Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

Zwiększone zapotrzebowanie na przenośne urządzenia o bardzo małych objętościach próbek spowodowało miniaturyzację urządzeń zwanych BioMEM. BioMEM-y są produkowane w procesie mikrofabrykacji. Proces wytwarzania struktur w mikroskali przy użyciu technologii półprzewodnikowej. Technika mikrofabrykacji zwana fotolitografią jest często stosowana do m...