Odaklanmış İyon Işınları

1. Böbreklerin endotel sitoplazması ile ölçek olarak karşılaştırılabilir 300 nm kalınlığında bir silikon oksit zarından delikli bir filtrenin imalatı

1. Hazırlandığı gibi membranı FIB haznesine yükleyin. Membranlar genellikle profesyoneller tarafından hazırlanır (Wheatstone köprüleri oluştururken) ve yarı iletken üretim sahalarından edinilebilir. Kendiniz hazırlamak için fotolitografi kullanılmalıdır. Bu işlemin detayları, JoVE web sitesinde yer alan "Biyomühendislik Koleksiyonu"nun fotolitografi videosunda görülebilir. NOT: Numuneyi tutarken veya FIB/SEM'in herhangi bir dahili bileşeniyle temas ederken nitril eldiven giydiğinizden emin olun. Ortam çok temiz tutulmalı ve cilt yağlarından arındırılmalıdır.
2. Odaklanmış iyon demetini ve elektron tabancasını açın ve çakışan-ösantrik noktayı elde etmek için numuneyi ayarlayın. Bu, 0-54 derece arasında değişen eğim açıları için ilgi alanının (zar) elektron ve iyon çizgisinde olduğu noktadır.

3. FIB'nin iyon ışını akımını ve hızlanma voltajını 30kV ve 100pA'ya ayarlayın ve frezelenecek alana yakın bir alana odaklanın. FIB frezeleme programı boyunca yaklaşık 50 nm çapında ve merkezden merkeze mesafesi 150 nm olan bir daire matrisi çizin (bkz. Şekil 1).
4. Elektron demetine geçin ve alanı 5kV'luk bir hızlanma voltajında görüntüleyin.

Şekil 1: FIB, silikon oksit membranda parçacık filtresi oluşturan delikler açmıştır.

2. Saç teline logo dikmek

1. Karbon bant kullanarak mikroskop sapına bir saç teli koyun
2. Altın/Karbon, bir püskürtme kaplayıcı kullanarak saç telini kaplayın. Bu araç, numuneyi iletken bir malzemenin birkaç nanometresinde kaplar, böylece minimum şarj artefaktları ile görüntülenebilir/püskürtülebilir.
3. Odaklanmış iyon ışınını ve elektron tabancasını açın ve çakışan-ösantrik noktayı ayarlayın.
4. İyon ışını akımını ve hızlanma voltajını sırasıyla 100pA açıklıkla 30kV'a ayarlayın ve frezelenecek alana yakın yaklaşık 15um x 15um'luk bir alana odaklanın.
5. Frezelenecek deseni/logoyu bir bitmap olarak yükleyin ve ışın akımını ve hızlanma voltajını ayarlayın ve frezelemeyi başlatın.
6. Elektron demetine geçin ve alanı görüntüleyin. Bu, Şekil 2'de gösterilmiştir.

Şekil 2: "Mutlu Bayramlar", FIB ile bir örümcek ağı üzerinde öğütülmüş.