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Les microrésonateurs en mode galerie chuchotante (WGM) sont une classe de capteurs optiques qui ont démontré un énorme potentiel non seulement pour la détection de molécules uniques et de nanoparticules 1,2,3,4,5,6, mais aussi pour la détection d’un large éventail de phénomènes physiques tels que les champs magnétiques 7 et électriques8, la température9 et les ondes ultrasonores10, 11. Aéroport international Dans des conditions de résonance optique, la lumière est piégée à l’intérieur du dispositif, ce qui entraîne une amplification de puissance significative12,13. Toute modification localisée du résonateur (telle que la liaison d’une biomolécule ou des modifications de l’indice de réfraction du milieu environnant) induit des modifications de l’environnement optique local, modifiant ainsi la fréquence de résonance ou la longueur d’onde. En surveillant les changements de longueur d’onde ou de fréquence de résonance, on peut détecter et caractériser les analytes en temps réel.
Les microrésonateurs WGM peuvent être conçus dans une variété de géométries. Les géométries courantes comprennent, sans s’y limiter, les microtores14, les microanneaux15 et les résonateurs à microbulles16 (MBR). Ici, nous nous concentrons sur les MBR en raison de leur grand potentiel dans les applications de détection optofluidique. L’un des principaux avantages des MBR est leur intégration fluidique 17,18,19,20, qui est rendue possible par la fabrication du dispositif à partir d’un microcapillaire. Dans cette conception, le capillaire en ligne facilite l’administration de petits volumes (c’est-à-dire des microlitres) d’analytes en solution dans la zone de détection sans avoir besoin de canaux fluidiques externes, comme le montre la figure 1. Grâce à leurs capacités uniques de gestion fluidique, les MBR sont bien adaptés à un large éventail d’applications de détection qui ne sont pas facilement réalisables avec d’autres plates-formes WGM. Par exemple, les MBR ont été remplis de fluides magnétiques, ce qui leur confère une sensibilité aux champs magnétiques externes21. De plus, les MBR ont également été utilisés pour contrôler l’orientation spécifique des nanotiges d’or en solution grâce à des couples optiques22.
La fabrication des MBR peut être résumée comme suit : une pression aérostatique est appliquée à l’intérieur du capillaire tandis qu’une petite zone du capillaire est chauffée localement. La combinaison de l’échauffement localisé et de la pression interne gonfle la section chauffée en une géométrie sphérique capable de supporter des WGM à Q élevé, comme illustré à la figure 2. Diverses méthodes peuvent être utilisées pour obtenir un chauffage localisé du capillaire, telles que l’utilisation d’un laser CO2 23, d’une épissure à fibre optique24, d’une source de flamme d’hydrogène25 et d’une machine de traitement du verre de précision (PGP). Les méthodes présentées ici peuvent être étendues à d’autres sources de chaleur, y compris un laser CO2 . Le PGP est similaire à une épissure de fibre optique, mais offre un meilleur contrôle du temps de chauffage, du réglage de la puissance et du positionnement des fibres ou des capillaires26. Les PGP incluent souvent des microscopes intégrés adjacents aux éléments chauffants, ce qui permet une surveillance en temps réel du processus de fabrication. En règle générale, la lumière d’un laser à diode accordable est couplée au MBR via une fibre optique conique qui est en contact avec l’équateur du MBR. La fibre est conique (à ~1 μm) pour permettre un couplage efficace de la lumière dans et hors du MBR. Les spectres de transmission résultants du MBR sont ensuite capturés par un photodétecteur à travers la fibre optique et visualisés sur un oscilloscope.
La détection avec les MBR WGM repose sur l’interaction du champ WGM avec l’analyte cible. L’intensité de cette interaction est directement proportionnelle à la fraction du champ WGM qui pénètre dans la cavité creuse du MBR où les échantillons en phase liquide ou gazeuse peuvent s’écouler à travers27. Comme le montre la figure 3, les simulations COMSOL illustrent comment la pénétration du champ WGM dans la cavité interne varie avec l’épaisseur de la paroi du MBR. La pénétration maximale du champ WGM se produit lorsque l’épaisseur de la paroi est réduite à moins de 1 μm, ces simulations étant réalisées en utilisant la lumière dans la bande des 780 nm. Il est difficile d’obtenir une telle réduction de l’épaisseur de la paroi grâce au seul protocole de fabrication standard de chauffage et de gonflage. Pour amincir davantage les parois du MBR et rendre l’appareil plus sensible, nous incorporons des étapes de gravure humide supplémentaires à l’aide d’acide fluorhydrique (HF).
À l’aide d’un PGP, nous nous concentrerons sur la fabrication de MBR en ligne avec un capillaire de silice. Une description détaillée du procédé de fabrication et des méthodes permettant d’améliorer la sensibilité aux changements d’indice de réfraction par gravure humide sera également présentée.