Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

Возросшая потребность в портативных устройствах с чрезвычайно малыми объемами образцов привела к миниатюризации устройств, называемых биоMEM. БиоМЭМ производятся с помощью микропроизводства. Процесс изготовления микромасштабных структур с использованием полупроводниковой технологии. Метод микропроизводства, называемый фотолитографией, часто испо...