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Fabrication et caractérisation des dispositifs piézoélectriques en mode épaisseur pour l’atomisation et l’acoustofluidique

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DOI :

10.3791/61015

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5 août 2020

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1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego, 2Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

Dans cet article

Résumé

La fabrication de transducteurs de mode d’épaisseur piézoélectrique par pulvérisation directe de courant des électrodes de plaque sur le niobate de lithium est décrite. En outre, un fonctionnement fiable est réalisé avec un support de transducteur et un système d’approvisionnement en liquide et la caractérisation est démontrée par l’analyse d’impédance, la vibrométrie doppler laser, l’imagerie à grande vitesse, et la distribution de la taille des gouttelettes à l’aide de la diffusion au laser.

Résumé

Nous présentons une technique pour fabriquer des dispositifs piézoélectriques simples de mode d’épaisseur utilisant le niobate de lithium (LN). Il a été démontré que ces dispositifs atomisent le liquide plus efficacement, en termes de débit par entrée de puissance, que ceux qui reposent sur les ondes de Rayleigh et d’autres modes de vibration en LN ou en titane de zirconate de plomb (PZT). L’appareil complet est composé d’un transducteur, d’un support de transducteur et d’un système d’alimentation en fluides. Les principes fondamentaux de l’atomisation acoustique des liquides ne sont pas bien connus, de sorte que des techniques pour caractériser les dispositifs et étudier les phénomènes sont également décrites. La vibrométrie Doppler laser (LDV) fournit des informations sur les vibrations essentielles à la comparaison des transducteurs acoustiques et, dans ce cas, indique si un dispositif fonctionnera bien dans les vibrations d’épaisseur. Il peut également être utilisé pour trouver la fréquence de résonance de l’appareil, bien que cette information est obtenue plus rapidement par l’analyse d’impédance. L’atomisation continue des fluides, par exemple, nécessite un contrôle minutieux du flux de fluide, et nous présentons une telle méthode avec l’imagerie à grande vitesse et les mesures de distribution de la taille des gouttelettes par diffusion au laser.

Introduction

L’atomisation des ultrasons a été étudiée pendant près d’un siècle et bien qu’il y ait beaucoup d’applications, il y a des limites dans la compréhension de la physique sous-jacente. La première description du phénomène a été faite par Wood et Loomis en 19271, et depuis lors, il ya eu des développements dans le domaine pour des applications allant de la livraison de fluides pharmaceutiques aérosols2 à l’injection de carburant3. Bien que le phénomène fonctionne bien dans ces applications, la physique sous-jacente n’est pas bien comprise4,5,6.

Une limitation clé dans le domaine de l’atomisation ultrasonique est le choix du matériau utilisé, le titane de zircone de plomb (PZT), un matériau hystéréétique sujet au chauffage7 et la contamination au plomb avec le plomb élémentaire disponible à partir des limites inter-grains8,9. La taille des grains et les propriétés mécaniques et électroniques des limites des grains limitent également la fréquence à laquelle PZT peut fonctionner10. En revanche, le niobate de lithium est à la fois sans plomb et ne présente aucune hystérèse11, et peut être utilisé pour atomiser les fluides un ordre de grandeur plus efficacement que les atomiseurs commerciaux12. La coupe traditionnelle de niobate de lithium utilisée pour le fonctionnement en mode épaisseur est la coupe de 36 degrés Y-tourné, mais la coupe de 127,86 degrés Y-rotation, X-propagation (128YX), généralement utilisé pour la génération d’ondes acoustiques de surface, a été montré pour avoir une amplitude de déplacement de surface plus élevée par rapport à la coupe de 36 degrés13 lorsqu’il est exploité en résonance et faible perte. Il a également été démontré que le fonctionnement du mode d’épaisseur offre une amélioration de l’ordre de grandeur dans l’efficacité de l’atomiseur par rapport aux autres modes de vibration13, même lors de l’utilisation de LN.

La fréquence de résonance d’un dispositif piézoélectrique fonctionnant en mode épaisseur est régie par son épaisseur t: la longueur d’onde λ = 2t/n où n = 1, 2,... est le nombre d’anti-nœuds. Pour un substrat de 500 μm d’épaisseur, cela correspond à une longueur d’onde de 1 mm pour le mode fondamental, qui peut ensuite être utilisé pour calculer la fréquence de résonance fondamentale, f = v/λ si la vitesse de l’onde, v, est connue. La vitesse du son à travers l’épaisseur de 128YX LN est d’environ 7.000 m/s, et donc f = 7 MHz. Contrairement à d’autres formes de vibration, en particulier les modes de surface, il est facile d’exciter les harmoniques de mode d’épaisseur de plus haut ordre à des fréquences beaucoup plus élevées, ici à 250 MHz ou plus, bien que seuls les modes impairs peuvent être excités par des champs électriques uniformes14. Par conséquent, la deuxième harmonique(n = 2) près de 14 MHz ne peut pas être excitée, mais la troisième harmonique à 21 MHz(n = 3) peut. La fabrication de dispositifs efficaces en mode épaisseur nécessite le dépôt d’électrodes sur les faces opposées du transducteur. Nous utilisons le courant direct (DC) pulvérisation pour accomplir cela, mais le dépôt de faisceau d’électrons et d’autres méthodes pourraient être utilisés. L’analyse de l’impédance est utile pour caractériser les dispositifs, en particulier dans la recherche des fréquences de résonance et du couplage électromécanique à ces fréquences. La vibrométrie Doppler laser (LDV) est utile pour déterminer l’amplitude et la vitesse des vibrations de sortie sans contact ni étalonnage15,et, par balayage, le LDV fournit la distribution spatiale de la déformation de surface, révélant le mode de vibration associé à une fréquence donnée. Enfin, aux fins de l’étude de l’atomisation et de la dynamique des fluides, l’imagerie à haute vitesse peut être utilisée comme technique pour étudier le développement d’ondes capillaires à la surface d’une chute sessile16,17. Dans l’atomisation, comme beaucoup d’autres phénomènes acoustofluidiques, de petites gouttelettes sont produites à un rythme rapide, plus de 1 kHz dans un endroit donné, trop rapidement pour que les caméras à grande vitesse observent avec suffisamment de fidélité et de champ de vision pour fournir des informations utiles sur une taille d’échantillon de gouttelettes suffisamment grande. La diffusion au laser peut être utilisée à cette fin, en passant les gouttelettes à travers un faisceau laser élargi pour (Mie) disperser une partie de la lumière dans la réflexion et la réfraction pour produire un signal caractéristique qui peut être utilisé pour estimer statistiquement la distribution de la taille des gouttelettes.

Il est facile de fabriquer des transducteurs de mode d’épaisseur piézoélectrique, mais les techniques requises dans la caractérisation des dispositifs et de l’atomisation n’ont pas été clairement énoncées dans la littérature à ce jour, ce qui entrave les progrès de la discipline. Pour qu’un transducteur de mode d’épaisseur soit efficace dans un dispositif d’atomisation, il doit être isolé mécaniquement de sorte que sa vibration n’est pas amortie et qu’il doive avoir un flux continu avec un débit égal au taux d’atomisation de sorte que ni la dessiccation ni l’inondation ne se produisent. Ces deux considérations pratiques n’ont pas été soigneusement abordées dans la littérature parce que leurs solutions sont le résultat de techniques d’ingénierie plutôt que de pure nouveauté scientifique, mais elles sont néanmoins essentielles à l’étude du phénomène. Nous présentons un assemblage de support de transducteur et un système d’osier liquide comme solutions. Ce protocole offre une approche systématique de la fabrication et de la caractérisation des atomiseurs pour faciliter la recherche en physique fondamentale et dans une myriade d’applications.

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Protocole

1. Fabrication de transducteur de mode d’épaisseur par pulvérisation de DC

  1. Préparation des gaufrettes
    1. Placer une gaufrette LN de 100 mm 128YX dans un plat en verre propre d’au moins 125 mm de diamètre. Sonister la plaquette dans au moins 200 mL d’acétone pendant 5 min.
    2. Répétez la sonication avec de l’alcool isopropyle et encore une fois avec de l’eau déionisée pendant 5 min chacune.
    3. Retirer l’eau visible de la surface à l’aide d’azote sec.
    4. Retirez complètement l’eau de la surface en plaçant la plaquette sur une plaque chauffante à 100 °C pendant 5 min. Assurez-vous qu’il y a une feuille de papier d’aluminium sur la plaque chauffante, car cela aide à dissiper l’accumulation de charge sur la plaquette.
  2. Dépôt d’électrodes
    1. Placez la plaquette dans la chambre à vide du système de dépôt de pulvérisation et pompez la chambre à 5 x 10-6 mTorr. Réglez la pression de l’argon à 2,3 mTorr et la vitesse de rotation à 13 tr/min.
      REMARQUE : Si des paramètres pour l’instrument spécifique utilisé ont été établis qui donnent lieu à des films de haute qualité, utilisez-les à la place.
    2. Déposez 5 à 10 nm de titane à 1,2−1,6 A/s.
      REMARQUE : Avant de commencer ce processus avec la plaquette prévue, testez le taux de dépôt avec la puissance plasmatique réglée à 200 W et déposez pendant 1 min. Mesurez ensuite la hauteur de la couche à l’aide d’un profilomètre. Faites-le séparément pour chaque métal. Définissez la puissance selon ce critère afin d’atteindre le taux de dépôt indiqué.
    3. Dépôt 1-1,2 μm d’or à 7−9 A/s.
      REMARQUE : Les dépôts à un taux plus élevé en raison de l’augmentation de la puissance plasmatique ou de l’augmentation de la pression partielle de l’argon peuvent réduire la qualité du film.
    4. Retirer la plaquette et répéter les étapes 1.2.1−1.2.3 pour le deuxième côté de la plaquette.
  3. Dés
    1. Utilisez une scie à dés pour couper en dés la plaquette entière au besoin.
      REMARQUE : Une résistance protectrice peut être appliquée sur le substrat avant le dés, et le système (Table des Matériaux)utilisé ici applique un film curable UV juste avant que les échantillons soient chargés sur le stade de dés. Il est constaté que le désage des échantillons avec une scie à dés automatisée ne compromet pas l’intégrité des échantillons. Le dicing de LN est possible, bien que fastidieux et sujet à des incohérences.

2. Prise de contact électrique et mécanique avec le transducteur

REMARQUE : Plusieurs méthodes sont décrites ci-dessous (étapes 2.1−2.4), et elles sont mises en évidence plus loin dans le protocole, dont la méthode est la plus appropriée pour chaque étape ultérieure.

  1. Placez un transducteur en dés à plat sur une plaque d’acier magnétique. Montez une sonde pogo en contact avec la plaque et une autre sonde pogo en contact avec la surface supérieure du transducteur. Par la suite, on appellera le contact pogo-plaque.
  2. Placez le transducteur entre deux sondes pogo. Ci-après appelé contact pogo-pogo.
  3. Fil de soudure à chaque face du transducteur. Ci-après appelé contact de soudure.
  4. Assemblez un support de transducteur personnalisé.
    1. Commandez les circuits imprimés personnalisés (BPC) dont les fichiers Gerber ont été fournis.
    2. Solder deux contacts de ressort de montage de surface(Table des matériaux) à chaque PCB personnalisé. Appuyez sur adapter les pointes dans les trous plaqués sur les BPC personnalisés de sorte qu’ils pointent les uns des autres.
    3. Connectez les deux BPC personnalisés avec des espaceurs et des vis de planche afin que les contacts soient juste en contact les uns avec les autres. Ajuster l’espacement avec des rondelles en plastique si nécessaire.
    4. Faites glisser un transducteur de 3 mm x 10 mm entre la paire intérieure de contacts. Clip les contacts externes afin qu’ils ne raccourcissent pas le circuit.
      REMARQUE : La figure 1 affiche l’ensemble de l’assembly.

3. Identification de la fréquence de résonance par l’analyse d’impédance

  1. Assurez-vous qu’un étalonnage de port a été effectué conformément aux instructions du fabricant pour la méthode de contact spécifique utilisée.
  2. Connectez un transducteur au port ouvert de l’analyseur réseau (Tableau des matériaux) avec l’une des méthodes de contact décrites aux étapes 2.1−2.4.
    REMARQUE : Il peut être instructif de répéter cette analyse avec plusieurs méthodes de contact électrique et de comparer les résultats.
  3. Sélectionnez le paramètre coefficient de réflexion s11, via l’interface utilisateur de l’analyseur réseau, choisissez la plage de fréquence d’intérêt et effectuez le balayage des fréquences.
    REMARQUE : s11 est le coefficient de réflexion d’entrée et a une valeur minimale à la fréquence de résonance de l’opération. Pour une plaquette LN de 500 μm d’épaisseur typique, la fréquence de résonance primaire sera proche de 7 MHz et la deuxième harmonique sera proche de 21 MHz, comme l’illustre la figure 2. L’intrigue d’impédance dans l’espace de fréquence affiché sur l’instrument exposera des minima locaux aux fréquences de résonance.
  4. Exporter les données en sélectionnant Enregistrer/Rappel | Enregistrer les données de trace sur l’interface utilisateur pour une inspection plus approfondie à l’aide d’un logiciel de traitement de données pour identifier les emplacements de minima précis.

4. Caractérisation des vibrations via LDV

  1. Placez un transducteur en contact pogo-plaque sur l’étape LDV. Connectez la sonde pogo mène au générateur de signal. Assurez-vous que l’objectif utilisé est sélectionné dans le logicield’acquisition( Table des matériaux) et concentrez le microscope sur la surface du transducteur.
  2. Définissez les points d’analyse en sélectionnant Définir les points d’analyse ou passer à l’étape 4.3 si vous effectuez une analyse continue.
  3. Sélectionnez l’option Paramètres et sous l’onglet Général, sélectionnez l’option FFT ou Heure selon que l’analyse est effectuée dans le domaine de fréquence ou de temps. Sélectionnez le nombre de moyennes dans cette section.
    REMARQUE : Le nombre de moyennes affecte le temps d’analyse. Cinq moyennes pour les transducteurs décrites dans ce protocole ont montré qu’elles donnent un rapport signal/bruit suffisant.
  4. Sous l’onglet Canal, vérifiez que les cases Active sont cochées, qui correspondent au signal de référence et réfléchi du transducteur. Réglez les canaux de référence et d’incident en sélectionnant une valeur de tension dans le menu déroulant afin d’obtenir une puissance maximale du signal à partir du substrat.
  5. Dans l’onglet Générateur, si la mesure est effectuée sous signal à fréquence unique, sélectionnez Sine dans la liste de traction waveform vers le bas ; si elle se trouve sous un signal de bande, sélectionnez MultiCarrierCW.
  6. Modifiez la bande passante et les lignes FFT de l’onglet Fréquence pour ajuster la résolution d’analyse d’une analyse de domaine de fréquence. De même, modifiez l’onglet Fréquence de l’exemple dans l’onglet Heure lors de l’exécution des mesures de domaine de temps.
    REMARQUE : La bande passante généralement utilisée est de 40 MHz et le nombre de lignes FFT est de 32 000. Le logiciel de présentation (Table of Materials) peut être utilisé pour traiter et analyser les données obtenues à partir de l’analyse. Un spectre de déplacement typique est fourni à la figure 3.

5. Alimentation en liquide

  1. Obtenez une mèche de 25 mm de long et de 1 mm de diamètre composée d’un faisceau de fibres d’un polymère hydrophile conçu pour transporter le liquide aqueux sur toute sa longueur, comme ceux disponibles pour les désodorisations d’air rechargeables. Couper une extrémité de telle sorte qu’un point central hors tension est formé.
  2. Insérez la mèche dans une pointe de seringue avec un diamètre intérieur qui fournit un ajustement serré et une longueur qui permet à la mèche de s’étendre 1−2 mm au-delà de chaque extrémité. Verrouiller la pointe sur une seringue avec la capacité souhaitée (1−10 mL).
  3. Monter l’assemblage de mèche/seringue de telle sorte que la mèche soit à 10°−90° de l’horizontale (selon le taux d’atomisation souhaité, qui dépend également de la tension appliquée) et que la pointe de la mèche soit juste en contact avec le bord du transducteur comme le montre la figure 1C.
  4. Remplissez la seringue d’eau et appliquez un signal de tension continue (à partir de 20 Vpp) à la fréquence de résonance déterminée à l’aide de l’analyseur d’impédance. Réglez le niveau de tension jusqu’à ce que le liquide soit atomisé en continu sans que l’appareil ne s’inonde ou ne se dessèche.

6. Observation dynamique via l’imagerie à grande vitesse

  1. Montez rigidement une caméra à grande vitesse horizontalement sur une table optique, placez un transducteur dans le contact pogo-pogo ou le contact pogo-plaque sur une scène x-y-z près de la longueur focale de la caméra, et placez une source de lumière diffuse au moins une longueur focale sur le côté opposé du transducteur de la caméra.
  2. Pour le contact pogo-pogo, positionnez l’alimentation en liquide de manière à ne pas bloquer la vue de la caméra ou la source lumineuse. Pour le contact pogo-plaque, appliquer le liquide directement sur le substrat avec une pipette.
  3. Réglez la mise au point de la caméra et la position x-y-z pour mettre l’échantillon en évidence.
  4. Estimer la fréquence du phénomène spécifique à étudier en fonction de la littérature. Choisissez une fréquence d’image au moins deux fois plus grande que cette fréquence selon le taux nyquiste afin d’éviter l’aliasing.
    REMARQUE : Par exemple, considérez les ondes capillaires qui se produisent sur une chute de sessile à une gamme de fréquences. Les caméras limitées dans la résolution spatiale ne peuvent distinguer les ondes qu’avec une amplitude minimale. Dans ce cas, l’amplitude minimale se produit autour de 4 kHz de sorte qu’une fréquence d’image de 8.000 images par seconde (fps) est choisie.
  5. Réglez l’intensité lumineuse, l’obturateur de la caméra, ou les deux afin d’optimiser le contraste entre le fluide et l’arrière-plan.
    REMARQUE : Un colorant opaque peut être ajouté au fluide afin d’augmenter le contraste.
  6. Connectez les clips d’alligator du générateur de signal amplifié aux fils de pogo-sondes.
  7. Capturez la vidéo dans le logiciel de la caméra simultanément avec l’actionnement via le signal de tension soit en déclenchant manuellement à la fois en même temps ou en connectant une sortie de déclenchement du générateur de signal à la caméra.
    REMARQUE : La fréquence d’images typique utilisée est de 8 000 fps et un objectif CF4 est utilisé.
  8. N’enregistrez que les cadres contenant le phénomène pour éviter le stockage gaspillé, qui est particulièrement pertinent aux grandes fréquences d’images, pour produire un résultat comme indiqué à la figure 4.
    REMARQUE : Assurez-vous d’enregistrer le fichier dans un format compatible avec le logiciel de traitement d’image de choix afin que des données utiles puissent être extraites.

7. Mesure de la taille des gouttelettes par analyse de diffusion au laser

  1. Le système de diffusion laser(Table des Matériaux)a un module qui transmet le laser et celui qui reçoit le signal laser dispersé. Placez les modules le long du rail fourni avec le système, avec un écart de 20 à 25 cm entre eux.
  2. Montez rigidement une plate-forme dans cet espace de telle sorte que, lorsque les assemblages de transducteur et d’alimentation en liquide sont placés sur elle, la brume atomisée sera éjectée dans la trajectoire du faisceau laser. Faciliter cet alignement en allumant le faisceau laser via la sélection des outils | Contrôle laser... | Laser sur comme un indicateur visuel.
  3. Fixer le support du transducteur à la plate-forme et fixer l’assemblage d’alimentation en liquide à un bras articulé (Table des matériaux). Placez l’ensemble d’alimentation en liquide de façon à ce que la pointe de la mèche soit juste en contact avec le bord du transducteur.
  4. Créez une procédure d’exploitation standard (SOP) dans le logiciel en cliquant sur l’icône Nouveau SOP. Configurer le SOP avec les paramètres suivants : modèle = Continu par défaut, période d’échantillonnage (s) = 0,1, sous Traitement des données,cliquez sur Modifier... et définissez le profil de pulvérisation | Longueur du chemin d’accès (mm) à 20,0, cliquez sur Alarmes pour décocher Utiliser les valeurs par défaut et définir la transmission Min (%) à 5 et 1 et définir min diffusion à 50 et 10. Laissez tous les autres paramètres par défaut.
    REMARQUE : Consultez le manuel logiciel qui est venu avec l’instrument.
  5. Démarrez la mesure dans le logiciel en cliquant sur Mesure | Démarrez SOP et sélectionnez le SOP créé à l’étape 7.4. Attendez que les étalonnages de fond soient terminés. Remplissez le réservoir d’alimentation en liquide, la seringue, avec de l’eau jusqu’au niveau souhaité et notez le volume. Allumez le signal de tension pour commencer à atomiser le fluide. Démarrez le chronomètre et démarrez la mesure en cliquant sur Démarrer.
  6. Le logiciel génère une distribution de taille basée sur le signal laser dispersé au récepteur en raison de la théorie mie et un algorithme de diffusion multiple. Une fois que le volume de fluide souhaité a été atomisé, éteignez le signal de tension, arrêtez le chronomètre et enregistrez le volume final, et arrêtez d’enregistrer les données en cliquant sur Stop.
    REMARQUE : Le système de diffusion laser est capable de mesurer aussi peu que 1 μL de liquide et n’a pas de limite supérieure pour le volume de fluide. Le débit d’atomisation peut simplement être calculé en divisant le volume par la durée.
  7. Dans l’histogramme de mesure, sélectionnez la partie des données au cours desquelles l’atomisation s’est produite comme prévu et le signal au récepteur était assez fort pour être statistiquement significatif. Cliquez sur Moyenne | Ok pour générer une distribution basée sur les données sélectionnées.
    REMARQUE : Toutes les mesures effectuées avec cette technique sont des moyennes statistiques et, par conséquent, s’il y a trop peu de gouttelettes, le signal dispersé sera faible, et la mesure sera statistiquement insignifiante.
  8. Enregistrer la distribution moyenne en sélectionnant la fenêtre et en cliquant sur Modifier | Copier du texte puis coller le résultat dans un fichier texte et enregistrer avec un nom approprié.
    REMARQUE : Ces données de distribution peuvent maintenant être utilisées avec d’autres logiciels (p. ex., MATLAB) pour créer l’intrigue de la figure 5.

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Résultats

Les dispositifs piézoélectriques de mode d’épaisseur ont été fabriqués à partir du niobate de lithium 128YX. La figure 1 montre un assemblage complet pour maintenir le transducteur en place avec un support de transducteur personnalisé utilisé avec le système passif de livraison de fluides développé pour l’atomisation continue. Les étapes de caractérisation de ces dispositifs comprennent la détermination de la fréquence de résonance et des harmoniques à l’aide d’un analyseur d’impédance (

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Discussion

Les dimensions et le rapport d’aspect d’un transducteur affectent les modes de vibration qu’il produit. Parce que les dimensions latérales sont finies, il existe toujours des modes latéraux en plus des modes d’épaisseur souhaités. Les méthodes LDV ci-dessus peuvent être utilisées pour déterminer les modes dominants dans la plage de fréquence souhaitée pour un transducteur donné. Un carré de dimensions inférieures à 10 mm donne généralement une approximation proche d’un mode d’épaisseur. Les rectangles de trois par dix mi...

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Déclarations de divulgation

Les auteurs n’ont rien à divulguer.

Remerciements

Les auteurs sont reconnaissants à l’Université de Californie et à l’installation NANO3 de l’UC San Diego pour la fourniture de fonds et d’installations à l’appui de ce travail. Ces travaux ont été réalisés en partie à la San Diego Nanotechnology Infrastructure (SDNI) de l’UCSD, membre de la National Nanotechnology Coordinated Infrastructure, qui est soutenue par la National Science Foundation (Grant ECCS−1542148). Les travaux présentés ici ont été généreusement soutenus par une subvention de recherche de la Fondation W.M. Keck. Les auteurs sont également reconnaissants pour le soutien de ce travail par le Bureau de la recherche navale (via Grant 12368098).

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Matériaux

Liste des matériaux utilisés dans cet article
NomEntrepriseNuméro de catalogueCommentaires
AmplificateurAmplifier Research, Souderton, PA, USA5U1000
Bras articuléFisso, Zurich, Suisse
CF4 ObjectifEdmund Optics, Barrington, NJ, USAObjectif utilisé pour l’imagerie à grande vitesse
Scie à désDisco, Tokyo, JaponDisco Scie à dés automatique 3220
Mèche de diffuseur de parfum àfibreWeihai Industry Co., Ltd., Weihai, Shandong, Chinehttps://www.weihaisz.com/Fiber-Fragrance-Diffuser-Wick_p216.html
Caméra haute vitessePhotron, San Diego, États-UnisFastcam Mini
Laser Doppler VibrometerPolytec, Waldbronn, AllemagneUHF120Vibromètre laser Doppler sans contact
Système de mesure de la taille des gouttelettes à diffusion laserMalvern Panalytical, Malvern, Royaume-Uni
Substrat en niobate de lithiumPMOptics,Burlington, MA, USAPWLN-4312324" poli double face 0,5 mm d’épaisseur 128° ;
Seringues Luer-lockBecton Dickingson, New Jersey, États-Unis
Installation de salle blanche Nano3UCSD, La Jolla, CA, États-UnisLe processus de fabrication y est effectué.
Analyseur de réseauKeysight Technologies, Santa Rosa, CA, États-UnisOscilloscope 5061B
Keysight Technologies, Santa Rosa, CA, États-UnisInfiniiVision 2000 X-Series
PSV Logiciel d’acquisitionPolytec, Waldbronn, AllemagneVersion 9.4Logiciel LDV
Logiciel PSV Logiciel de présentationPolytec, Waldbronn, AllemagneVersion 9.4Logiciel LDV
Générateur de signauxNF Corporation, Yokohama, JaponWF1967 Générateur
Connecteur à poteau uniqueDigiKey, Thief River Falls, MNED1179-ND
Dépôt de pulvérisation DentonVacuum, NJ, USADenton 18Denton Discovery 18 Système de pulvérisation à
montage en surface Contacts à ressortDigiKey, Thief River Falls, MN70AAJ-2-M0GCT-ND
Trempette en téflonShapeMaster, Ogden, IL, USASM4WD1Plongeur de plaquette 4"
XYZ StageThor Labs, Newton, New Jersey, USAMT3Optical table stages
STP5315 en niobate de lithium coupées en Y multifonction

Références

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Transducteur au niobate de lithiumanalyse d imp dancevibrom trie laser Doppleratomisation de fluidedistribution de la taille des gouttelettesimagerie haute vitessefr quence de r sonancecaract risation de transducteur acoustiquesupport de transducteur personnalis

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