Проектирование и характеристика методологии для эффективного широкий диапазон МЭМС Перестраиваемые фильтры

5.5K просмотров

15:25 мин.

4 февраля 2018 г.

10.3791/56371-v

4 февраля 2018 г.

5.5K просмотров

¹Department of Electrical and Electronic Engineering, Harran University

Протокол для фиксированной фиксированного луча дизайн, с использованием лазера Doppler Виброметр (АМГ), включая измерение частоты тюнинг, изменения настройки возможности и недопущение отказа устройства и stiction, представил. Превосходство метода LDV над сетевой анализатор продемонстрировал из-за его выше возможности режима.

Больше видео

Лазерный доплеровский виброметр

перестройка частоты

Джоулев нагрев

предотвращение слипания

КМОП-процесс

термическое напряжение

напряжение смещения постоянного тока

измерение резонанса

детектирование высших мод

Chapters in this video

0:00

Название

2:51

Выбор и проектирование оптимальной структуры

3:31

Моделирование и изготовление на базе КМОП

5:39

Тестирование устройств: проверка встроенных нагревателей с помощью тепловизора

6:27

Тестирование устройств: калибровка LDV и установка для испытаний

9:19

Тестирование устройств: исследование MEMS-фильтров длиной 68 мкм с помощью LDV

10:32

Тестирование устройств: измерение высших мод

11:01

Предотвращение отказов устройств

11:45

Предотвращение отказов: высокое термическое напряжение и перегорание

12:10

Повышение возможности перестройки

13:16

Результаты

14:07

Заключение