Photolithography for Silicon Wafer Patterning

Photolithography is a common microfabrication method used to pattern a silicon wafer. It uses light to transfer a design onto the wafer surface. This process helps form the basis for many BioMEM devices.

The page also shows how photolithography is carried out in a cleanroom. Cleanroom steps are i...

Son derece küçük numune hacimlerine sahip taşınabilir cihazlara olan ihtiyacın artması, BioMEM adı verilen cihazların minyatürleştirilmesine neden olmuştur. BioMEM'ler mikrofabrikasyon yoluyla üretilir. Yarı iletken teknolojisini kullanarak mikro ölçekli yapılar üretme süreci. Fotolitografi adı verilen bir mikrofabrikasyon tekniği, genellikle ış...