Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

הצורך המוגבר במכשירים ניידים עם נפחי דגימה קטנים במיוחד, הניע את המזעור של מכשירים הנקראים BioMEMs. BioMEMs מיוצרים באמצעות מיקרו-ייצור. תהליך של ייצור מבנים בקנה מידה זעיר באמצעות טכנולוגיית מוליכים למחצה. טכניקת מיקרו-ייצור הנקראת פוטוליתוגרפיה, משמשת לעתים קרובות לדפוס דפוסים מורכבים על מצע באמצעות אור. סרטון זה יציג את תהליך הפוטוליתוגרפיה, ...