$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
Процесс Sequence # 1: горячее тиснение, механическая обработка и сварка паров растворителей
CellChip в его кубический дизайн воспроизведены горячего тиснения или микро литья под давлением. Для этого мы используем Micromachined плесень латуни с обратной геометрии чип. Контейнеры - расположены в обычный массив до 1156 контейнеров - есть кубический дизайн с длиной ребра в 300 мкм. Для горячего тиснения, процесс репликации осуществляется на обычных WUM02 (Jenoptik Mikrotechnik, Германия). Инструмент состоит из двух круглых металлических пластин. На первом этапе, тонкой пластины ПММА (Lucryl, G77Q11, BASF) помещается в центр нижней пластины открыл инструмент. Микроструктурированных вставить плесень центрически установлен в верхней пластине. Затем инструмент закрыта для эвакуации форму и нагревается до температуры выше температуры стеклования полимера. При нажатии пластины вместе, вязких полимер помещается в полости эвакуированы, пока они полностью заполнены именно тиражирование геометрией формы. После охлаждения инструмента, микроструктурированных часть полимера может быть demoulded. Процесс требует больше полимера массой, чем это реально необходимо заполнить форму полости. Профицит полимер образует остаточный слой, который можно использовать для облегчения распалубки части. Однако, для создания поры диаметром менее 3 мкм в нижней части контейнера, толстые остаточного слоя должна быть похудел, или даже полностью удалена и заменена пористой мембраной. Чтобы упростить процесс интеграции пор, задней реплицируются CellChip полностью удаляется путем механической обработки с мельницей алмаза. Для этого части закреплены на монтажной пластине охлаждения и, кроме того, хрупких структур заморожены в деионизированной воде, чтобы защитить их от повреждения.
В последнем шаге процесса, наконец, коммерческие ионных трековых мембран (поликарбонат, толщина 10 мкм, размер пор 3 мкм, 2x10 6 поры / см ², Пипер Filter GmbH) связан с задней массив контейнеров теперь открываются как на сверху и снизу. Связь процесса сварки паров растворителя процесс осуществляется в газонепроницаемыми, подогрев камеры [рис. 1], состоящий из поршня и верхней подвижной нижней плиты со встроенным патроном вакууме. 4 до четырех обрабатываемых CellChips и трековых мембран подвергаются параллельно испарения растворителя после камере был эвакуирован. Затем, формованных деталей и мембраны прижаты друг к другу по верхней поршень. После короткого периода экспозиции (<15 с), камера снова эвакуировали удаляя растворитель. Из-за короткого времени контакта, только поверхность вблизи материал растворяется и деформации объемной структуры из-за механических нагрузок можно избежать. Наконец, камера открывается и растворителя сварных CellChips может быть удален и подготовлена к культуре клеток [рис. 2].
Рисунок 1.
Рисунок 2.
Процесс последовательности № 2: облучении тяжелыми иона, microthermoforming и травления треков (SMART процесса)
Новый процесс называется SMART является недавно разработанный микро-технологии для изготовления функционализированных мембраны типа микроструктур. 5 Технология основана на microtechnical термоформования процесс, называемый "microthermoforming. 6,7 В этом центральном шаг процесса, который был адаптирован с макроскопической ловушке лист термоформования процесса, нагретой тонкой полимерной пленки формируется в его смягчилось, резиновые упругие состояние за счет давления газа в полость формы [рис. 3]. В отличие от горячего тиснения или литья под давлением, этот процесс не является первичным формирования и полимер не расплавится. В связи с тем, что фильм формируется еще в твердом состоянии с постоянным сплоченности материала, материала модификации с высокой боковой резолюции может сначала быть сгенерированы на плоских полимерных пленок и сохраняются во всем процессе формирования. После microthermoforming шагом, эти изменения могут быть дополнительно обработаны выборочно, например, по мокрой химической обработки.

Рисунок 3
SMART процесс в принципе состоит из трех этапов процесса:
- создания высокоэффективных решен моделей модификации на плоских тонких полимерных пленок в предварительно обработать
- 3D-форING из фильмов microthermoforming без потерь (узорные) модификаций
- пост-обработку (опционально) для окончательного функционализации тонкостенных микроструктурированных частей
SMART процесса мы в настоящее время применяют для изготовления пористых CellChips включает в себя следующие этапы процесса [рис. 4]. Тонкой полимерной пленки, например, из поликарбоната (Pokalon OG461Gl, 50 мкм, LoFo High Tech Film GmbH, Германия), облучается ускоренных тяжелых ионов (например, Хе, Au или U ионов) на ускорителе объектов GSI (Дармштадт, Германия) с энергией ок. 1 ГэВ и в дозах порядка 106 8 После охлаждения инструментом, тонкостенные часть может быть demoulded. ионов / см ². При проникающих через фильм, каждый ион производит почти прямой след модифицированного материала, называемого скрытого трека. Предварительно обработанных фильмы затем формованием на массив 25x25 тонкостенных микроконтейнеров, каждый с диаметром и глубиной 300 мкм. Процесс в настоящее время осуществляется на изменение горячего тиснения пресса [рис. 5], где полимерная пленка зажимается между двумя металлическими пластинами. Верхняя пластина снабжена Micromachined плесени и нижней части расположены давления и вакуума разъемов. Фильм растягивается на ранее эвакуированы микрорезонаторах пресс-формы азота с давлением до 5 МПа. Пленки образуются вблизи их температуры стеклования предотвращения трек отжига.

Рисунок 4
Рисунок 5
В пост-обработки, ионно треки выборочно травления в поры, погрузив весь микроструктуры в соответствующей среде травления (например, 5 моль / л NaOH, 10% вес / объем метанола). Контролируя травления раз и травления условий, таких как концентрация, температура и специальных добавок (например, травления промоутеров), размер и форму в результате поры могут быть скорректированы [рис. 6].
Рисунок 6