Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

De toenemende behoefte aan draagbare apparaten met extreem kleine monstervolumes, heeft geleid tot de miniaturisatie van apparaten die BioMEMs worden genoemd. BioMEMs?worden geproduceerd via microfabricage. Een proces van het fabriceren van microscopische structuren met behulp van halfgeleidertechnologie. Een microfabricagetechniek genaamd fotol...