Yöntem makalesi

Etch Nano mimarilerine mikroelektrotlara odaklanmış iyon ışını Litografisi

DOI:

10.3791/60004

⸱

19 Ocak 2020

 ,  ,  ,  , 
1Department of Electrical Engineering and Computer Science, University of Michigan, 2Veteran Affairs Ann Arbor Healthcare System, 3Department of Neurology, School of Medicine, University of Michigan, 4Department of Biomedical Engineering, University of Michigan, 5Michigan Center for Materials Characterization, University of Michigan, 6Carl Zeiss SMT, Inc.

Bu makalede

Özet

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Nano-mimarinin intrakortikal mikroelektrot cihazlarına aşındırmalarının inflamatuar yanıtı azaltabileceğini ve elektrofizyolojik kayıtları iyileştirme potansiyeline sahip olduğunu gösterdik. Burada açıklanan yöntemler, nano-mimarileri işlevsel olmayan ve fonksiyonel tek saplı silikon intrakortikal mikroelektrotların yüzeyine aşındırmak için bir yaklaşımı ortaya çıkarmaktadır.

Özet

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Elektronik ve üretim teknolojisindeki gelişmelerle, kortikal mikroelektrotlar daha yüksek çözünürlük ve genişletilmiş yeteneklere sahip gelişmiş mikroelektrotların üretilmesine olanak sağlayan önemli iyileştirmelerden geçmiştir. Üretim teknolojisindeki ilerleme, beyin parankimine sorunsuz bir şekilde entegre olmayı, elektrot takıldıktan sonra gözlenen nöroinflamatuar yanıtı azaltmayı ve kaliteyi artırmayı ve elektrofizyolojik kayıtların uzun ömürlü. Burada, yakın zamanda nano-mimari olarak sınıflandırılan biyomimetik bir yaklaşımı niçin kullandığına bir protokol uyguluyoruz. Bu protokolde, belirli nano mimari özellikleri fonksiyonel olmayan ve fonksiyonel tek saplı intrakortikal mikroelektrotların yüzeyine sokmak için odaklanmış iyon ışını litografisi (FIB) kullanımı kullanılmıştır. Nano-mimarilerin elektrot yüzeyine aşılarak, implante edilen cihazın biyouyumluluk ve işlevselliğinin olası iyileşmeleri ne kadar iyi olduğunu göstermiştir. FIB kullanmanın avantajlarından biri, cihazın üretilmesi sırasında ki üretimin aksine, üretim sonrası çok sayıda tıbbi cihazı değiştirmek için sınırsız olanaklar sağlayan, üretilen cihazlara aşındırabilme yeteneğidir. Burada sunulan protokol çeşitli malzeme türleri, nano mimari özellikleri ve cihaz türleri için optimize edilebilir. İmplante edilen tıbbi cihazların yüzeyinin güçlendirilmesi cihaz performansını ve dokuya entegrasyonunu artırabilir.

Giriş

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

İntrakortikal Mikroelektrotlar (IME) dış cihazlar ve serebral korteks içinde nöronal popülasyonlar arasında doğrudan bir araya araç sağlayan invaziv elektrotlar vardır1,2. Bu teknoloji, bilim adamlarının nöronal işlevi keşfetme, nörolojik hastalıkların önceden anlaşılması ve potansiyel tedaviler geliştirme yeteneklerini geliştirmek için nöral etki potansiyellerini kaydetmek için paha biçilmez bir araçtır. Beyin Makine Arabirimi (BMI) sistemlerinin bir parçası olarak kullanılan intrakortikal mikroelektrot, fonksiyonel çıkışlar üretmek için kullanılabilecek motor niyetleri tespit etmek için bir bireysel veya küçük nöron gruplarından eylem potansiyellerinin kaydedilmesini sağlar3. Aslında, BMI sistemleri başarıyla protez ve tedavi amaçlı kullanılmıştır, aminotrofik lateral skleroz olan hastalarda bir bilgisayar imleci çalıştırmak için edinilmiş sensorimotor ritim kontrolü gibi (ALS)4 ve omurilik yaralanmaları5 ve kronik tetrapleji muzdarip kişilerde hareketi geri 6 .

Ne yazık ki, IMEs genellikle mekanik, biyolojik ve malzeme faktörleri7,8içeren çeşitli arıza modları nedeniyle zaman içinde tutarlı bir şekilde kaydetmek için başarısız . Elektrot implantasyonu ndan sonra oluşan nöroinflamatuar yanıtın elektrot yetmezliğine katkıda bulunan önemli bir sorun olduğu düşünülmektedir9,10,11,12,13,14. Nöroinflamatuar yanıt kan beyin bariyerini keser, yerel beyin parankim zarar ve glial ve nöronal ağları bozar IME ilk ekleme sırasında başlatılır15,16. Bu akut yanıt glial hücrelerin aktivasyonu ile karakterizedir (mikroglia / makrofajlar ve astrositler), hangi implant site etrafında pro-inflamatuar ve nörotoksik molekülleri serbest17,18,19,20. Glial hücrelerin kronik aktivasyonu sağlıklı beyin dokusundan elektrot izole glial yara oluşumu ile karakterize yabancı bir cisim reaksiyonu ile sonuçlanır7,9,12,13,17,21,22. Sonuçta, elektrot yeteneğini nöronal eylem potansiyelleri kaydetmek için engel, elektrot ve nöronlar ve dejenerasyon ve nöronların ölümü arasındaki fiziksel bariyer nedeniyle23,24,25.

İntrakortikal mikroelektrotların erken başarısızlık biyomimetik stratejiler26,27,28,29,30vurgu ile, yeni nesil elektrotların geliştirilmesinde önemli araştırma hakkında getirdi. Burada açıklanan protokolüözellikle ilgi, IMEs31için biyomimetik yüzey değişiklikleri bir sınıf olarak nano-mimari kullanımıdır. Bu doğal in vivo ortamın mimarisini taklit yüzeyler geliştirilmiş bir biyouyumlu tepki32,33,34,35,36olduğu tespit edilmiştir. Bu nedenle, bu protokolü zorlayan hipotez, beyin dokusunun kaba mimarisi ile intrakortikal mikroelektrotların düzgün mimarisi arasındaki süreksizliğin implante edilmiş IME'lere nöroinflamatuar ve kronik yabancı cisim tepkisine katkıda bulunabileceğidir (tam bir inceleme için Kim ve ark.31'ebakın). Daha önce nano-mimari özelliklerin kullanımı beynin hücre dışı matris mimarisine benzer nano-mimarili substratlar kültürlü hücrelerden astrosit inflamatuar belirteçleri azaltır göstermiştir, nöroinflamasyon hem de in vitro ve ex vivo modellerinde düz kontrol yüzeyleri ile karşılaştırıldığında37,38. Ayrıca, nano-mimarileri doğrudan silikon problara aşındırmak için odaklanmış iyon ışını (FIB) litografisinin uygulanmasını gösterdik ve bu da nano-mimari problarla implante edilen hayvanlardan pro-inflamatuar genlerin düzgün kontrol grubu26'yagöre önemli ölçüde artmış nöronal canlılık ve daha düşük ekspresyona yol açtı. Bu nedenle, burada sunulan protokolün amacı, fib litografisinin üretilen intrakortikal mikroelektrot cihazlarındaki nano-mimarileri aşındırmak için kullanımını tanımlamaktır. Bu protokol, nano mimari boyutlu özellikleri, hem otomatik hem de manuel prosesler kullanılarak intrakortikal mikroelektrot saplarının silikon yüzeylerine dönüştürmek için tasarlanmıştır. Bu yöntemler karmaşık değildir, tekrarlanabilir ve kesinlikle çeşitli cihaz malzemeleri ve istenen özellik boyutları için optimize edilebilir.

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Protokol

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

NOT: Laboratuvar önlüğü ve eldiven gibi uygun kişisel koruyucu ekipmanı giyerken aşağıdaki adımları yapın.

1. Odaklanmış Iyon Kirişi (FIB) Litografisi için İşlevsel Olmayan Silikon Prob Montajı

NOT: 1.000 prob ile SOI gofret imalatı açıklayan tam prosedür için, Ereifej veark. 39bakın .

  1. 1.000 prob içeren yalıtkan (SOI) gofret üzerindeki silikondan 2-3 silikon probdan oluşan bir şerit ayırın. Üçten fazla silikon prob içeren şeritler yapmayın. Bu, gevşek montaj şansını artırabilir ve FIB'nin yanlış bir şekilde aşındırmasıyla sonuçlanan yanlış hizalamaya neden olabilir.
    NOT: Alüminyum saplamaüzerinde sıkıca oturmayan şeritler/problar iki komplikasyona neden olabilir: 1) sahne bir sonraki bölümde çalışmaya başladığında titreşimler olacaktır ve frezeleme prob yerleşene kadar doğru olmayacaktır ve 2) yüksek bir varyasyona neden olabilir ve odak düzleminin dışına çıkabilir.
    1. Eldiven giyerken, iki ila üç sonda içeren küçük bir bölümü kırmak için sondaların etrafına baskı yapmak için ince prupler kullanın.
  2. FIB aşıntma öncesinde tüm toz ve döküntülerin silikon probu dikkatle temizleyin. 3 mL/kuyu %95 etanolü üç kuyuya boru ile 6 iyi polistiren plaka hazırlayın.
    1. Dikkatle ince ucu veya vakum forceps kullanarak silikon probların kesilmiş şerit almak ve hücre süzgeci içine yerleştirin. Probların kırılmasını önlemek için süzgeç başına sadece bir silikon prob şeridi yerleştirin. Silikon probları içeren süzgeci temizleme için %95 etanol içeren ilk kuyuya yerleştirin. 5 dakika boyunca ilk kuyuda süzgeç tutun.
    2. Silikon probları içeren süzgeci ilk kuyudan hareket ettirin ve %95 etanol içeren ikinci kuyuya yerleştirin.
    3. Temizlenmiş silikon probu içeren süzgeci, kuruması için bir politetrafloroetilen plakaüzerine yerleştirin. Tozdan kaynaklanan kirlenmeyi önlemek için bu adımı steril bir başlıkta yapın.
  3. SEM-FIB'ye taşınması için havayla kurutulmuş silikon probları kapalı bir kapta yerleştirin. Temizliği sürdürmek için havayla kurutulmuş numuneleri içeren süzgeciyi taşıma ve/veya depolama için plastik veya alüminyum folyo sargı ile sarın.
  4. Silikon probların temiz şeridini dikkatlice almak ve montaja hazırlanmak için temiz bir alüminyum saplama (SEM-FIB görüntüleme/gravür için kullanılan) üzerine yerleştirmek için ince uçlu veya vakumlu forsepskullanın.
  5. Probları çevreleyen silikon substrat kenarına küçük bir damla (~10 μL) gümüş boya yerleştirmek için bir kürdan (veya ince bir elektrik teli gibi diğer ince uçlu alet) kullanın. Sondayı çevreleyen silikon substrat kenarlarına gümüş boya yayarak şeridi sabitle. Sem-FIB içine alüminyum saplama yerleştirmeden önce gümüş boya tamamen kurumasını bekleyin.
    NOT: Elektrotun sapına gümüş boya almamaya dikkat edin, çünkü kazınacak kısım bu. Probların şeridi alüminyum sapa güvenli bir şekilde sabitlenmemişse, şerit işleme sırasında hareket edebilir veya farklı bir odak düzlemine sahip olabilir ve bu da FIB tarafından yanlış frezelemeyle sonuçlanabilir. Silikon probları çeşitli şeritler aynı alüminyum saplama üzerine monte edilebilir, gravür sonra saplama sonra sapı kaldırılması için izin şeritler arasında yeterli boşluk olduğundan emin olun. Bu, aşağıda açıklanan otomatik özelliği kullanarak birden fazla probdaha verimli gravür sağlayacaktır.

2. FIB'yi Silikon Problarla Hizalama

  1. Hazneyi havalandırmak için ışın kontrol sekmesindeki havalandırma düğmesine tıklayın. Ana sahnegerçekleştirmek için Shift+F3 tuşuna basın. Açılan penceredeki Ana Sahne düğmesini seçerek seçimi onaylayın.
    NOT: Ev aşaması işleminin yürütülmesi, sahne ekseninin yazılım tarafından doğru okunmasını ve mikroskobun iyi durumda olmasını sağlamak için önleyici bir adımdır.
  2. Ana Aşama tamamlandıktan sonra sahneyi X = 70 mm, Y = 70 mm, Z = 0 mm, T = 0°, R = 0°koordinatlarına taşıyın. Oda boşaltıldıktan sonra temiz nitril eldivenleri giyin ve oda nın kapısını açın.
    NOT: Önceki kullanıcının uygulamasına bağlı olarak, aşama bağdaştırıcısını değiştirmek gerekebilir. Standart sahne adaptörleri (örneğin, FEI tarzı) merkezi cıvata saat yönünün tersine sökülerek çıkarılabilir ve sahnenin dönüş plakasına saat yönünde vidalandırılarak takılabilir.
  3. Probları tutan alüminyum sapı sahne adaptörünün üstüne yerleştirin. Sahne adaptörünün yan tarafındaki set vidasını sıkarak alüminyum sapı sabitle. Bu görev için 1,5 mm'lik hex anahtarı kullanın.
  4. Adaptörü saat yönünde çevirerek sahne bağdaştırıcısının yüksekliğini düşürerek veya yükseltmek için saat yönünün tersine ayarlayın. Somun sahne dönüş plakasına karşı sabitlenene kadar kilitleme konisi somunu saat yönünde çevirerek sahne adaptörlerini döndürme plakasına sabitleyin. Kilitleme konisi somunu sıkarken adaptörün ve numunelerin dönmesini önlemek için sahne adaptörünün diğer elinizle tutun.
    NOT: Uygun yüksekliği belirlemek için sağlanan yükseklik ölçerini kullanın. Alüminyum saplamanın üst kısmı, yükseklik göstergesinde gösterilen maksimum çizgiyle aynı yükseklikte olmalıdır. Koni somunu sıkma üzerinde sahne ve adaptör hasara neden olabilir. Sadece örnekleri sabitlemek için yeterli güç kullanın.
  5. Bir navigasyon kamerası görüntüsü elde edin. Navigasyon kamerası kolunu durana kadar dikkatlice açın. Mikroskop aşaması otomatik olarak kameranın altındaki bir konuma taşınır. Mikroskop kullanıcı arabiriminin (UI) Quadrant 3'te gösterilen canlı görüntüsünü izleyin.
    1. Parlaklık düzeyi otomatik olarak uygun bir düzeye ayarlandıktan sonra, kamera braketi üzerindeki düğmeye basarak görüntüyü elde edin. Quadrant 3'te görünen bir duraklama sembolü ve kameranın aydınlatılmasıyla gösterilen tüm görüntü ediniminin tamamlanmasını beklediğiniz kesin. Bu yaklaşık 10 s. Geri kapalı konuma kamera kolu salıncak alır. Sahne orijinal konumuna geri dönecektir.
  6. Mikroskop odası nın kapısını dikkatlice kapatın. Kapıyı kapatırken Quadrant 4'teki CCD kamera görüntüsünü izleyin. Numunelerin ve aşamanın mikroskop odasındaki herhangi bir kritik bileşenden güvenli bir mesafede olduğundan emin olun.
  7. Işın kontrol sekmesinde Pompa düğmesinin yanındaki aşağı oku seçin. Oda vakum pompasını başlatmak ve plazma temizleyicide yerleşik olarak UI yazılımında Örnek Temizleme düğmesiyle Pompa'yı seçin. Pompa çalışırken kapının yüzüne hafifçe bastırarak kapının mühürlü olduğundan emin olun. Mikroskop haznesinin tamamlanması için pompalama süresi ve plazma temizleme döngüsü için yaklaşık 8 dakika bekleyin.
    NOT: Bir vakum mührü, sistem vakum altında ysa kapalı kalması gereken oda kapısını hafifçe çekerek doğrulanabilir.
  8. UI'nin sağ alt köşesindeki simge yeşile döndüğünde, elektron ve iyon demetlerini açan ışın kontrol sekmesindeki Uyandırma düğmesine basın. Quadrant 1'i seçin ve ışın sinyalini elektron ışınına ayarlayın (zaten ayarlanmıyorsa), quadrant 2'yi iyon ışınına ayarlayın (zaten ayarlanmıyorsa).
    1. SEM voltajını 5 kV'a ayarlayın, SEM ışın akımını 0,20 nA'ya ayarlayın, SEM dedektörünü ETD'ye ayarlayın, dedektör modunu İkincil Elektron'a ayarlayın. FIB voltajını 30 kV'a ayarlayın, FIB ışın akımını 24 pA'ya ayarlayın, FIB dedektörünü ICE dedektörüne ayarlayın, dedektör modunu ikincil elektrona ayarlayın.
  9. Navigasyon kamerası görüntüsündeki silikon sondaya çift tıklayın, sahneyi sondanın yaklaşık konumuna taşımak için 3. Etkin kadran olarak seçmek için kadranda 1'e tıklayın ve SEM taramasını başlatmak için duraklatma düğmesine basın. 300 ns için tarak çalışma süresini ayarlayın ve tarak interlacingkapatın , satır entegrasyonu, ve çerçeve ortalama. ışın kontrol sekmesinde tbmtor'u 0'a ayarlayın ve ışın kaydırma 2d ayarlayıcısına sağ tıklayın ve sıfır'ıseçin.
  10. MUI panelinde büyütme tonuzunu saat yönünün tersine çevirerek büyütmeyi minimum değere ayarlayın. MUI panelindeki veya Otomatik Kontrast Parlaklığı araç çubuğu simgesindeki düğümleri kullanarak görüntü parlaklığını ve kontrastını ayarlayın.
  11. Bir özelliğin üzerinde fareyi çift sola tıklatarak veya fare tekerleğine bastırıp joystick fare modunu etkinleştirerek sahneyi hareket ettirin. Sem görüntünün ortasına desenli olmak için istenilen silikon probu taşıyın.
  12. Bir kenarı veya toz parçacığı veya çizik gibi diğer özellikleri bulun. Büyütme tonmasını saat yönünde çevirerek büyütmeyi 2000 x'e yükseltin. Görüntü odaklanana kadar KABA ve ince odak düğümlerini MUI'ye çevirerek SEM'nin odağının ayarını ayarlayın. Görüntü netlince, araç çubuğundaki çalışma mesafesi düğmesine Bağlantı örneği Z'yi seçin.
  13. Gezinti sekmesindeki Z ekseni koordinatına bakarak işlemin tamamlandığını doğrulayın. Değeri yaklaşık 11 mm olmalıdır. Z ekseni pozisyonunda 4,0 mm yazın ve fare ile Go To düğmesine basın veya klavyedeki enter tuşuna basın ve sahne 4 mm çalışma mesafesine hareket edecektir.
  14. Silikon sondanın omzunu bulmak için X ve Y'deki sahneyi hareket ettirin. MÜMKÜN OLDUĞUNCA SEM merkezine yakın konumlandırın. T koordinatına "52" yazarak ve enter tuşuna basarak sahne eğimini 52° olarak değiştirin. Sondanın omzunun görüntüde yukarı veya aşağı hareket edip etmediğini gözlemleyin. Probun omzunu SEM görüntüsünün merkezine geri getirmek için Sahne Z kaydırıcısını kullanın. Sadece Z konumunu ayarlayın, X, Y, T veya R eksenini hareket ettirin.
  15. Sahne açılır menüsünde bulunan "xT Hizalama Özelliği" komutunu çalıştırın. Sondanın kenarına paralel iki noktaya tıklamak için fareyi kullanın. Açılan pencerede yatay radyo düğmesinin seçildiğinden emin olun ve bitir'e tıklayın. Sahne, probu sahnenin X ekseni ile hizalamak için döndürülür. Sondanın alt omzunu tekrar SEM görüntüsünün ortasına koymak için fareyi kullanarak X,Y'deki sahneyi ayarlayın.
    NOT: İlk nokta sondanın tutuşuna, ikinci nokta ise sondanın noktasına doğru olmalıdır.
  16. Quadrant 2'deki FIB'yi seçin ve ışın akımının hala 24 pA olduğundan emin olun. Büyütmeyi 5.000 x'e, çalışma süresini ise 100 n'ye ayarlayın. FIB odağı 13,0 mm'ye ayarlamak için klavyeye Ctrl-F yazın. Işın kontrol sekmesinde, stigmator 2d ayarlayıcısı sağ tıklayın ve sıfır seçin ve ayrıca, Sağ Beam Shift 2d ayarlayıcı ve sıfırseçin . Tetkik dönüşünü 0°'ye ayarlayın ve araç çubuğundaki otomatik kontrast parlaklık düğmesine basın.
  17. 2. çeyrekte sonda omzunun görüntüsünü arayın. FIB ile görüntü elde etmek için anlık görüntü aracını kullanın. Prob omzunun FIB görüntüsünün merkezinde olduğunu doğrulayın, değilse, merkeze taşımak için prob omzuna çift tıklayın. Klavyedeki sol ok tuşunu yaklaşık 10-15 kez iterek sahneyi sola doğru hareket ettirin. Başka bir anlık görüntü alın ve sonda tarafının hala FIB'nin merkezinde olup olmadığını gözlemleyin.
    NOT: Değilse, sahne döndürme biraz ayarlanmalıdır. Sonda görüntü merkezinin üzerindeyse, sahne negatif yönde döndürülmelidir. Sonda merkezin altındaysa, sahne saat yönünde döndürülmelidir. Probu hizalamak için hangi yöne gerekli olduğuna bağlı olarak 0,01 ile 0,2 derece arasında göreceli bir kompansente rotasyon girin.
  18. Prob omzunun kenarı sahnenin X ekseni ile mükemmel bir şekilde hizalanana kadar 2,16 ila 2,17 adımlarını gerektiğinden daha fazla tekrarlayın (kenar sola hareket ederken FIB'nin merkezinde kalır).
  19. FIB'yi kullanarak, sahneyi sondanın alt omzuna geri taşıyın. Ekle düğmesini tıklatarak sahne konumunu konum listesine kaydedin. FIB ışını akımını 2,5 nA olarak değiştirin ve FIB'nin büyütmesinin hala 5000x olduğundan emin olun. Otomatik parlaklık kontrast işlevini çalıştırın ve FIB yaşam süresini 100 ns olarak ayarlayın.
  20. Taramaya başlamak için duraklat düğmesine basın. Kaba ve İnce odak topuzlarını ve MUI panelindeki X ve Y stigmator topuzlarını kullanarak FIB odağı ve astigmatını mümkün olduğunca hızlı ve hassas bir şekilde ayarlayın. FIB taramasını durdurmak için duraklatma düğmesine basın.

3. Gravür için Otomatik Bir İşlem Yazma

  1. Yazılımı Windows başlat menüsünde (yani Başlat\Programlar\FEI Company\Applications\Nanobuilder) bularak başlatın. Kullanıcı Arabirimi'nin üzerini örtmemesi için yazılım penceresini yan monitöre yerleştirin. Dosyayı tıklatarak silikon probları desenleme için dosyayı açınve açın. Windows tarayıcısını yazılım komut dosyasının konumuna yönlendirin(Ek Dosya 1 - dosya adı "Case_Western_2000_micron_Final_11H47M_runtime.jbj").
  2. Yazılım içinde, mikroskop açılır menüsünü seçin ve aşama kaynağını ayarla'yıseçin. Yazılım içinde, mikroskop açılır menüsünü seçin ve ardından Dedektörleri Kalibre'iseçin.
  3. Mikroskop ui'sinde, Quad 1'i seçmek için fareyle bir kez Quad 1'i tıklatın. Açılır pencerede gösterilen diğer yönergeleri yoksay, bunlar bu proje için gerekli değildir. Kalibrasyonu başlatmak için Tamam'ı tıklatın. İşlem yaklaşık 5 dakika sürer. Diğer dedektörlerde kalibrasyon hataları varsa sorun yoktur.
  4. Yazılım içinde, mikroskop açılır menüsünü seçin ve desen dizisini başlatmak için Yürüt'ün'u seçin. Desen tamamlandığında, yazılımı kapatın.
    NOT: Yazılım desenleme ve hizalama fonksiyonları için quad 3 ve 4 devralacak. Komut dosyasının çalışması yaklaşık 12 saat sürer. Komut dosyası çalışırken, mikroskoptaki parametreyi değiştirmeyin.
  5. Mikroskop demetlerini kapatmak ve havalandırma döngüsünü başlatmak için mikroskop UI ışını kontrol sekmesinde "Vent" tuşuna basın. Hazne havalanırken, sahneyi X = 70 mm, Y = 70 mm, Z = 0 mm, T = 0°, R = 0°koordinatlarına taşıyın. Oda boşaltıldıktan sonra, temiz nitril eldivenleri giyin ve oda nın kapısını açın.
  6. 1,5 mm'lik hex anahtarı kullanarak saplama adaptöründeki set vidasını gevşetin. Desenli sondayı içeren alüminyum sapı hazneden çıkarın. Mikroskop odası nın kapısını dikkatlice kapatın. Kapıyı kapatırken Quadrant 4'teki CCD kamera görüntüsünü izleyin. Sahne adaptörünü mikroskop odasındaki herhangi bir kritik bileşenden güvenli bir mesafede olduğundan emin olun.
  7. Işın kontrol sekmesindeki Pompa düğmesinin yanındaki aşağı ok'u seçin. Oda vakum pompasını başlatmak için Pompa düğmesini seçin. Pompa çalışırken kapının yüzüne hafifçe bastırarak kapının mühürlü olduğundan emin olun.
    NOT: Bir vakum mührü, sistem vakum altında ysa kapalı kalması gereken oda kapısını hafifçe çekerek doğrulanabilir. Pompalama süresi yaklaşık 5 dk olacaktır. Sondanın yalnızca bir tarafı tek bir çalışma sırasında kazınabilir.
  8. Sondanın ön ve arka yüzü gravür gerektiriyorsa, son gravürü kontrol ettikten ve ön tarafı görüntüledikten sonra (görüntüler gerekiyorsa) silikon probların kazınan şeridini dikkatlice çıkarın. Gümüş boyanın üzerine aseton sürerek/fırçalayarak gümüş boyayı aseton ile eritin. Şeridi dikkatlice arka tarafa çevirin, yeniden monte edin, hizalayın ve yukarıda açıklanan adımları izleyerek aşın.

4. Son Etch ve Görüntüleme Kontrol

  1. Frezeleme tamamlandıktan sonra, daha yüksek bir büyütmede SEM görüntüleme kullanarak farklı bölümlerin tekdüzeliğini doğrulayın.
    NOT: Eğik açıda görüntüleme frezeleme derinliğindeki değişimin daha iyi değerlendirilmesini sağlar. Frezeleme yerleri arasındaki geçiş bölgelerine özel önem verilmelidir.
  2. Optik mikroskopla frezelemeden sonra örnekleri tekrar görüntüleyin.
    NOT: Periyodik öğütülmüş çizgiler, görüntüleme açısının bir fonksiyonu olarak farklı renklerde meydana gelen bir kırılma etkisiile sonuçlanır. Renk sonda ile birlikte sürekli değilse, öğütülmüş çizgilerde bozulma açık bir göstergesidir.

5. FIB Gravür için Fonksiyonel Silikon Prob Montajı

  1. Fonksiyonel silikon elektrotunu ambalajından yavaşça çıkarın. Baş sahnesini kaplayan plastik koruyucu sekmeyi dikkatlice kaldırmak için forseps kullanın. Sekmenin bir köşesini yerinde tutan yapışkan tutkaldan kaldırmaya başlayın ve tüm elektrot kaldırılana kadar kaldırmaya devam edin.
  2. Stereotaksik çerçeveye monte edilmeye hazırlanmak için elektrodu hemostatlarla dikkatlice kenetle. Kapalı sekmeyi forcep'lerle tutarken, silikon sapın üzerindeki yeşil şaftın etrafına kavisli hemostatları yavaşça yerleştirin, hemostatların eğri kısmı sekmeye doğru yukarı bakacak şekilde. hemostatlar.
  3. Baş aşamasını kaplayan plastik koruyucu sekmeyi yavaşça çıkarın. Elektrodu hemostatlarla tutarken, elektrodu temizleme için stereotaksik çerçeveye dikkatlice kesin olarak kesin olarak kesin.
  4. 3 Petri kabını %95 etanol (petri kabı başına~10 mL) ile doldurun. Petri kabını, temizlik için stereotaksik çerçeveye monte edilen elektrotun altına yerleştirin. Mikromanipülörü aşağı doğru (100 μm/s) aşağı çevirerek elektrotu yavaşça düşürün, böylece sap %95 etanolün içine batırılır.
    NOT: Mikromanipülörü çok hızlı veya çok derine çevirmemeye dikkat edin, bu elektrotun kırılmasına neden olabilir (yani, elektrot Petri kabına dokunmamalıdır).
  5. Elektrot sapını %95 etanolde 5 dakika bekletin ve mikromanipülörü yukarı doğru çevirerek elektrotu yavaşça %95 etanolün dışına kaldırın (100 μm/s). Toplam üç yıkıntı için bu adımı iki kez daha tekrarlayın. Elektrotun beş dakika kurumasını bekleyin.
  6. Elektrot stereotaksik çerçeve içine elektrot montaj için aynı tekniği kullanın, stereotaksik çerçeve elektrot kaldırmak için. Hemostatları elektrotun şaftının etrafına dikkatlice yerleştirin. Hemostatlar sıkıca bağlandıktan sonra, elektrotstereotaksik çerçeveden serbest bırakın, baş sahnesini kaplayan plastik koruyucu sekmeyi iade edin ve temizlenmiş elektrodu ambalajına geri koyun.

6. FIB kullanarak Etching Fonksiyonel Silikon Probu

  1. Temizlenmiş fonksiyonel silikon elektrodu alüminyum bir standın üzerine monte edin. Temizlenmiş fonksiyonel silikon elektrot'u forceps kullanarak dikkatlice toplayıp koruyucu sekmeyi ana sahneden çıkarın. Elektrot sapını alüminyum sapına yerleştirin, böylece herhangi bir kenardan asmaz, sonra küçük bir parça Cu veya karbon iletken bant kullanarak, başlık sırasını alüminyum sapa sabitleyin.
    NOT: Alternatif olarak, elektrot aşağı tutmak için düşük profilli bir klips tutucu kullanılabilir. Elektrot sapına dokunmamaya dikkat edin.
  2. Yukarıda açıklanan adımları izleyerek (Bölüm 2), elektrotun ösentrik yükseklikte konumlandırın ve elektrodun SEM ve FIB ışınlarının tesadüf ilerci noktasında olduğundan emin olun. Sapı sahnenin "X" yönüyle hizala.
  3. FIB'yi gerekli nano-mimarinin öğütülmesi için en uygun akıma ayarlayın ve odaklama ve damgalamanın düzgün bir şekilde düzeltildikten emin olun. Sapın görüş alanını (500 μm kesit) kapsayacak şekilde istenilen aralık ve uzunlukta bir dizi çizgi hazırlayın. Gravür sapından ince bölümlere indikçe çizgi uzunluklarını ayarlayın.
    NOT: Fonksiyonel elektrot aşındırılırken işlemi otomatikleştirmek için fiducial işaretler eklemek mümkün değildir. Bu nedenle, alt bölümler (~500 μm) arasında hareket el ile yapılır.
  4. İlk bölümün frezeleme tamamlandıktan sonra, bir sonraki bölüme geçmeden önce frezeleme kalitesini kontrol ettiğinizden emin olun. Sapın bir sonraki bölümünü eşmek için 6.3 adımını tekrarlayın. Önceki bölümdeki frezeli çizgileri, çalıştırmalar arasında büyük boşlukları önlemek için bir sonraki bölüm için kullanılan desenlere hizalayın.

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Sonuçlar

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

FIB Tek Sap Intrakortikal Probların Yüzeylerinde Kazınan Nano Mimari
Burada açıklanan yöntemlerden yararlanılan intrakortikal problar,39 no'luprotokolleri takiben belirli nano mimarilerle kazınmıştır. Boyutları ve bu yöntemlerde açıklanan nano-mimari tasarım şekli burada açıklanan nano-mimari tasarım ile kültürlü glial hücre reaktivitesinde bir azalma gösteren önceki in vitro sonuçları uygulanmıştır37,38. Burada açıklan...

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Tartışma

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Burada özetlenen üretim protokolü, fonksiyonel olmayan ve fonksiyonel tek saplı silikon mikroelektrotların yüzeyine nano mimarileri etkili ve tekrarlı bir şekilde aşındırmak için odaklanmış iyon ışını litografisini kullanmaktadır. Odaklanmış iyon ışını (FIB) litografisi, ince odaklı iyon ışını50,51kullanarak substrat yüzeyinin seçici ablasyonunu sağlar. FIB nanoölçekli çözünürlük ve yüksek en boy oranı50,52

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Açıklamalar

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Yazarların açıklayacak bir şeyi yok.

Teşekkürler

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Bu çalışma Amerika Birleşik Devletleri (ABD) Gaziler İşleri Rehabilitasyon Araştırma ve Geliştirme Servisi ödülleri: #RX001664-01A1 (CDA-1, Ereifej) ve #RX002628-01A1 (CDA-2, Ereifej) tarafından desteklenmiştir. İçeriği, ABD Gaziler İşleri Bakanlığı'nın veya Amerika Birleşik Devletleri Hükümetinin görüşlerini temsil etmez. Yazarlar FEI Co (Şimdi Thermofisher Bilimsel bir parçası) personel yardımı ve enstrümantasyon kullanımı için teşekkür etmek istiyorum, hangi bu araştırmada kullanılan komut geliştirme de yardımcı oldu.

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Malzemeler

Bu makalede kullanılan malzemelerin listesi
AdŞirketKatalog numarasıYorumlar
16 Kanallı ZIF-Klip HeadstageTucker Davis TechnologiesZC16Kullanılan elektroda bağlı olarak headstage ve headstage tutucunun değiştirilmesi gerekebilir. https://www.tdt.com/zif-clip-digital-headstages.html
>1 metrelik kablo, TÜMÜ yaylıThomas Scientific1213F04İşlem görmemiş herhangi bir petri kabı yeterli olacaktır. https://www.thomassci.com/Laboratory-Supplies/Cell-Culture-Dishes/_/Non-Treated-Petri-Dishes?q=petri%20dish%20cell%20culture
>32 Kanallı ZIF-Clip Headstage TutucuTucker Davis TechnologiesZ-ROD32Kullanılan elektroda bağlı olarak headstage ve headstage tutucunun değiştirilmesi gerekebilir. https://www.tdt.com/zif-clip-digital-headstages.html
Aseton, İnceltici/Genişletici/Temizleyici, 30mlTed Pella16023https://www.tedpella.com/SEMmisc_html/SEMpaint.htm#anchor16062
Bebek Karıştırıcı HemostatGüzel Bilim Araçları13013-14Herhangi bir kavisli kanama durdurucu yeterli olacaktır. https://www.finescience.com/en-US/Products/Forceps-Hemostats/Hemostats/Baby-Mixter-Hemostat
Karbon İletken Bant, Çift TaraflıTed Pella16084-7Protokol, fonksiyonel elektrodu alüminyum saplamaya monte etmek için üç seçenek önerdi (bakır veya karbon iletken bant veya düşük profilli bir klips. Çalışmamızda karbon iletken bandı kullandık. https://www.tedpella.com/semmisc_html/semadhes.htm
Corning Costar İşlem Görmedi Çoklu Kuyu Plakaları - 6 kuyuluSigma AldrichCLS3736-100EAHerhangi bir işlem görmemiş 6 oyuklu plaka yeterli olacaktır. https://www.sigmaaldrich.com/catalog/substance/
Dumont #5 İnce ForsepsGüzel Bilim Araçları11251-30Ya bu ince forseps ya da vakum pompası yeterli olacaktır. https://www.finescience.com/en-US/Products/Forceps-Hemostats/Dumont-Forceps/ Dumont-5-Forseps/11251-30
Etanol, 190 kanıt (%95), USP, Decon LabsFisher Scientific22-032-600Herhangi bir %95 etanol yeterli olacaktır. https://www.fishersci.com/shop/products/ethanol-190-proof-95-usp-decon-labs-10/22032600
Falcon Hücre SüzgeciFisher Scientific08-771-1https://www.fishersci.com/shop/products/falcon-cell-strainers-4/087711
FEI, Tescan, Zeiss (ayrıca Philips, Leo, Cambridge, Leica, CamScan için), alüminyum, yivli kenar ve Oslash; 32mmTed Pella16148Kullanılan SEM makinesine bağlı olarak, farklı boyutta bir saplamaya ihtiyacınız olabilir. https://www.tedpella.com/SEM_html/SEMpinmount.htm#_16180
Fisherbrand Alüminyum Folyo, Standart ölçülü ruloFisher Scientific01-213-101Herhangi bir alüminyum folyo yeterli olacaktır. https://www.fishersci.com/shop/products/fisherbrand-aluminum-foil-7/p-306250
Fisherbrand Düşük ve Uzun Formlu PTFE Buharlaştırıcı Kaplar FisherScientific02-617-149Herhangi bir Teflon plaka yeterli olacaktır, bu, probları yıkadıktan sonra yapışmayacakları bir yüzeyde kurutmak için kullanılır. https://www.fishersci.com/shop/products/fisherbrand-low-tall-form-ptfe-evaporating-dishes-12/p-88552
>Michigan tarzı silikon fonksiyonel elektrotNeuroNexusA1x16-3mm-100-177http://neuronexus.com/electrode-array/a1x16-3mm-100-177/
Model 1772 Üniversal tutucuKOPFModel 1772Diğer stereotaksik çerçeveler ve aksesuarlar yeterli olacaktır. http://kopfinstruments.com/ Ürün/Model-1772-Evrensel-Tutucu/
Model 900-U Küçük Hayvan Stereotaksik AletKOPFModel 900-UDiğer stereotaksik çerçeveler ve aksesuarlar yeterli olacaktır. http://kopfinstruments.com/product/model-900-small-animal-stereotaxic-instrument1/
Model 960 AP Slayt Montajlı Elektrot ManipülatörüKOPFModel 960Diğer stereotaksik çerçeveler ve aksesuarlar yeterli olacaktır. http://kopfinstruments.com/product/model-1772-universal-holder/
Parafilm M 10cm x 76.2m (4" x 250')Ted Pella807-5https://www.tedpella.com/grids_html/807-2.htm
>PELCO Vakumlu Toplama Sistemi, 220VTed Pella520-1-220Ya bu vakum pompası ya da ince forseps yeterli olacaktır. http:// www.tedpella.com/grids_html/Vacuum-Pick-Up-Systems.htm#anchor-520
PELCO İletken Gümüş BoyaTed Pella16062https://www.tedpella.com/SEMmisc_html/SEMpaint.htm#anchor16062
>SEM FIB FEI Helios 650 NanolabThermo Fisher BilimselHelios G2 650Bu, protokolde kullanılan spesifik odaklanmış iyon demeti ve taramalı elektron mikroskobudur. Nanobuilder yazılımı, beraberinde gelen şeydir. Farklı bir FIB aracı kullanılırsa, protokolle, özellikle de Nanobuilder yazılımını gerektiren adımlarla tamamen uyumlu olmayabilir. https://www.fei.com/products/dualbeam/helios-nanolab/

Kaynaklar

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Salcman, M., Bak, M. J. A new chronic recording intracortical microelectrode. Medical and Biological Engineering. 14 (1), 42-50 (1976).
  2. Im, C., Seo, J. -M. A review of electrodes for the electrical brain signal recording. Biomedical Engineering Letters. 6 (3), 104-112 (2016).
  3. Donoghue, J. Bridging the Brain to the World: A Perspective on Neural Interface Systems. Neuron. 60 (3), 511-521 (2008).
  4. Gilja, V., et al. Clinical translation of a high-performance neural prosthesis. Nature medicine. 21 (10), 1142-1145 (2015).
  5. Wolpaw, J. R., McFarland, D. J. Control of a two-dimensional movement signal by a noninvasive brain-computer interface in humans. Proceedings of the National Academy of Sciences. 101 (51), 17849-17854 (2004).
  6. Ajiboye, A. B., et al. Restoration of reaching and grasping in a person with tetraplegia through brain-controlled muscle stimulation: a proof-of-concept demonstration. Lancet. 389 (10081), 1821-1830 (2017).
  7. Polikov, V. S., Tresco, P. A., Reichert, W. M. Response of brain tissue to chronically implanted neural electrodes. Journal of Neuroscience Methods. 148 (1), 1-18 (2005).
  8. Barrese, J. C., et al. Failure mode analysis of silicon-based intracortical microelectrode arrays in non-human primates. Journal of Neural Engineering. 10 (6), 066014(2013).
  9. McConnell, G. C., et al. Implanted neural electrodes cause chronic, local inflammation that is correlated with local neurodegeneration. Journal of Neural Engineering. 6 (5), 056003(2009).
  10. Potter, K. A., Buck, A. C., Self, W. K., Capadona, J. R. Stab injury and device implantation within the brain results in inversely multiphasic neuroinflammatory and neurodegenerative responses. Journal of Neural Engineering. 9 (4), 046020(2012).
  11. Biran, R., Martin, D. C., Tresco, P. A. Neuronal cell loss accompanies the brain tissue response to chronically implanted silicon microelectrode arrays. Experimental Neurology. 195 (1), 115-126 (2005).
  12. Kozai, T. D., Jaquins-Gerstl, A. S., Vazquez, A. L., Michael, A. C., Cui, X. T. Brain tissue responses to neural implants impact signal sensitivity and intervention strategies. ACS Chemical Neurosciences. 6 (1), 48-67 (2015).
  13. Jorfi, M., Skousen, J. L., Weder, C., Capadona, J. R. Progress towards biocompatible intracortical microelectrodes for neural interfacing applications. Journal of Neural Engineering. 12 (1), 011001(2015).
  14. Michelson, N. J., et al. Multi-scale, multi-modal analysis uncovers complex relationship at the brain tissue-implant neural interface: new emphasis on the biological interface. Journal of Neural Engineering. 15 (3), 033001(2018).
  15. Saxena, T., et al. The impact of chronic blood-brain barrier breach on intracortical electrode function. Biomaterials. 34 (20), 4703-4713 (2013).
  16. Potter, K. A., et al. The effect of resveratrol on neurodegeneration and blood brain barrier stability surrounding intracortical microelectrodes. Biomaterials. 34, 7001-7015 (2013).
  17. Ravikumar, M., et al. The Roles of Blood-derived Macrophages and Resident Microglia in the Neuroinflammatory Response to Implanted Intracortical Microelectrodes. Biomaterials. 0142 (35), 8049-8064 (2014).
  18. Hermann, J., Capadona, J. Understanding the Role of Innate Immunity in the Response to Intracortical Microelectrodes. Critical Reviews in Biomedical Engineering. 46 (4), 341-367 (2018).
  19. Ereifej, E. S., et al. Implantation of Intracortical Microelectrodes Elicits Oxidative Stress. Frontiers in Bioengineering and Biotechnology. , https://doi.org/10.3389/fbioe.2018.00009 (2018).
  20. Block, M. L., Zecca, L., Hong, J. S. Microglia-mediated neurotoxicity: uncovering the molecular mechanisms. Nature Reviews Neuroscience. 8 (1), 57-69 (2007).
  21. Nguyen, J. K., et al. Influence of resveratrol release on the tissue response to mechanically adaptive cortical implants. Acta Biomaterialia. 29, 81-93 (2016).
  22. Salatino, J. W., Ludwig, K. A., Kozai, T. D., Purcell, E. K. Glial responses to implanted electrodes in the brain. Nature Biomedical Engineering. 1 (11), 862(2017).
  23. Block, M. L., Zecca, L., Hong, J. -S. Microglia-mediated neurotoxicity: uncovering the molecular mechanisms. Nature Reviews Neuroscience. 8 (1), 57-69 (2007).
  24. Biran, R., Martin, D., Tresco, P. Neuronal cell loss accompanies the brain tissue response to chronically implanted silicon microelectrode arrays. Experimental Neurology. 195 (1), 115-126 (2005).
  25. Liu, X., et al. Stability of the interface between neural tissue and chronically implanted intracortical microelectrodes. IEEE Transactions on Rehabilitation Engineering. 7 (3), 315-326 (1999).
  26. Ereifej, E. S., et al. The Neuroinflammatory Response to Nanopatterning Parallel Grooves into the Surface Structure of Intracortical Microelectrodes. Advanced Functional Materials. , (2017).
  27. Nguyen, J. K., et al. Mechanically-compliant intracortical implants reduce the neuroinflammatory response. Journal of Neural Engineering. 11 (5), 056014(2014).
  28. Wei, X., et al. Nanofabricated Ultraflexible Electrode Arrays for High-Density Intracortical Recording. Advanced Science. , 1700625(2018).
  29. Patel, P. R., et al. Chronic in vivo stability assessment of carbon fiber microelectrode arrays. Journal of Neural Engineering. 13 (6), 066002(2016).
  30. Chen, R., Canales, A., Anikeeva, P. Neural recording and modulation technologies. Nature Reviews Materials. 2 (2), 16093(2017).
  31. Kim, Y., et al. Nano-Architectural Approaches for Improved Intracortical Interface Technologies. Frontiers in Neuroscience. 12, (2018).
  32. Millet, L. J., Bora, A., Sweedler, J. V., Gillette, M. U. Direct cellular peptidomics of supraoptic magnocellular and hippocampal neurons in low-density co-cultures. ACS Chemical Neurosciences. 1 (1), 36-48 (2010).
  33. Ding, H., Millet, L. J., Gillette, M. U., Popescu, G. Actin-driven cell dynamics probed by Fourier transform light scattering. Biomedical Optical Express. 1 (1), 260-267 (2010).
  34. Kotov, N. A., et al. Nanomaterials for Neural Interfaces. Advanced Materials. 21 (40), 3970-4004 (2009).
  35. Curtis, A. S., et al. Cells react to nanoscale order and symmetry in their surroundings. IEEE Trans Nanobioscience. 3 (1), 61-65 (2004).
  36. Zervantonakis, I. K., Kothapalli, C. R., Chung, S., Sudo, R., Kamm, R. D. Microfluidic devices for studying heterotypic cell-cell interactions and tissue specimen cultures under controlled microenvironments. Biomicrofluidics. 5 (1), 13406(2011).
  37. Ereifej, E. S., et al. Nanopatterning effects on astrocyte reactivity. Journal of Biomedical Materials Research Part A. 101 (6), 1743-1757 (2013).
  38. Ereifej, E. S., Cheng, M. M. -C., Mao, G., VandeVord, P. J. Examining the inflammatory response to nanopatterned polydimethylsiloxane using organotypic brain slice methods. Journal of Neuroscience Methods. 217 (1-2), 17-25 (2013).
  39. Ereifej, E. S., et al. The Neuroinflammatory Response to Nanopatterning Parallel Grooves into the Surface Structure of Intracortical Microelectrodes. Advanced Functional Materials. 28 (12), 1704420(2018).
  40. Buzsáki, G. Large-scale recording of neuronal ensembles. Nature Neuroscience. 7 (5), 446-451 (2004).
  41. Mullen, R. J., Buck, C. R., Smith, A. M. NeuN, a neuronal specific nuclear protein in vertebrates. Development. 116 (1), 201-211 (1992).
  42. Rennaker, R. L., Miller, J., Tang, H., Wilson, D. A. Minocycline increases quality and longevity of chronic neural recordings. Journal of Neural Engineering. 4 (2), 1-5 (2007).
  43. Sladek, Z., Rysanek, D. Expression of macrophage CD14 receptor in the course of experimental inflammatory responses induced by lipopolysaccharide and muramyl dipeptide. Veterinarni Medicina. 53 (7), 347-357 (2008).
  44. Janova, H., et al. CD14 is a key organizer of microglial responses to CNS infection and injury. Glia. , (2015).
  45. Ziegler-Heitbrock, H. W. L., Ulevitch, R. J. CD14: Cell surface receptor and differentiation marker. Immunology Today. 14 (3), 121-125 (1993).
  46. Lowenstein, C. J., Padalko, E. iNOS (NOS2) at a glance. Journal of Cell Science. 117 (14), 2865-2867 (2004).
  47. Aktan, F. iNOS-mediated nitric oxide production and its regulation. Life Sciences. 75 (6), 639-653 (2004).
  48. Kozai, T. D., et al. Comprehensive chronic laminar single-unit, multi-unit, and local field potential recording performance with planar single shank electrode arrays. Journal of Neurosciences Methods. 242, 15-40 (2015).
  49. Kozai, T. D., et al. Mechanical failure modes of chronically implanted planar silicon-based neural probes for laminar recording. Biomaterials. 37, 25-39 (2015).
  50. Raffa, V., Vittorio, O., Pensabene, V., Menciassi, A., Dario, P. FIB-nanostructured surfaces and investigation of bio/nonbio interactions at the nanoscale. IEEE Transactions on Nanobioscience. 7 (1), 1-10 (2008).
  51. Lehrer, C., Frey, L., Petersen, S., Ryssel, H. Limitations of focused ion beam nanomachining. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. 19 (6), 2533-2538 (2001).
  52. Watkins, R., Rockett, P., Thoms, S., Clampitt, R., Syms, R. Focused ion beam milling. Vacuum. 36 (11-12), 961-967 (1986).
  53. Veerman, J., Otter, A., Kuipers, L., Van Hulst, N. High definition aperture probes for near-field optical microscopy fabricated by focused ion beam milling. Applied Physics Letters. 72 (24), 3115-3117 (1998).
  54. Lanyon, Y. H., Arrigan, D. W. Recessed nanoband electrodes fabricated by focused ion beam milling. Sensors and Actuators B: Chemical. 121 (1), 341-347 (2007).
  55. Menard, L. D., Ramsey, J. M. Fabrication of sub-5 nm nanochannels in insulating substrates using focused ion beam milling. Nano Letters. 11 (2), 512-517 (2010).
  56. Ziberi, B., Cornejo, M., Frost, F., Rauschenbach, B. Highly ordered nanopatterns on Ge and Si surfaces by ion beam sputtering. Journal of Physics: Condensed Matter. 21 (22), 224003(2009).
  57. Reyntjens, S., Puers, R. A review of focused ion beam applications in microsystem technology. Journal of Micromechanics and Microengineering. 11 (4), 287(2001).
  58. Heyderman, L., David, C., Kläui, M., Vaz, C., Bland, J. Nanoscale ferromagnetic rings fabricated by electron-beam lithography. Journal of Applied Physics. 93 (12), 10011-10013 (2003).
  59. Baquedano, E., Martinez, R. V., Llorens, J. M., Postigo, P. A. Fabrication of Silicon Nanobelts and Nanopillars by Soft Lithography for Hydrophobic and Hydrophilic Photonic Surfaces. Nanomaterials. 7 (5), 109(2017).
  60. Eom, H., et al. Nanotextured polymer substrate for flexible and mechanically robust metal electrodes by nanoimprint lithography. ACS Applied Materials & Interfaces. 7 (45), 25171-25179 (2015).
  61. Li, K., Morton, K., Veres, T., Cui, B. 5.11 Nanoimprint Lithography and Its Application in Tissue Engineering and Biosensing. Comprehensive Biotechnology. , 125-139 (2011).
  62. Dong, B., Zhong, D., Chi, L., Fuchs, H. Patterning of conducting polymers based on a random copolymer strategy: Toward the facile fabrication of nanosensors exclusively based on polymers. Advanced Materials. 17 (22), 2736-2741 (2005).
  63. Dalby, M. J., Gadegaard, N., Wilkinson, C. D. The response of fibroblasts to hexagonal nanotopography fabricated by electron beam lithography. Journal of Biomedical Materials Research Part A. 84 (4), 973-979 (2008).
  64. Tseng, A. A., Chen, K., Chen, C. D., Ma, K. J. Electron beam lithography in nanoscale fabrication: recent development. IEEE Transactions on Electronics Packaging Manufacturing. 26 (2), 141-149 (2003).
  65. Yang, Y., Leong, K. W. Nanoscale surfacing for regenerative medicine. Wiley Interdisciplinary Reviews: Nanomedicine and Nanobiotechnology. 2 (5), 478-495 (2010).
  66. Vermeij, T., Plancher, E., Tasan, C. Preventing damage and redeposition during focused ion beam milling: The "umbrella" method. Ultramicroscopy. 186, 35-41 (2018).

Erişim kısıtlı. Bu içeriği görüntülemek için lütfen giriş yapın veya deneme sürümünü başlatın.

Yeniden basım ve izinler

Bu JoVE makalesinin metnini veya şekillerini yeniden kullanmak için izin iste

İzin iste

Etiketler

Nano mimari A nd rmaMikroelektrot Modifikasyonuntrakortikal ElektrotlarBiyouyumlulu un Art r lmasY zey DesenlemeSEM FIB G r nt lemeSilikon Prob Haz rlamaN ronal Yo unluk AnaliziElektrofizyolojik Performans

İlgili makaleler