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Artículo de método

Una plataforma con punta de Silicon sensor de fibra óptica con alta resolución y rápida respuesta

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DOI:

10.3791/59026

7 de enero de 2019

* These authors contributed equally

En este artículo

Resumen

Este trabajo reporta una innovadora punta de silicio fibra óptica teledetección plataforma (Si-FOSP) para la medición de alta resolución y rápida respuesta de una variedad de parámetros físicos, tales como radiación, temperatura y flujo. Aplicaciones de este Si-FOSP abarcan desde la investigación oceanográfica, industria mecánica, a la investigación sobre energía de fusión.

Resumen

En este artículo, presentamos una innovador y prometedor prácticamente fibra óptica teledetección plataforma (FOSP) que propuso y demostró recientemente. Este FOSP se basa en un interferómetro de Fabry-Perot de silicio (FPI) atado al extremo de la fibra, denominado FOSP Si en este trabajo. El FOSP Si genera un interferograma determinada por la longitud de trayectoria óptica (OPL) de la cavidad de silicona. Mensurando altera la OPL y así cambia de puesto el interferograma. Debido a las propiedades ópticas y térmicas únicas del material de silicio, este FOSP Si exhibe un rendimiento ventajoso en términos de sensibilidad y velocidad. Además, la industria de fabricación de silicio madura dota el FOSP Si con excelente reproducibilidad y bajo costo hacia aplicaciones prácticas. Dependiendo de las aplicaciones específicas, ya sea utilizará una versión finesse baja o alta finura, y se adoptará en consecuencia dos métodos demodulación de datos diferentes. Protocolos detallados para la fabricación de ambas versiones de la Si-FOSP se proporcionará. Se mostrarán tres aplicaciones representativas y sus resultados según. El primero de ellos es un termómetro subacuático de prototipo para perfilar la termoclina de océano, el segundo es un medidor de flujo para medir la velocidad de flujo en el océano, y el último es un Bolómetro usado para monitorear la radiación escape de magnéticamente confinados plasma de alta temperatura.

Introducción

Sensores de fibra óptica (FOSs) han sido el foco de muchos investigadores debido a sus propiedades únicas, como su pequeño tamaño, su bajo costo, su peso ligero y su inmunidad a interferencias electromagnéticas (EMI)1. Estos software libre han encontrado amplias aplicaciones en muchas áreas tales como monitoreo ambiental, vigilancia del océano, exploración de petróleo y procesos industriales entre otros. En cuanto a los sensores de temperatura, el FOSs tradicionales no son superiores en términos de resolución y velocidad para los casos donde es deseable medir minutos y variaciones rápidas de temperatura. Estas limitaciones se derivan de las pro....

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Protocolo

1. fabricación de sensores de baja finura

  1. Fabricar los pilares de silicio. Patrón un trozo de oblea de silicio pulido doble-lado de (DSP) de 200 μm de espesor en pilares de silicio independiente (Figura 2a), facilita el uso de fabricación estándar sistema micro-electro-mecánicos (MEMS).
    Nota: La oblea del modelado se enlaza a otro más grande oblea de silicio con una fina capa de photoresist. La fuerza de vinculación de la fotoresistencia es bastante fuerte para sostener los pilares verticales, pero también lo suficientemente débil para separar del sustrato para pasos posteriores.
  2. Preparar la fibra de entrada. La tir....

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Resultados

Si FOSP como un termómetro subacuático para perfilar termoclinas de océano
Reciente investigación oceanográfica ha demostrado que el desenfoque de la imagen submarina deriva no sólo de turbidez en aguas contaminadas, sino también de microestructuras de temperatura en el océano limpio17,18. El efecto de este último ha sido el foco de muchos oceanógrafos, con el objetivo de encontrar una forma efectiva para corre.......

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Discusión

La elección del tamaño (longitud y diámetro) de la FPI de silicio se hace sobre el equilibrio entre las exigencias de la resolución y velocidad. En general, un tamaño más pequeño proporciona una velocidad más alta pero también reduce la resolución2. Una longitud corta es ventajosa para la obtención de una velocidad más alta, pero no es superior para la obtención de una alta resolución debido a la FWHM ampliado de las muescas de reflexión. Usando capas de HR para reducir la FWHM puede ayudar a mejo.......

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Divulgaciones

Se ha publicado una patente de los E.E.U.U. (no. 9995628 B1) para proteger las tecnologías relacionadas.

Agradecimientos

Este trabajo fue apoyado por el laboratorio de investigación Naval de Estados Unidos (Nos. N0017315P0376, N0017315P3755); Oficina de investigación Naval (Nos. N000141410139, N000141410456); Departamento de energía de Estados Unidos (Nos. DE-SC0018273, DE-AC02-09CH11466, DE-AC05-00OR22725).

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Materiales

Lista de materiales utilizados en este artículo
NombreEmpresaNúmero de catálogoComentarios
Etanol puro a prueba de 200KoptecV1001
5 canales dúplex CWDMFiber Store5MDD-ABS-FSCWDM
Butterfly Laser Diode MountsTholabsLM14S2
CastAway CTDYellow Springs Instrument
CTDSeabirdSBE 19plus
Current MeterNortekDispositivo
National InstrumentsNIUSB4366
Osciloscopio digitalRIGOLDS1204B200 MHz 2 GSa/s
Láser de diodoThorlabsLM9LPLongitud de onda: 632 nm
Kit de terminación BNC fijoThorlabsFTK01
Función Generador de forma de onda RIGOLDG4162160 MHz 500 GSa/s
Cuchilla de alta precisiónFujikuraCT-32
Recubrimiento dieléctrico de alta reflexiónRecubrimiento evaporado INC (ECI)Los materiales y la estructura del recubrimiento son desconocidos
I-MON 512 EspectrómetroIbsen PhtonicsP/N: 1257110
Detector de polarización de InGaAsSalida deDET01CFCde FC: 0-10V; Cantidad: 2
diodos láserQphotonicQFLD-405-20S Longitud deonda: 405 nm
Controlador de corriente de diodo láserTholabsLDC 210C1 A y rango de 100 mA 
Controlador de temperatura de diodo láserTholabsTEC 200CCantidad: 2
Guantes de examen de látexHCS
Micro SlidesCorning Incorporated
Narrow Linewidth DFB Laser EblanaEP1550-NLW-B06-100FMLongitud de onda: 1550 nm
Empalmadora de fusión de fibra ópticaSumitomo electric industries, LTD3822-2
Microscopio óptico y monitorIkegami Tsushinki CompanyPM-127
Analizador de espectro ópticoYokogawaAQ6370Crango de longitud de onda: 600-1700 nm
Máquina polacaULTRA TEC41076
Lirios post-montablesThorlabsCantidad: 2
Bombas láserGooch y Housego0400-0974-SMLongitud de onda: 980 nm
Fotodetector amplificado de SiThorlabsPDA36ALongitud de onda: 350-1100 nm
Oblea de silicioUniversity Espesor de la oblea: 10 y micro; m, 200 y micro; m, 75 y micro; m, 40 y micro; m
Fibra monomodo CorningSMF-28
Modo Único Fusionado  Acopladorde fibra Thorlabs Longitud deonda: 1550 nm
SM 125 interogratorMicron Optics
Bomba de acuario sumergibleSonglongSL-403
LED superluminiscente DenselightSemiconductorsDL-BP1-1501A rango delongitud de onda: 1510-1590 nm
Bomba de jeringaCole Parmer74905-02
Viaje Etapa de traducciónThorlabsLT1
Pegamento curable UVTecnología epoxiPB109077
UVGL-15 Compact UV LmapUVPP/N:95-0017-09254/365 nm
Atenuadores ópticos variablesTholabs M-VA/00016951 P/N: VOA50-APC
de adquisición de datos vectoriales

Referencias

  1. Lee, B. Review of the present status of optical fiber sensors. Optical Fiber Technology. 9, 57-79 (2003).
  2. Liu, G., Han, M., Hou, W. High-resolution and fast-response fiber-optic temperature sensor using silicon Fabry-Perot cavity. Optics Express....

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