Photolithography for Microfluidic Device Making

Photolithography and soft lithography are used to make BioMEM devices such as microfluidic channels. A microscale pattern is copied by curing an elastomeric polymer over a 3D structure. The result is a polymer piece that can serve as part of a biological device.

These polymer structures are then ...

Zacht litografie is een reeks snelle, eenvoudige en goedkope fabricageprocessen die met succes zijn gebruikt om de complexe kanalen van microfluïdische systemen te patternen. In de elektronica-industrie verwijst litografie naar het proces van microfabricage met behulp van licht en lichtgevoelige polymeren om delen van een dunne film of het groot...