Electrospray Deposition of Uniform Thickness Ge23Sb7S70 and As40S60 Chalcogenide Glass Films

Spencer Novak; Pao-Tai Lin; Cheng Li; Nikolay Borodinov; Zhaohong Han; Corentin Monmeyran; Neil Patel; Qingyang Du; Marcin Malinowski; Sasan Fathpour; Chatdanai Lumdee; Chi Xu; Pieter G. Kik; Weiwei Deng; Juejun Hu; Anuradha Agarwal; Igor Luzinov; Kathleen Richardson

doi:10.3791/54379

균일 한 두께의 Ge 전기 분무 증착 (23)의 Sb 7 S (70)와 같이 ...

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Electrospray Deposition of Uniform Thickness Ge₂₃Sb₇S₇₀ and As₄₀S₆₀ Chalcogenide Glass Films

균일 한 두께의 Ge 전기 분무 증착 (23)의 Sb 7 S (70)와 같이 (40) S (60) 칼 코게 나이드 유리 필름

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08:38 min

August 19, 2016

DOI: 10.3791/54379-v

Spencer Novak¹, Pao-Tai Lin^2,3, Cheng Li⁴, Nikolay Borodinov¹, Zhaohong Han⁵, Corentin Monmeyran⁵, Neil Patel⁵, Qingyang Du⁵, Marcin Malinowski⁴, Sasan Fathpour⁴, Chatdanai Lumdee⁴, Chi Xu⁴, Pieter G. Kik⁴, Weiwei Deng⁶, Juejun Hu⁷, Anuradha Agarwal⁷, Igor Luzinov¹, Kathleen Richardson⁴

¹Department of Materials Science and Engineering,Clemson University, ²Department of Materials Science and Engineering,Texas A&M University, ³Department of Electrical and Computer Engineering,Texas A&M University, ⁴College of Optics and Photonics, Center for Research and Education in Optics and Lasers (CREOL),University of Central Florida, ⁵Department of Materials Science and Engineering,Massachusetts Institute of Technology, ⁶Department of Mechanical Engineering,Virginia Polytechnic Institute, ⁷Microphotonics Center,Massachusetts Institute of Technology

Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

균일한 두께의 용액 유래 칼코게나이드 유리 필름 증착 방법은 단일 노즐 전기 스프레이의 컴퓨터 수치 제어 동작을 사용하여 시연됩니다.

이 조사의 전반적인 목표는 중적외선 광자 응용 분야를 위한 칼코게나이드 유리의 전기 분무 필름 증착을 개발하고 이 증착 방법의 고유한 유연성을 탐구하는 것입니다. 이 기술의 주요 장점은 엔지니어링된 필름 두께 프로파일을 제작할 수 있는 능력과 함께 재료의 국부적 증착을 허용한다는 것입니다. 이를 통해 공간적으로 다양한 컴포지션 그라디언트를 만들 수 있습니다.

이러한 장점으로 인해 전기 스프레이는 보다 유연한 장치 설계를 허용하여 칩 기반 중적외선 화학 감지 장치 분야를 발전시킬 수 있습니다. 증착 과정을 설정하려면 먼저 바늘 끝을 칼코게나이드 유리에 넣습니다. 기포 형성을 방지하기 위해 주사기 펌프를 느린 속도(예: 시간당 150마이크로리터)로 추출 모드로 설정하여 용액을 주사기로 끌어들입니다.

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