La comprensione del comportamento meccanico dei dispositivi di sistemi microelettromeccanici (MEMS) è fondamentale per la progettazione, le prestazioni e l'affidabilità del dispositivo 1,2. Le macchine universali convenzionali per il test sono state ampiamente utilizzate per valutare le proprietà meccaniche; tuttavia, sono costose e richiedono spazio, personale e risorse considerevoli per installazione, manutenzione efunzionamento 3. Inoltre, poiché sono stati progettati principalmente per intervalli di alta forza e ampio spostamento nei test meccanici di materiali ad alta resistenza, esistono notevoli discrepanze tra i loro intervalli di misura e quelli necessari per valutare le proprietà meccaniche delle microstrutture nella regione4 a piccola deformazione. Pertanto, è necessaria ricerca su un nuovo apparato di prova a compressione a basso costo e un metodo sperimentale applicabile su scala di laboratorio con alta ripetibilità, che possa fornire misurazioni affidabilinella regione 5 di piccola deformazione/piccola forza.
Sono stati sviluppati diversi dispositivi meccanici di prova che possono essere utilizzati su scala di laboratorio per caratterizzare le proprietà meccaniche dei dispositivi MEMS su piccolascala 6,7,8. Tuttavia, la maggior parte di questi dispositivi è stata sviluppata per testare materiali ad alta resistenza o per ambienti specializzati, e quindi presenta limitazioni nel misurare in modo affidabile le proprietà meccaniche delle strutture MEMS nella regione di piccola deformazione/piccola forza 9,10.
Per superare queste limitazioni, proponiamo un sistema e un metodo di test a compressione a piccolo spostamento che può essere utilizzato anche in laboratori di piccola scala. Il metodo proposto consente la valutazione quantitativa del comportamento meccanico di un materiale misurando simultaneamente piccoli spostamenti e forze durante il processo di compressione. Il sistema opera entro un intervallo di forze di 4,4 N e una velocità di spostamento controllata di 1 μm/s, garantendo misurazioni precise e stabili. Il sistema è un sistema compatto e a basso costo progettato per valutare le proprietà meccaniche delle microstrutture nella regione a piccola deformazione.
Questo sistema integra uno stadio z con un sensore di forza e un'acquisizione del segnale basata su scheda microcontrollore, consentendo una misurazione simultanea di forza e spostamento con grande precisione. La validazione del sistema è stata effettuata tramite calibrazione a resistenza a retroazione (R F) - il fattore chiave per determinare il guadagno del circuito amplificatore invertente - e verifica dello spostamento verticale tramite un misuratore laser, confermando che le risoluzioni di spostamento e misurazione della forza erano rispettivamente di 1 μm e 0,01 N. Sono stati fabbricati campioniridotti 11,12, con un terzo della dimensione standard (American Society for Testing and Materials (ASTM) D575-91, Standard Test Methods for Rubber Properties in Compression)13, e è stato derivato un metodo di prova a compressione per valutare le proprietà meccaniche delle microstrutture in modo affidabile nella regione di piccolo spostamento/bassa forza14,15.
Le curve sforzo-deformazione dei campioni scalati sono state misurate sia con una macchina di prova universale commerciale (MTS) sia con il sistema di misura sviluppato (MS), e i risultati sono stati confrontati. Dalla pendenza della regione lineare iniziale, il modulo di compressione è stato determinato a 1,39 MPa, che ha mostrato una deviazione del +5,3% dai valori precedentemente riportatinella letteratura 16. Questo approccio di misurazione, che combina il controllo dello spostamento e la misurazione dellaforza 17,18, fornisce un quadro di misura riproducibile adatto alle applicazioni MEMS e bio-MEMS. Questo approccio non solo fornisce un quadro affidabile per comprendere il comportamento meccanico delle microstrutture, ma offre anche un metodo pratico per valutare materiali in vari campi, tra cui dispositivibiomedici 19 e softrobotics 20.