Yöntem makalesi

Esnek görüntü sensörü imalatı Lateral NIPIN Phototransistors dayalı.

DOI:

10.3791/57502

⸱

23 Haziran 2018

 ,  ,  , 
1School of Electrical Engineering and Computer Science, Gwangju Institute of Science and Technology

* These authors contributed equally

Bu makalede

Özet

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Biz bir deforme yanal NIPIN phototransistor dizi kavisli görüntü sensörleri için imal etmek detaylı bir yöntem mevcut. Phototransistor dizi ince silikon Adaları ve gerilebilir metal interconnectors oluşur, bir açık kafes formu ile esneklik ve esnekliği sağlar. Parametre analyzer fabrikasyon phototransistor elektrik özelliğini belirtir.

Özet

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Esnek photodetectors için hangi önemli bir bileşenini görüntüleme sistemlerinin biyo-ilham, kavisli görüntü sensörleri kullanımı yoğun bir şekilde incelenmiştir ama birkaç zorlu puan kalır, ince bir etkin katman nedeniyle ve düşük düşük emilim verimliliği gibi esneklik. Biz bir elektrik performansın bir esnek phototransistor dizi imal etmek gelişmiş bir yöntem mevcut. Üstün elektrik performans derin kirlilik doping nedeniyle düşük bir karanlık akım tarafından tahrik edilmektedir. Gerilebilir ve esnek metal interconnectors aynı anda bir çok deforme olmuş durumda elektrik ve mekanik sağlamlık sunar. Protokol açıkça bir ince silikon membran kullanarak phototransistor fabrikasyon sürecini açıklar. I-V özellikleri tamamlanmış cihazın deforme Birleşik Devletleri ölçerek, bu yaklaşım phototransistor dizi mekanik ve elektrik stabiliteleri geliştirir göstermek. Beklediğimiz bir esnek phototransistor için bu yaklaşım yaygın uygulamalar sadece yeni nesil görüntüleme sistemleri/Optoelektronik aynı zamanda dokunsal/basınç/sıcaklık sensörleri ve sağlık monitörleri gibi taşınabilir aygıtlar için kullanılabilir.

Giriş

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Görüntüleme sistemleri biyo-ilham konvansiyonel görüntüleme sistemleri1,2,3,4,5' e göre birçok avantajı sağlayabilir. Retina veya yarımküresel ommatidia biyolojik görsel sistem1,2,6önemli bir bileşenidir. Hayvan gözler kritik unsuru taklit eder, kavisli görüntü sensörü kompakt ve basit yapılandırma düşük aberasyonları7ile optik sistemleri sağlar. İmalat teknikleri ve malzemeleri, örneğin, organik/Nanomalzemeler8,9,10,11, gibi özünde yumuşak malzeme kullanımı çeşitli gelişmeler 12 ve deforme yapıları Giriº yarı iletken silisyum (Si) ve germanyum (Ge)1,2,3,13,14de dahil olmak üzere, 15,16,17, fark kavisli görüntü sensörleri. Bunlar arasında Si tabanlı yaklaşımlar birçok malzeme, Olgun teknoloji, istikrar ve optik/elektrik üstünlük gibi doğal avantajlar sağlar. İçsel sertlik ve kırılganlık, si olmasına rağmen bu nedenle, esnek elektronik Si tabanlı yaygın esnek Optoelektronik18,19,20 gibi çeşitli uygulamalar için incelenmiştir kavisli görüntü sensörleri1,2,3ve hatta giyilebilir sağlık cihazları21,22de dahil olmak üzere.

Bir son çalışmada biz analiz ve ince bir Si photodetector dizi23elektrik performans artırıldı. Bu çalışmada, eğri photodetector dizi optimum tek birim hücrenin bir fotodiyot ve engelleme diyot oluşan bir phototransistor (PTR) türüdür. Temel kavşak kazanç oluşturulan photocurrent güçlendirir ve bu nedenle ince film yapısı ile bir elektrik performansını artırmak için bir yol sergiler. Tek hücre yanı sıra ince film yapısı photodetector gürültü olarak kabul edilir bir karanlık geçerli bastırmak uygundur. Doping konsantrasyon ile ilgili 1015 cm-3 büyük bir konsantrasyon içinde diyot özellikleri bir ışık şiddeti ile 10-3 üzerinde W/cm2 23 korunabilir olağanüstü bir performans elde etmek yeterlidir . Ayrıca, PTR tek hücre düşük sütun gürültü vardır ve optik/elektrikli fotodiyot kıyasla özellikleri istikrarlı. Bu tasarım kurallarına göre ince Si silikon yalıtkan (SOI) gofret kullanarak PTRs içeren bir esnek photodetector dizisinin imal edilmiştir. Genel olarak, esnek görüntü sensörleri bir önemli tasarım kuralı suşları sıfır bir keyfi küçük r24nerede konumunu kalınlığı aracılığıyla yapısı tanımlayan tarafsız mekanik uçak kavramdır. Başka bir önemli nokta bir yılan gibi geometri elektrot çünkü dalgalı bir şekil elektrot için tam tersine çevrilebilir esnekliği sağlar. Bu iki önemli tasarım kavramları nedeniyle photodetector dizi esnek ve gerilebilir olabilir. Photodetector dizi 3D deformasyon yarımküresel şekli veya hayvan gözleri2retina gibi kavisli bir şekil içine kolaylaştırır.

Bu çalışmada işlemleri yarı iletken üretim işlemleri (Örneğin, doping, Aşındırma ve biriktirme) kullanarak eğri PTR dizi imalatı için detay ve transfer baskı. Ayrıca, bir ben-V eğrisi açısından tek bir PTR karakterize eder. Üretim yöntemi ve tek hücre analiz yanı sıra, PTR dizi elektrik özelliği deforme Birleşik analiz edilir.

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Protokol

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Dikkat: Bazı kimyasallar (i.e., hidroflorik asit, tamponlu oksit etchant, izopropil alkol vb..) bu kullanılan protokol sağlığı için tehlikeli olabilir. Herhangi bir numune hazırlama yürürlüğe girmeden önce ilgili tüm malzeme güvenlik bilgi formları danışınız. Uygun kişisel koruyucu ekipman kullanmak (Örneğin., laboratuvar mont, koruyucu gözlük, eldiven) ve denetimleri mühendislik (Örn., ıslak İstasyonu, duman hood) etchants ve çözücüler işlerken.

1. Si Doping ve yalıtım

Not: Şekil 1a - 1 d' ya bakınız.

  1. Katkılı SOI gofret iyon implantasyonu koşulları ile aşağıdaki gibi hazırlayın: 80/50 dopant-fosfor/Bor, enerji keV ve doping, sırasıyla bir doz 5 x 1015/3 x 1015 cm-3 n+ ve p+ için. Gofret crystallinity kurtarmak için iyon implantasyonu sonra örnek bir fırın içinde 120 dk 1000 ° c sıcaklıkta tavlama. Katkılı örnekleri yüksek işlem istikrar için iyon implantasyonu işlemin ulusal NanoFab Merkezi (NNFC) kullanılarak ve derin derinlik (Şekil 1a) doping hazırlayın.
  2. Yerel oksit kaldırmak için Teflon kepçe tamponlu oksit etchant (BOE) içinde 5 için kullanarak doğranmış örnek daldırma s ve doğranmış örnek sırayla aseton, izopropil alkol (IPA) ve deiyonize (DI) su ile temizleyin.
  3. Sı izolasyonu (Şekil 1b) için bir fotorezist (PR) desen oluşturmak.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
  4. Kuru 100 W RF güç, 0 W ICP güç, 30 mTorr oda basınç ve SF6 gaz (40 sccm) 6 dk (Şekil 1 c) için örnek İndüktif Eşleşmiş Plazma reaktif iyon gravür (ICP-RIE) kullanarak sı etch.
  5. Bir gömülü oksit tabaka kaldırmak için hidroflorik asit %49 2 dk, Teflon Kepçe (Şekil 1 d) kullanarak örneklerinde daldırma.
  6. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI. Nem kaldırmak için örnek bir N2 tüfekli ile forseps ile tutarak kuru.

2. kurban oksit tabaka ifade

Not: Şekil 1e - 1 gbkz.

  1. SiO2 kurban tabaka kalınlığının 130 ile mevduat nm plazma ile gelişmiş 230 ° c kimyasal buhar biriktirme (PECVD) bir sıcaklık, 20 W RF güç, 1000 mTorr basınç, SiH4 gaz (100 sccm) ve N2O gaz (800 sccm) 2 dk ( Rakam 1e).
  2. SiO2 kurban katman (Şekil 1f) için bir maske olarak PR katman desen.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak N2 tüfekli ile kuru bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
  3. PECVD oksit tabaka desen için BOE örnek 30 daldırma ler Teflon Kepçe (Şekil 1 g) kullanarak,.
  4. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI. Nem kaldırmak için örnek bir N2 tüfekli ile forseps ile tutarak kuru.

3. ilk katman olan polimid ve ilk Metallization birikimi

  1. 60 için 4000 devirde örnek üzerinde kat polimid (PI) spin s, 110 ° c 3 dakika ve 10 dakika sıcak tabakta 150 ° C'de tavlama ve 230 ° c N2 atmosferinde 60 dk için N2 fırın (Şekil 1 h) için sağlayarak tavlamak.
  2. SiO2 katman kalınlığı 130 ile mevduat PECVD 230 ° C, 20 W RF güç, 1000 mTorr basınç, SiH4 gaz (100 sccm), bir sıcaklık ile kullanarak nm ve N2O gaz (800 sccm) 2 dk için.
  3. Desen zor maske katmanı olarak SiO2 PI için kuru gravür (Şekil 1I).
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
    3. SiO2 sabit maskesi desen için BOE örnek 30 daldırma bir Teflon kepçe kullanarak s DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru.
  4. Kuru etch PI 30 W RF güç ile RIE kullanarak O2 gaz (30 sccm) ve Ar gaz (70 sccm) 20 dk için.
  5. PECVD oksit tabaka kaldırmak için BOE örnek 30 daldırma ler Teflon kepçe kullanarak,.
  6. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI. Nem kaldırmak için örnek bir N2 tüfekli ile forseps ile tutarak kuru.
  7. 10 nm/200 nm Cr/Au kalınlığı SAÇTIRMA tarafından Kasası.
  8. Cr/Au metal tabaka (Şekil 1j) desen.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru bırakın. PR sertleşmesine, sert örnek 5 min için 110 ° C'de pişirin.
    3. Islak etchant 60 s/20 s, Cr/Au katmanla sırasıyla etch.
  9. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI. Nem kaldırmak için örnek bir N2 tüfekli ile forseps ile tutarak kuru.
    Not: Temizleme işlemi PI katman peeling riski olduğundan çok dikkatli olmak zorunda.

4. birikimi olan polimid ve ikinci Metallization ikinci katman

  1. Örnek 4000 devirde 60 kat cila PI spin s, 110 ° c 3 dakika ve 10 dakika sıcak tabakta 150 ° C'de tavlama ve 230 ° c N2 atmosferinde 60 dk için N2 fırın (Şekil 1 k) olarak sağlayarak tavlamak.
  2. SiO2 katman 130 nm kullanmanın kalınlığı ile mevduat PECVD 230 ° C sıcaklık, 20 W RF güç, 1000 mTorr basınç, SiH4 gaz (100 sccm) ve N2O gaz (800 sccm) için 2 dk.
  3. SiO2 kuru gravür (Şekil 1 l) için sabit maske katmanı olarak desen.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
    3. SiO2 sabit maskesi desen için BOE örnek 30 daldırma bir Teflon kepçe kullanarak s DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru.
  4. Kuru etch RIE 30 W RF enerjisi ile kullanarak PI O2 gaz (30 sccm) ve Ar gaz (70 sccm) 50 dk için.
  5. PECVD oksit tabaka kaldırmak için BOE örnek 30 daldırma ler Teflon kepçe kullanarak,.
  6. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI.
  7. 10 nm/200 nm kalınlığı Cr/Au sputter kaplama tarafından Kasası.
  8. Cr/Au metal tabaka (Şekil 1 m) desen.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
    3. Cr/Au katmanı için 60 s/20 s, ıslak bir etchant tarafından sırasıyla etch.
  9. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI.
  10. Nem kaldırmak için forseps ile tutarak bir azot tüfekli ile temiz yüzey kuru.
    Not: Polimid katman peeling riski, çok çok dikkatli bir şekilde temizleme işlemi gerçekleştirin.

5. örnek PI ve açılış delik ve kafes yapısı üzerinden Kapsüllenen

  1. Örnek 4000 devirde 60 kat cila PI spin s, 110 ° c 3 dakika ve 10 dakika sıcak tabakta 150 ° C'de tavlama ve 230 ° c N2 atmosferinde 60 dk için N2 fırın (Şekil 1n) için sağlayarak tavlamak.
  2. SiO2 katman 650 nm kullanmanın kalınlığı ile mevduat PECVD 230 ° C sıcaklık, 20 W RF güç, 1000 mTorr basınç, SiH4 gaz (100 sccm) ve N2O gaz (800 sccm) 8 dakikadır.
  3. Desen SiO2 sabit maske katmanı olarak kuru gravür için.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile Kuru 2 min için geliştirici örnek bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
    3. SiO2 sabit maskesi desen, BOE örnek bir Teflon kepçe kullanarak 1 dk 30 sn için daldırma, DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru için.
      Not: desenlendirme küçük boyutu nedeniyle, önceki geliştirme zamanı daha uzun geliştirmek izin için gerekli.
  4. Kuru etch RIE 30 W RF enerjisi ile kullanarak PI O2 gaz (30 sccm) ve Ar gaz (70 sccm) 75 dk için.
  5. Kuru etch ICP-RIE tarafından Si 100 W RF güç, 0 W ICP güç, 30 mTorr oda basınç ve 40 sccm SF6 gaz 6 dk (Şekil 1o) için.
  6. PECVD oksit tabaka kaldırmak için BOE örnekte 1 dk 30 s, Teflon kepçe kullanarak için daldırma.
  7. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI.
  8. SiO2 katman 130 nm kullanmanın kalınlığı ile mevduat PECVD 230 ° C sıcaklık, 20 W RF güç, 1000 mTorr basınç, SiH4 gaz (100 sccm) ve N2O gaz (800 sccm) için 2 dk.
  9. Desen SiO2 sabit maske katmanı olarak kuru gravür için.
    1. 40 s ve yumuşak kaplamalı örnek 90 ° C'de UV ışığı 10 için fotolitografi maskesi için örnek 90 s. açmak için fırında için 4000 devirde örnek üzerinde kat olumlu PR spin s.
    2. Örnek geliştirici 1 dk. için deseni tanımlamak için DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru bırakın. Sert 110 ° C 5 min için PR katmanında Sertleştirme için örnek pişirin.
    3. SiO2 sabit maskesi desen, BOE örnek bir Teflon kepçe kullanarak 1 dk 30 sn için daldırma, DI su temiz ve forseps ile tutarak bir N2 tüfekli ile kuru için.
  10. Kuru etch PI RIE ile 30 W RF güç ile O2 gaz (30 sccm) ve Ar gaz (70 sccm) 75 dk için.
  11. PECVD oksit tabaka kaldırmak için BOE örnek 30 daldırma ler Teflon kepçe kullanarak,.
  12. Temiz su örnekle sırayla aseton, IPA ve DI. Nem kaldırmak için temiz örnek bir N2 tüfekli ile forseps ile tutarak kuru.

6. kurban katman aşındırma ve örnek için esnek substrat aktarma

Not: Şekil 2bakın.

  1. Kurban katman hidroflorik asit %49 20 dk (Şekil 2a; iç metin) için örnek çeker tarafından etch.
  2. Örnek DI su ile durulayın.
  3. Bir silecek kapiller olgusu substrat ve aygıt arasında nem absorbe için kullandıktan sonra bir N2 tüfekli ile temiz örnek kalan nemi (Şekil 2a) kaldırmak için forseps ile tutarak kuru.
    1. Durulama ve örnek kurutma işlemi gerçekleştirin. Aygıt ve substrat arasında düşük yapışma nedeniyle bu çok dikkatli bir şekilde yapılması, substrat ve aygıtı ayrı olarak değil vardır.
  4. Karbon bant kullanarak örnek tutun ve suda çözünen teyp takın.
  5. Suda çözünen bandı substrat (Şekil 2b) kalan aygıtın önlemek için bir anda şerit.
  6. Örnek suda çözünen teybe eklenir doğrulayın.
  7. Kaplı örnek bir polydimethylsiloxane (PDMS) için polietilen tereftalat (PET) film (Şekil 2 c) aktarın.
    1. PDMS hazırlamak (prepolymer karışımı 10:1: Ajan kür) ve gaz giderme tarafından PDMS içinde herhangi bir hava kabarcıkları kaldırın.
    2. Spin kat PDMS 1000 devirde 30 s ve fırında 10 dakika için 110 ° c sıcaklıkta sıcak tabakta evde beslenen hayvan film için evde beslenen hayvan filmde.
    3. UV ışığı için 30 örneğine maruz s PDMS yapışma geliştirmek ve örnek suda çözünen kasetle PDMS kaplı Evcil hayvan film eklemek için.
      Not: UV tedavi PDMS yüzeyine yapışma geliştirir.
  8. Suda çözünen teyp kaldırmak için dikkatli bir şekilde su, bir pipet kullanarak bırakın. Su su ile uzak süpürüldü aygıtın önlemek için yavaş bir akış ile suda eriyen bandı çıkarın. Örnek bir N2 tüfekli ile yavaş yavaş forseps (Şekil 2B) ile tutarak kuru.

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Sonuçlar

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Şekil 3a ve 3b NIPIN PTR önceki çalışmalar2,23dikkate alınarak tasarlanmış ve fabrikasyon yapısını göstermek. Şekil 3a ' ilave PTR temel ı-V karakteristik sergiler. PTR detaylı yapısal parametreleri Şekil 3b' gösterilir. Bir SOI gofret Si katmanda doping işlemlerinde NNFC iyon implantasyonu kullanılarak yapılmıştır. Doping de...

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Tartışma

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Burada açıklanan imalat teknolojisi önemli ölçüde gelişmiş elektronik ve taşınabilir aygıtların ilerleme katkıda bulunur. Bu yaklaşım, temel kavramları ince bir Si zar ve metal interconnectors germe yetenekli kullanın. Si kolayca kırık kırılgan ve zor bir malzeme olmasına rağmen çok ince bir Si tabaka bir esneklik26,27elde edebilirsiniz. Metal Enterkonnektörü söz konusu olduğunda, dalgalı şekil esnekliği ve esneklik28,

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Açıklamalar

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Yazarlar ifşa gerek yok.

Teşekkürler

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Bu araştırma yaratıcı malzemeleri bulma Program aracılığıyla Ulusal Araştırma Vakfı, Kore (ICT (NMK-2017M3D1A1039288) ve Bilim Bakanlığı tarafından finanse edilen NMG) tarafından desteklenmiştir. Ayrıca, bu Araştırma Enstitüsü (MSIP) (No.2017000709, fiziksel olarak unclonable şifreleme ilkel kullanarak entegre yaklaşımlar Kore hükümeti tarafından finanse edilen bilgi ve iletişim teknolojisi promosyon (IITP) hibe tarafından desteklenmiştir rast gele lazerler ve Optoelektronik).

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Malzemeler

Bu makalede kullanılan malzemelerin listesi
AdŞirketKatalog numarasıYorumlar
MBJ3karl sussMJB3 UV400 MASKE HIZALAYICIMaske hizalayıcı
80 plus RIEOxford cihazlarıPlasmalab 80 Plus RIEICP-RIE
80 plus için PECVDOxford cihazlarıPlasmalab 80 Plus forPECVD,PECVD
SF-100NDRhabdos Co., Ltd.SF-100NDSpin kaplayıcı
PoliimidSigma-Aldrich575771Poli (piromelitik dianhidrit-co-4,4 & prime ; -oksidianilin), amik asit çözeltisi
SOI (yalıtkan üzerinde silikon) gofret, 8 inçSoitecSOI (yalıtkan üzerinde silikon) gofret, 8 inç8 inç SOI Gofret (silikon Kalınlığı: 1.25 & mu; m)
AsetonDükkan Saf Kimyasallar Co., Ltd.3051Aseton
İzopropil Alkol (IPA)Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.4614İzopropil Alkol (IPA)
Tamponlu Oksit Aşındırma 6:1Avantor1278Tamponlu Oksit Aşındırma 6:1
HSD150-03PMisung Scientific Co., LtdHSD150-03PSıcak plaka
AZ5214MikrokimyasalAZ5214Fotorezist
MIF300MikrokimyasalMIF300Geliştirici
SYLGARD184Dow CorningSYLGARD184Polidimetilsiloksan elastomer
Hidroflorik Asit Dükkan Saf Kimyasallar Co., Ltd.2919Hidroflorik Asit 
CR-7KMG Chemicals, Inc210023Krom maske aşındırıcı
MFCD07370792Sigma-Aldrich651842Altın aşındırıcı

Kaynaklar

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Ko, H. C., et al. A hemispherical electronic eye camera based on compressible silicon optoelectronics. Nature. 454, 748-753 (2008).
  2. Song, Y. M., et al. Digital cameras with designs inspired by the arthropod eye. Nature. 497 (7447), 95-99 (2013).
  3. Jung, I., et al. Dynamically tunable hemispherical electronic eye camera system with adjustable zoom capability. Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 108 (5), 1788-1793 (2011).
  4. Floreano, D., et al. Miniature curved artificial compound eyes. Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 110 (23), 9267-9272 (2013).
  5. Liu, H., Huang, Y., Jiang, H. Artificial eye for scotopic vision with bioinspired all-optical photosensitivity enhancer. Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 113 (23), 3982-3985 (2016).
  6. Pang, K., Fang, F., Song, L., Zhang, Y., Zhang, H. Bionic compound eye for 3D motion detection using an optical freeform surface. Journal of the Optical Society of America B. 34 (5), B28-B35 (2017).
  7. Lee, G. J., Nam, W. I., Song, Y. M. Robustness of an artificially tailored fisheye imaging system with a curvilinear image surface. Optics & Laser Technology. 96, 50-57 (2017).
  8. Xu, X., Mihnev, M., Taylor, A., Forrest, S. R. Organic photodetector arrays with indium tin oxide electrodes patterned using directly transferred metal masks. Applied Physics Letters. 94 (4), 1-3 (2009).
  9. Deng, W., et al. Aligned single -crystalline perovskite microwire arrays for high -performance flexible image sensors with long -term stability. Advanced Materials. 18 (11), 2201-2208 (2016).
  10. Liu, X., Lee, E. K., Kim, D. Y., Yu, H., Oh, J. H. Flexible organic phototransistor array with enhanced responsivity via metal-ligand charge transfer. ACS Applied Materials & Interfaces. 8 (11), 7291-7299 (2016).
  11. Li, X., et al. Constructing fast carrier tracks into flexible perovskite photodetectors to greatly improve responsivity. ACS Nano. 11 (2), 2015-2023 (2017).
  12. Li, L., Gu, L., Lou, Z., Fan, Z., Shen, G. ZnO quantum dot decorated Zn2SnO4 nanowire heterojunction photodetectors with drastic performance enhancement and flexible ultraviolet image sensors. ACS Nano. 11 (4), 4067-4076 (2017).
  13. Dumas, D., et al. Infrared camera based on a curved retina. Optics Letters. 37 (4), 653-655 (2012).
  14. Dumas, D., Fendler, M., Baier, N., Primot, J., le Coarer, E. Curved focal plane detector array for wide field cameras. Applied Optics. 51 (22), 5419-5424 (2012).
  15. Gregory, J. A., et al. Development and application of spherically curved charge-coupled device imagers. Applied Optics. 54 (10), 3072-3082 (2015).
  16. Guenter, B., et al. Highly curved image sensors: a practical approach for improved optical performance. Optics Express. 25 (12), 13010-13023 (2017).
  17. Wu, T., et al. Design and fabrication of silicon-tessellated structures for monocentric imagers. Microsystems & Nanoengineering. 2, 16019(2016).
  18. Yoon, J., et al. Flexible concentrator photovoltaics based on microscale silicon solar cells embedded in luminescent waveguides. Nature Communications. 2, 343(2011).
  19. Lee, S. M., et al. Printable nanostructured silicon solar cells for high-performance, large-area flexible photovoltaics. ACS Nano. 8 (10), 10507-10516 (2014).
  20. Kang, D., et al. Flexible opto-fluidic fluorescence sensors based on heterogeneously integrated micro-VCSELs and silicon photodiodes. ACS Photonics. 3 (6), 912-918 (2016).
  21. Van den Brand, J., et al. Flexible and stretchable electronics for wearable health devices. Solid-State Electronics. , 116-120 (2015).
  22. Yu, K. J., et al. Bioresorbable silicon electronics for transient spatiotemporal mapping of electrical activity from the cerebral cortex. Nature Materials. 15, 782-791 (2015).
  23. Kim, M. S., Lee, G. J., Kim, H. M., Song, Y. M. Parametric optimization of lateral NIPIN phototransistors for flexible image sensors. Sensors. 17 (8), 1774(2017).
  24. Kim, D. H., et al. Stretchable and foldable silicon integrated circuits. Science. 320, 507-511 (2008).
  25. Shin, K. S., et al. Characterization of an integrated fluorescence-detection hybrid device with photodiode and organic light-emitting diode. IEEE Electron Device Letters. 27 (9), 746-748 (2006).
  26. Lu, N. Mechanics, materials, and functionalities of biointegrated electronics. The Bridge. 43 (4), 31-38 (2013).
  27. Burghartz, J. N., et al. Ultra-thin chip technology and applications, a new paradigm in silicon technology. Solid-State Electronics. 54 (9), 818-829 (2010).
  28. Shin, G., et al. Micromechanics and advanced designs for curved photodetector arrays in hemispherical electronic-eye cameras. Small. 6 (7), 851-856 (2010).
  29. Jung, I., et al. Paraboloid electronic eye cameras using deformable arrays of photodetectors in hexagonal mesh layouts. Applied Physics Letters. 96 (2), 21110(2010).

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Yeniden basım ve izinler

Bu JoVE makalesinin metnini veya şekillerini yeniden kullanmak için izin iste

İzin iste

Etiketler

Esnek Fototransist r DizisiDerin Safs zl k Katk lamasEsnetilebilir Metal Ara Ba lant larnce Silikon MembranPlazma Destekli Kimyasal Buhar BiriktirmeReaktif yon A nd rmaHidroflorik Asit A nd rmaPoliimid Kaps llemeIV Karakteristik l m

İlgili makaleler