This is a free preview. For full access
Photolithography for Microfluidic Device Making
Description
Photolithography and soft lithography are used to make BioMEM devices such as microfluidic channels. A microscale pattern is copied by curing an elastomeric polymer over a 3D structure. The result is a polymer piece that can serve as part of a biological device.
These polymer structures are then ...
Show More
Transcript
Мягкая литография — это набор быстрых, простых и недорогих производственных процессов, которые успешно используются для моделирования сложных каналов микрофлюидных систем. В электронной промышленности литография относится к процессу микропроизводства с использованием легких и светочувствительных полимеров для моделирования частей тонкой пленки и...
Show More