Crescimento Epitaxia do feixe molecular assistido por plasma de mg3n2 e Zn3n2 filmes finos

Resumo

Este artigo descreve o crescimento de películas de epitaxial do magnésio₃n₂ e do Zn₃n₂ em carcaças de MgO pelo Epitaxy molecular plasma-ajudado do feixe com gás de n₂ como a fonte do nitrogênio e a monitoração ótica do crescimento.

Resumo

Este artigo descreve um procedimento para crescer películas do magnésio₃n₂ e do Zn₃n₂ pelo Epitaxy molecular plasma-ajudado do feixe (MBE). Os filmes são cultivados em 100 substratos MgO orientados com gás N₂ como fonte de nitrogênio. O método para a preparação dos substratos e o processo de crescimento do MBE são descritos. A orientação e a ordem cristalina do substrato e da superfície do filme são monitoradas pela reflexão sobre a difração de elétrons de alta energia (RHEED) antes e durante o crescimento. A reflectividade especular da superfície da amostra é medida durante o crescimento com um laser de ar-Ion com um comprimento de onda de 488 nm. Ajustando a dependência do tempo da reflectividade a um modelo matemático, o índice refração, o coeficiente ótico da extinção, e a taxa de crescimento da película são determinados. Os fluxos metálicos são medidos de forma independente em função das temperaturas das células de efusão utilizando um monitor de cristal de quartzo. As taxas de crescimento típicas são 0, 28 nm/s em temperaturas de crescimento de 150 ° c e 330 ° c para mg₃n₂ e Zn₃n₂ filmes, respectivamente.

Introdução

Os materiais do II₃-v₂ são uma classe dos semicondutores que receberam relativamente pouca atenção da Comunidade da pesquisa do SEMICONDUTOR comparada aos semicondutores III-v e II-vi¹. Os nitretos de MG e Zn, mg₃n₂ e Zn₃n₂, são atrativos para aplicações de consumo, pois são compostos por elementos abundantes e não tóxicos, tornando-os baratos e fáceis de reciclar ao contrário da maioria dos III-V e II-vi semicondutores compostos. Eles exibem uma estrutura de cristal anti-bixbyite semelhante à estrutura CaF₂ , com um dos FCC interpenetrantes F-sublattices sendo meio oc....

Protocolo

1. preparação do substrato MgO

Nota: um lado comercial EPI-polido (100) orientada único cristal MgO quadrado substratos (1 cm x 1 cm) foram empregadas para o X₃N₂ (x = Zn e mg) de crescimento da película fina.

1. Recozimento de alta temperatura
   1. Coloc o MgO em um portador limpo da amostra da bolacha da safira com o lado lustrado que enfrenta para cima em uma fornalha e um recoze para 9 h em 1.000 ° c. Aumente a temperatura para 1000 ° c durante um período de 10 min.
      Nota: o recozimento de alta temperatura remove o carbono da superfície e reconstrói a estrutura de cristal de superfície dos ún....

Resultados

O objeto preto no embutido na Figura 5b é uma fotografia de um filme fino de 200 nm Zn₃N₂ . Da mesma forma, o objeto amarelo no Inset na Figura 5C é um como-crescido 220 nm mg₃N₂ Thin Film. O filme amarelo é transparente na medida em que é fácil de ler o texto colocado atrás do filme¹⁰.

A superfície do .......

Discussão

Uma variedade de considerações está envolvida na escolha de substratos e estabelecendo as condições de crescimento que otimizam as propriedades estruturais e eletrônicas dos filmes. Os substratos MgO são aquecidos a alta temperatura no ar (1000 ° c) para remover a contaminação de carbono da superfície e melhorar a ordem cristalina na superfície do substrato. A limpeza ultra-sônica na acetona é um bom método alternativo para limpar os substratos do MgO.

O pico de difração de raios X (400) para .......

Materiais

Lista de materiais utilizados neste artigo

Nome	Empresa	Número de catálogo	Comentários
(100) Wafer Universitário MgO		214018	um lado epi-polido
Acetona	Fisher Chemical	170239	99,8%
Laser de argônio	Lexel Laser	00-137-124	488 nm comprimento de onda visível, potência de saída de 350 mW
Chopper	Sistema de pesquisa de Stanford	SR540	Frequência máxima: 3,7 kHz
Amplificador de bloqueio	Sistema de pesquisa de Stanford	37909	DSP SR810, Frequência Máx.: 100 kHz
Magnésio	UMC	MG6P5	99.9999%
MBE sistema	VG Semicon	V80H0016-2 SHT 1	V80H-10
Metanol	Alfa Aesar		L30U027 Semi-grade 99.9%
Nitrogênio	Praxair	402219501	99.998%
Oxigênio	Linde Gas	200-14-00067	> 99.9999%
Fonte de plasma	SVT Associates	SVTA-RF-4.5PBN	PBN, Abertura de 0.11", Especifique o Comprimento: 12" - Fotodiodo de 20"
Si	Newport	2718	818-UV Enhanced, 200 - 1100 nm
Zinco	Alfa Aesar	7440-66-6	99.9999%