Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama

Los filtros son muy populares y ampliamente utilizados en la secuencia de receptores y transmisores en la comunicación inalámbrica. Además, los sensores de gas, biosensores y sensores de temperatura son la aplicación más popular. Estos filtros de alta exigencia deben fabricarse en el proceso CMOS MEMS para respaldar tanto una fabricación más confiable como un diseño de señal de bajo ruido al eliminar los cables adicionales entre dos chips separados.

Aquí, CMOS significa semiconductor de óxido metálico complementario y MEMS significa sistemas y sensores microelectromecánicos. Además, el proceso posterior debe diseñarse de manera que se evite la fricción durante el proceso de fabricación. Un método bien conocido para medir la resonancia de los resonadores MEMS es el uso de un analizador de red, pero no es un método tan poderoso como la técnica del vibrómetro láser doppler debido a las siguientes razones.