Begrip van het mechanisch gedrag van micro-elektromechanische systemen (MEMS) apparaten is cruciaal voor het ontwerp, de prestaties en de betrouwbaarheidvan het apparaat. Conventionele universele testmachines zijn veel gebruikt om mechanische eigenschappen te evalueren; ze zijn echter duur en vereisen aanzienlijke ruimte, mankracht en middelen voor installatie, onderhoud en exploitatie3. Bovendien zijn er, omdat ze voornamelijk zijn ontworpen voor hoge kracht- en grote verplaatsingsbereiken bij het mechanisch testen van hoogsterkte materialen, aanzienlijke verschillen tussen hun meetbereiken en die welke nodig zijn voor het evalueren van de mechanische eigenschappen van microstructuren in het kleine-rek gebied4. Daarom is onderzoek nodig naar een nieuw, goedkope compressietestapparatuur en experimentele methode die toepasbaar zijn op laboratoriumschaal met hoge herhaalbaarheid en betrouwbare metingen kunnen opleveren in het kleine-rek/kleine-krachtgebied5.
Verschillende mechanische testapparaten die op laboratoriumschaal kunnen worden ingezet, zijn ontwikkeld om de mechanische eigenschappen van kleinschalige MEMS-apparaten 6,7,8 te karakteriseren. De meeste van deze apparaten zijn echter ontwikkeld voor het testen van hoogsterkte materialen of voor gespecialiseerde omgevingen, en daarom hebben ze beperkingen in het betrouwbaar meten van de mechanische eigenschappen van MEMS-structuren in het kleine-rek/klein-kracht-gebied 9,10.
Om deze beperkingen te overwinnen, stellen we een compacte compressietestsysteem en -methode voor die zelfs in kleinschalige laboratoria kan worden toegepast. De voorgestelde methode maakt de kwantitatieve evaluatie van het mechanische gedrag van een materiaal mogelijk door gelijktijdig kleine verplaatsingen en krachten tijdens het compressieproces te meten. Het systeem werkt binnen een bereik van 4,4 N kracht en een gecontroleerde verplaatsingssnelheid van 1 μm/s, wat zorgt voor nauwkeurige en stabiele metingen. Het systeem is een compacte, goedkope compressietestopstelling die is ontworpen om de mechanische eigenschappen van microstructuren in het klein-rek gebied te evalueren.
Dit systeem integreert een z-trap met een krachtsensor en een op microcontrollerbord gebaseerde signaalacquisitie, waardoor gelijktijdige meting van kracht en verplaatsing met hoge precisie mogelijk is. Systeemvalidatie werd uitgevoerd door middel van de kalibratie van de terugkoppelweerstand (RF) - de belangrijkste factor bij het bepalen van de versterking van het inverterende versterkercircuit - en verificatie van verticale verplaatsing met een laserverplaatsingsmeter, waarbij werd bevestigd dat de resoluties van de verplaatsing en krachtmeting respectievelijk 1 μm en 0,01 N waren. Verkleinde monsters11,12, met een derde van de standaardgrootte (American Society for Testing and Materials (ASTM) D575-91, Standard Test Methods for Rubber Properties in Compression)13, werden vervaardigd, en er werd een compressietestmethode ontwikkeld om de mechanische eigenschappen van microstructuren betrouwbaar te evalueren in het gebied met kleine verplaatsing/lage kracht14,15.
De spanning-rekcurves van de geschaalde monsters werden gemeten met zowel een commerciële universele testmachine (MTS) als het ontwikkelde meetsysteem (MS), en de resultaten werden vergeleken. Van de helling van het initiële lineaire gebied werd de compressieve modulus bepaald op 1,39 MPa, wat een +5,3% afwijking vertoonde ten opzichte van eerder gerapporteerde waarden in literatuur16. Deze meetmethode, die verplaatsingscontrole en krachtmetingcombineert 17,18, biedt een reproduceerbaar meetkader dat geschikt is voor MEMS- en bio-MEMS-toepassingen. Deze aanpak biedt niet alleen een betrouwbaar kader voor het begrijpen van het mechanische gedrag van microstructuren, maar biedt ook een praktische methode voor het evalueren van materialen in diverse vakgebieden, waaronder biomedische apparaten19 en soft robotics20.