Zrozumienie mechanicznego zachowania urządzeń mikroelektromechanicznych (MEMS) jest kluczowe dla projektowania, wydajności i niezawodności urządzeń. 1,2. Konwencjonalne uniwersalne maszyny testujące były szeroko stosowane do oceny właściwości mechanicznych; jednak są one drogie i wymagają znacznej przestrzeni, zasobów ludzkich oraz zasobów do instalacji, utrzymania i eksploatacji3. Ponadto, ponieważ zostały one zaprojektowane głównie do pomiarów dużych sił i dużych zakresów przemieszczeń podczas mechanicznych testów materiałów o wysokiej wytrzymałości, istnieją istotne rozbieżności między ich zakresami pomiarowymi a tymi potrzebnymi do oceny właściwości mechanicznych mikrostruktur w obszarze małych odkształceń4. Dlatego potrzebne są badania nad nowym, tanim urządzeniem do testów kompresji oraz metodą eksperymentalną zastosowaną w skali laboratoryjnej o wysokiej powtarzalności, która pozwala na wiarygodne pomiary w obszarze małych odkształceńi sił 5.
Opracowano kilka mechanicznych urządzeń testowych, które można wykorzystać na skalę laboratoryjną, aby scharakteryzować właściwości mechaniczne małych urządzeń MEMS 6,7,8. Jednak większość tych urządzeń została opracowana do testowania materiałów o wysokiej wytrzymałości lub w specjalistycznych środowiskach, dlatego mają ograniczenia w niezawodnym pomiarze właściwości mechanicznych struktur MEMS w zakresie małych odkształceń i sił 9,10.
Aby przezwyciężyć te ograniczenia, proponujemy system testów kompresji o małym przesunięciu oraz metodę, którą można wykorzystać nawet w małych laboratoriach. Proponowana metoda umożliwia ilościową ocenę mechanicznego zachowania materiału poprzez jednoczesne mierzenie niewielkich przemieszczeń i sił podczas procesu ściskania. System działa w zakresie siły 4,4 N i kontrolowanej prędkości wyporu 1 μm/s, zapewniając precyzyjne i stabilne pomiary. System jest kompaktowym, niedrogim zestawem testów kompresyjnych, zaprojektowanym do oceny właściwości mechanicznych mikrostruktur w obszarze o małych odkształceniach.
System ten integruje stopień z czujnikiem siły i płytką mikrokontrolera, umożliwiając jednoczesne pomiary siły i przemieszczenia z dużą precyzją. Walidacja systemu przeprowadzono poprzez kalibrację rezystora sprzężenia zwrotnego (RF) – kluczowy czynnik określający wzmocnienie obwodu wzmacniacza odwracającego się – oraz weryfikację pionowego przemieszczenia za pomocą laserowego miernika przemieszczenia, potwierdzając, że rozdzielczości pomiaru przemieszczenia i siły wynosiły odpowiednio 1 μm i 0,01 N. Wykonano próbki w zmniejszonej skali11,12, z jedną trzecią standardowego rozmiaru (American Society for Testing and Materials (ASTM) D575-91, Standard Test Methods for Rubber Properties in Compression)13), a opracowano metodę testu kompresji do wiarygodnej oceny właściwości mechanicznych mikrostruktur w obszarze małych przemieszczeń i niskich sił14,15.
Krzywe naprężenia-odkształcenia próbek skalowanych mierzono zarówno za pomocą komercyjnej uniwersalnej maszyny testującej (MTS), jak i opracowanego systemu pomiarowego (MS), a wyniki porównano. Na podstawie nachylenia początkowego obszaru liniowego określono moduł ściskania na poziomie 1,39 MPa, co wykazało odchylenie od wartości wcześniej podanych w literaturze16 o +5,3%. To podejście do pomiaru, łączące kontrolę przemieszczenia i pomiar siły17,18, zapewnia powtarzalne ramy pomiarowe odpowiednie dla zastosowań MEMS i bio-MEMS. To podejście nie tylko stanowi wiarygodne ramy do zrozumienia mechanicznego zachowania mikrostruktur, ale także praktyczną metodę oceny materiałów w różnych dziedzinach, w tym w biomedycznych urządzeniach19 oraz miękkiej robotyce20.