Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

サンプル量が非常に少ないポータブルデバイスのニーズが高まっているため、BioMEMと呼ばれるデバイスの小型化が進んでいます。BioMEMは、マイクロファブリケーションによって製造されます。半導体技術を用いてマイクロスケールの構造体を作製するプロセス。フォトリソグラフィーと呼ばれる微細加工技術は、光を使用して基板上に複雑なパターンをパターン化するためによく使用されます。このビデオでは、フォトリソグラフィーのプロセスを紹介し、実験室での技術を実演し、フォトリソグラフィーが使用されるいくつかのアプリケーションについての洞察を提供します。

半導体、すなわちシリコンウェーハは、通常、フォトリソグラフィーによる微細加工の基板として使用されます。まず、ウェーハを洗浄して有機汚染物質を除去...