, indem die zusätzlichen Drähte zwischen zwei separaten Chips eliminiert werden.

CMOS steht dabei für komplementäre Metalloxid-Halbleiter und MEMS für mikroelektromechanische Systeme und Sensoren. Darüber hinaus sollte der Nachbearbeitungsprozess so gestaltet werden, dass eine Haftreibung während des Herstellungsprozesses vermieden wird. Eine bekannte Methode zur Messung der Resonanz der MEMS-Resonatoren ist die Verwendung von Netzwerkanalysatoren, aber es ist aus folgenden Gründen nicht so leistungsfähig wie die Laser-Doppler-Vibrometer-Technik.