Weiche Lithographie ist eine schnelle, einfache und kostengünstige Fertigungsverfahren, die erfolgreich eingesetzt wurden, um die komplexe Kanäle von mikrofluidischen Systemen Muster. In der Elektronik-Industrie bezeichnet Lithographie den Prozess der Mikrofabrikation mit Licht und lichtempfindliche Polymere auf Muster Teile aus einer dünnen Schicht oder die Masse eines Substrats. Der Begriff weiche Lithographie bezieht sich auf die Verwendung von weichen elastomeren Materialien wie Polydimethylsiloxan oder PDMS diese Techniken durchführen. In diesem Video zeigen wir die verschiedenen Arten von weichen Lithographie Techniken gefolgt durch ein Protokoll zeigen die Herstellung eines mikrofluidischen Geräts. Zu guter Letzt werden wir sehen, wie Forscher in verschiedenen Bereichen weichen Lithographie zu ihrem Vorteil nutzen.
Zunächst betrachten wir die am häufigsten verwendeten weichen Lithographie-Techniken. Der erste Schritt in diese Techniken ist die Herstellung von der master-Form. Dies geschieht mit traditionellen Fotolithografie, die Licht und ein lichtempfindliches Material namens Photolack verwendet, um das gewünschte Muster auf einem Substrat wie Silizium zu erstellen. Photolithographie im Detail zu erfahren, finden Sie in einem früheren Video in dieser Sammlung von Jupiter. Der zweite Schritt ist ein Elastomer auf diesem master-Form gießen und dann heilen sie. Dadurch wird den flexible Elastomeren Stempel tragen die Relief-Funktionen die in die verschiedenen Techniken der weiche Lithographie auf unterschiedliche Weise verwendet wird. Die Grundsatz-Transfer mit der Besetzung Stempel sind Druck, Spritzgießen, Phasenverschiebung optische Lithografie, mechanische Schneiden und gießen. Im Druck ist der Stempel zunächst mit einer übertragbaren Tinte wie Octadecanethiol oder ODT, die dann auf dem Substrat, wie Gold gelegt wird beschichtet. Wenn der Stempel entfernt wird, wird nur die Tinte von der erhöhten Stempel-Oberfläche auf der Substratoberfläche eingeprägt. So repliziert Drucken direkt nanoskaligen Eigenschaften auf das Substrat. In einer anderen Technik namens Formteil ist der Stempel selbst als Form verwendet. Hier, der Stempel in ein noch nicht ausgehärteten Polymer gepresst und dann geheilt. Dann wird die Form abgeschält, um das Muster von den Stempel zu offenbaren. Wie drucken, Spritzgießen auch direkten Replikation von nanoskaligen Eigenschaften auf das Substrat führt. In die dritte Technik, genannt Phase Shift-Rand Lithografie ist zunächst das Substrat mit den Fotolack beschichtet. Dann der Stempel wird auf das beschichtete Substrat gelegt und Licht wird durch den Stempel angezeigt. Dies führt zu den Rändern der Funktionen auf den Film von Fotolack wie in traditionellen Lithographie Techniken übertragen werden. In mechanischen schneiden, aka Nanoskiving, dient der Stempel noch nicht ausgehärteten Epoxy Prepolymer, wie bei Schimmel. Dieser geformte Prepolymer ist geheilt, die dann mit einem dünnen Film aus einem Material der Wahl, zum Beispiel Gold beschichtet ist. Dieser Film ist dann in mehr Epoxy eingebettet und geheilt nach das es geschnitten ist, mit einem regungsloses, um eine Platte aus Epoxy mit dem Muster zu bilden. Schließlich ist ein Polymer in Gießen, in eine master-Form um einen Stempel zu machen gegossen. Es kann dann für die ein- und Ausläufe gestanzt und auf einem Substrat gebunden. Im folgenden Abschnitt überprüfen Sie das Protokoll für die Herstellung einer einfachen mikrofluidischen Gerät.
Zuerst bereiten Sie die master-Form mit traditionellen Lithographie Techniken. Protokolldetails finden Sie in einem früheren Video in dieser Sammlung. Der master-Form ist in der Regel auf einem Siliziumsubstrat hergestellt. Um den Stempel zu fabrizieren, zuerst bereiten Sie eine Mischung von etwa 25 Gramm von PDMS und Härtemittel im Verhältnis 10:1. Entgasen Sie dann die Mischung um Luftblasen zu entfernen. Als Nächstes platzieren des master-Form in einem Flat-Base-Container und entgast PDMS-Mischung zugießen. Jetzt Backen Sie PDMS bei 60 Grad Celsius für etwa eine Stunde, gefolgt von einer natürlichen kühle unten im Ofen auf Raumtemperatur für eine weitere Stunde. Als Nächstes schneiden Sie die PDMS aus der Form und legen Sie es mit der Dekorseite nach oben zur Vermeidung von Kontaminationen. Dann schneiden Sie die einzelnen Muster. Lochen Sie alle ein- und Ausgänge mit einem dermatologischen Locher die richtige Größe, um Flüssigkeitsströmung in und aus dem Gerät zu ermöglichen. Dann stellen Sie das PDMS-Gerät in einem Sauerstoffplasma sauberer und für etwa eine Minute zu behandeln. Halten Sie die beiden Schichten des Gerätes zusammen und richten Sie das Muster unter dem Mikroskop. Schließlich das fertige Gerät auf ein Substrat mit PDMS Bindung und Backen Sie es zu heilen. Vor Gebrauch testen Lecks durch flüssiges Wasser durch die mikrofluidische Kanäle.
Weiche Lithographie hat von der molekularen Analyse bis hin zur klinischen Diagnostik und Entwicklung von Medikamenten Anwendung gefunden. Werfen Sie einen Blick auf einige dieser Beispiele. Diese Technik kann verwendet werden, unkonventionelle Strukturen wie flexible Microposts für Mechano-Profilierung einzelner Zellen zu schaffen. Mechano-Profilerstellung bezieht sich auf die Untersuchung der mechanischen Kennwerte wie Krafteinwirkung durch Mikroorganismen auf ihre Umwelt. Nach dem Microposts hergestellt werden, dürfen die kultivierte Zellen auf ihnen wachsen. Dadurch wird die Biegung der kleine flexible Säulen, die dann gemessen werden kann, um die Kräfte, die durch die verschiedenen Arten von Zellen zu berechnen. Multilayer, multifluidic Systeme können verwendet werden, zu studieren und zu verstehen, die Auswirkungen der verschiedenen Mikroumgebungen auf Säugerzellen. Diese Systeme werden hergestellt, indem man jede einzelne PDMS-Schicht mit verschiedenen Meister-Schimmel. Dann sind die verschiedenen PDMS Abgüsse gereinigt, ausgerichtet, und übereinander geschichtet und gebacken. Die Mehrschichtigkeit des PDMS-Gerät ermöglicht die effiziente Trennung der Flüssigkeit aus den Zellen über eine semipermeable Membran PDMS. Diese Einrichtung erlaubt es den Forschern zu studieren und zu charakterisieren, die Auswirkungen der neuen Mikroumgebungen auf die Zellen durch kontrollierte Mengen an Flüssigkeiten, wie Sauerstoff oder ein neues Medium, aus dem Top-Test-Fluid-Layer für Säugerzellen am unteren mikrofluidischen diffundieren aktivieren Kanal.
Sie haben nur Jupiters Video auf weiche Lithographie angesehen. Hier haben wir die Kern-Techniken der weiche Lithographie sowie das ausführliche Protokoll der Herstellung eines PDMS mikrofluidischen Gerät als Vorbild diskutiert. Danke fürs Zuschauen.
Viele BioMEM Geräte, wie z. B. mikrofluidische Kanäle sind mit der weiche Lithographie-Technik hergestellt. Hier wird eine Microscale Muster repliziert, indem man heilt eine Elastomere Polymer über die 3D-Struktur. Diese Polymeren Strukturen werden dann verwendet, um eine Vielzahl von Geräten, mikrofluidische Kanäle für Biosensoren Anwendungen Microscale Bioreaktoren für die Visualisierung von Mikro-Kolonien bis hin zu erstellen.
Dieses Video stellt Photolithographie und demonstriert die Technik im Labor. Dann werden einige Anwendungen für die Technik und die Verwendung von Strukturen im Bereich Biotechnik untersucht.
Weiche Lithographie ist eine schnelle, einfache und kostengünstige Fertigungsverfahren, die erfolgreich eingesetzt wurden, um die komplexe Kanäle von mikrofluidischen Systemen Muster. In der Elektronik-Industrie bezeichnet Lithographie den Prozess der Mikrofabrikation mit Licht und lichtempfindliche Polymere auf Muster Teile aus einer dünnen Schicht oder die Masse eines Substrats. Der Begriff weiche Lithographie bezieht sich auf die Verwendung von weichen elastomeren Materialien wie Polydimethylsiloxan oder PDMS diese Techniken durchführen. In diesem Video zeigen wir die verschiedenen Arten von weichen Lithographie Techniken gefolgt durch ein Protokoll zeigen die Herstellung eines mikrofluidischen Geräts. Zu guter Letzt werden wir sehen, wie Forscher in verschiedenen Bereichen weichen Lithographie zu ihrem Vorteil nutzen.
Zunächst betrachten wir die am häufigsten verwendeten weichen Lithographie-Techniken. Der erste Schritt in diese Techniken ist die Herstellung von der master-Form. Dies geschieht mit traditionellen Fotolithografie, die Licht und ein lichtempfindliches Material namens Photolack verwendet, um das gewünschte Muster auf einem Substrat wie Silizium zu erstellen. Photolithographie im Detail zu erfahren, finden Sie in einem früheren Video in dieser Sammlung von Jupiter. Der zweite Schritt ist ein Elastomer auf diesem master-Form gießen und dann heilen sie. Dadurch wird den flexible Elastomeren Stempel tragen die Relief-Funktionen die in die verschiedenen Techniken der weiche Lithographie auf unterschiedliche Weise verwendet wird. Die Grundsatz-Transfer mit der Besetzung Stempel sind Druck, Spritzgießen, Phasenverschiebung optische Lithografie, mechanische Schneiden und gießen. Im Druck ist der Stempel zunächst mit einer übertragbaren Tinte wie Octadecanethiol oder ODT, die dann auf dem Substrat, wie Gold gelegt wird beschichtet. Wenn der Stempel entfernt wird, wird nur die Tinte von der erhöhten Stempel-Oberfläche auf der Substratoberfläche eingeprägt. So repliziert Drucken direkt nanoskaligen Eigenschaften auf das Substrat. In einer anderen Technik namens Formteil ist der Stempel selbst als Form verwendet. Hier, der Stempel in ein noch nicht ausgehärteten Polymer gepresst und dann geheilt. Dann wird die Form abgeschält, um das Muster von den Stempel zu offenbaren. Wie drucken, Spritzgießen auch direkten Replikation von nanoskaligen Eigenschaften auf das Substrat führt. In die dritte Technik, genannt Phase Shift-Rand Lithografie ist zunächst das Substrat mit den Fotolack beschichtet. Dann der Stempel wird auf das beschichtete Substrat gelegt und Licht wird durch den Stempel angezeigt. Dies führt zu den Rändern der Funktionen auf den Film von Fotolack wie in traditionellen Lithographie Techniken übertragen werden. In mechanischen schneiden, aka Nanoskiving, dient der Stempel noch nicht ausgehärteten Epoxy Prepolymer, wie bei Schimmel. Dieser geformte Prepolymer ist geheilt, die dann mit einem dünnen Film aus einem Material der Wahl, zum Beispiel Gold beschichtet ist. Dieser Film ist dann in mehr Epoxy eingebettet und geheilt nach das es geschnitten ist, mit einem regungsloses, um eine Platte aus Epoxy mit dem Muster zu bilden. Schließlich ist ein Polymer in Gießen, in eine master-Form um einen Stempel zu machen gegossen. Es kann dann für die ein- und Ausläufe gestanzt und auf einem Substrat gebunden. Im folgenden Abschnitt überprüfen Sie das Protokoll für die Herstellung einer einfachen mikrofluidischen Gerät.
Zuerst bereiten Sie die master-Form mit traditionellen Lithographie Techniken. Protokolldetails finden Sie in einem früheren Video in dieser Sammlung. Der master-Form ist in der Regel auf einem Siliziumsubstrat hergestellt. Um den Stempel zu fabrizieren, zuerst bereiten Sie eine Mischung von etwa 25 Gramm von PDMS und Härtemittel im Verhältnis 10:1. Entgasen Sie dann die Mischung um Luftblasen zu entfernen. Als Nächstes platzieren des master-Form in einem Flat-Base-Container und entgast PDMS-Mischung zugießen. Jetzt Backen Sie PDMS bei 60 Grad Celsius für etwa eine Stunde, gefolgt von einer natürlichen kühle unten im Ofen auf Raumtemperatur für eine weitere Stunde. Als Nächstes schneiden Sie die PDMS aus der Form und legen Sie es mit der Dekorseite nach oben zur Vermeidung von Kontaminationen. Dann schneiden Sie die einzelnen Muster. Lochen Sie alle ein- und Ausgänge mit einem dermatologischen Locher die richtige Größe, um Flüssigkeitsströmung in und aus dem Gerät zu ermöglichen. Dann stellen Sie das PDMS-Gerät in einem Sauerstoffplasma sauberer und für etwa eine Minute zu behandeln. Halten Sie die beiden Schichten des Gerätes zusammen und richten Sie das Muster unter dem Mikroskop. Schließlich das fertige Gerät auf ein Substrat mit PDMS Bindung und Backen Sie es zu heilen. Vor Gebrauch testen Lecks durch flüssiges Wasser durch die mikrofluidische Kanäle.
Weiche Lithographie hat von der molekularen Analyse bis hin zur klinischen Diagnostik und Entwicklung von Medikamenten Anwendung gefunden. Werfen Sie einen Blick auf einige dieser Beispiele. Diese Technik kann verwendet werden, unkonventionelle Strukturen wie flexible Microposts für Mechano-Profilierung einzelner Zellen zu schaffen. Mechano-Profilerstellung bezieht sich auf die Untersuchung der mechanischen Kennwerte wie Krafteinwirkung durch Mikroorganismen auf ihre Umwelt. Nach dem Microposts hergestellt werden, dürfen die kultivierte Zellen auf ihnen wachsen. Dadurch wird die Biegung der kleine flexible Säulen, die dann gemessen werden kann, um die Kräfte, die durch die verschiedenen Arten von Zellen zu berechnen. Multilayer, multifluidic Systeme können verwendet werden, zu studieren und zu verstehen, die Auswirkungen der verschiedenen Mikroumgebungen auf Säugerzellen. Diese Systeme werden hergestellt, indem man jede einzelne PDMS-Schicht mit verschiedenen Meister-Schimmel. Dann sind die verschiedenen PDMS Abgüsse gereinigt, ausgerichtet, und übereinander geschichtet und gebacken. Die Mehrschichtigkeit des PDMS-Gerät ermöglicht die effiziente Trennung der Flüssigkeit aus den Zellen über eine semipermeable Membran PDMS. Diese Einrichtung erlaubt es den Forschern zu studieren und zu charakterisieren, die Auswirkungen der neuen Mikroumgebungen auf die Zellen durch kontrollierte Mengen an Flüssigkeiten, wie Sauerstoff oder ein neues Medium, aus dem Top-Test-Fluid-Layer für Säugerzellen am unteren mikrofluidischen diffundieren aktivieren Kanal.
Sie haben nur Jupiters Video auf weiche Lithographie angesehen. Hier haben wir die Kern-Techniken der weiche Lithographie sowie das ausführliche Protokoll der Herstellung eines PDMS mikrofluidischen Gerät als Vorbild diskutiert. Danke fürs Zuschauen.
Die Softlithographie ist eine Reihe von schnellen, einfachen und kostengünstigen Herstellungsverfahren, die erfolgreich zur Strukturierung der komplexen Kanäle mikrofluidischer Systeme eingesetzt wurden. In der Elektronikindustrie bezieht sich Lithographie auf den Prozess der Mikrofabrikation, bei dem Licht und lichtempfindliche Polymere verwendet werden, um Teile einer dünnen Schicht oder den Großteil eines Substrats zu strukturieren. Der Begriff weiche Lithographie bezieht sich auf die Verwendung von weichen elastomeren Materialien wie Polydimethylsiloxan oder PDMS zur Durchführung dieser Techniken. In diesem Video veranschaulichen wir die verschiedenen Arten von Softlithographie-Techniken, gefolgt von einem Protokoll, das die Herstellung eines mikrofluidischen Geräts demonstriert. Schließlich werden wir sehen, wie Forscher in verschiedenen Bereichen die weiche Lithographie zu ihrem Vorteil nutzen.
Lassen Sie uns zunächst einen Blick auf die gebräuchlichsten Softlithographie-Techniken werfen. Der erste Schritt bei all diesen Techniken ist die Herstellung der Urform. Dies geschieht mit Hilfe der traditionellen Fotolithographie, bei der Licht und ein lichtempfindliches Material namens Fotolack verwendet werden, um das gewünschte Muster auf einem Substrat wie Silizium zu erzeugen. Um mehr über die Fotolithografie im Detail zu erfahren, sehen Sie sich bitte ein früheres Video in dieser Jove-Sammlung an. Der zweite Schritt besteht darin, ein Elastomer auf diese Urform zu gießen und anschließend auszuhärten. So entsteht der flexible Elastomerstempel mit den Reliefmerkmalen, der in den verschiedenen Weichlithographietechniken auf unterschiedliche Weise eingesetzt wird. Die Hauptübertragungsarten mit dem Gussstempel sind Drucken, Formen, optische Phasenschichtlithographie, mechanisches Trennen und Gießen. Beim Drucken wird der Stempel zunächst mit einer übertragbaren Tinte wie Octadecanthiol oder ODT beschichtet, die dann wie Gold auf das Substrat aufgebracht wird. Wenn der Stempel entfernt wird, wird nur die Tinte von der erhabenen Stempeloberfläche auf die Substratoberfläche aufgedruckt. So werden beim Drucken nanoskalige Merkmale direkt auf das Substrat repliziert. Bei einer anderen Technik, die als Formgebung bezeichnet wird, wird der Stempel selbst als Form verwendet. Hier wird der Stempel in ein nicht ausgehärtetes Polymer gepresst und anschließend ausgehärtet. Dann wird die Form abgezogen, um das Muster vom Stempel freizulegen. Wie beim Drucken kommt es auch beim Spritzgießen zu einer direkten Replikation von nanoskaligen Merkmalen auf dem Substrat. Bei der dritten Technik, der sogenannten Phasenverschiebungs-Kanten-Lithographie, wird zunächst das Substrat mit dem Fotolackmaterial beschichtet. Dann wird der Stempel auf das beschichtete Substrat gelegt und das Licht wird durch den Stempel hindurchgezeigt. Dies führt dazu, dass die Ränder der Merkmale auf den Fotolackfilm übertragen werden, wie es bei herkömmlichen Lithographietechniken beobachtet wird. Beim mechanischen Schneiden, auch bekannt als Nanoschälen, wird der Stempel verwendet, um ungehärtetes Epoxid-Prepolymer zu formen, wie beim Formen. Dieses geformte Prepolymer wird ausgehärtet und dann mit einem dünnen Film aus einem Material der Wahl, z. B. Gold, überzogen. Dieser Film wird dann in mehr Epoxidharz eingebettet und ausgehärtet, wonach er mit einem Ultramikrotom geschnitten wird, um eine Epoxidplatte mit dem Muster zu bilden. Schließlich wird beim Gießen ein Polymer in eine Urform gegossen, um einen Stempel herzustellen. Anschließend kann es für Ein- und Auslässe gestanzt und mit einem Substrat verklebt werden. Im folgenden Abschnitt sehen wir uns das Protokoll zur Herstellung eines einfachen mikrofluidischen Geräts an.
Bereiten Sie zunächst die Urform mit herkömmlichen Lithografietechniken vor. Einzelheiten zum Protokoll finden Sie in einem früheren Video in dieser Sammlung. Die Urform wird in der Regel auf einem Silikonsubstrat hergestellt. Um den Stempel herzustellen, bereiten Sie zunächst eine Mischung aus ca. 25 Gramm PDMS und Härter im Verhältnis 10:1 vor. Entgasen Sie dann das Gemisch, um alle Luftblasen zu entfernen. Stellen Sie anschließend die Urform in einen Behälter mit flachem Boden und gießen Sie die entgaste PDMS-Mischung darauf. Nun das PDMS bei 60 Grad Celsius für etwa eine Stunde backen, gefolgt von einer natürlichen Abkühlung des Ofens auf Raumtemperatur für eine weitere Stunde. Schneiden Sie anschließend das PDMS von der Form ab und setzen Sie es mit der Musterseite nach oben ein, um eine Kontamination zu vermeiden. Schneide dann die einzelnen Muster aus. Stanzen Sie alle Ein- und Auslässe mit einem dermatologischen Locher in der richtigen Größe, um den Flüssigkeitsfluss in und aus dem Gerät zu ermöglichen. Legen Sie dann das PDMS-Gerät in einen Sauerstoffplasmareiniger und behandeln Sie es etwa eine Minute lang. Kleben Sie die beiden Schichten des Geräts zusammen und richten Sie das Muster unter einem Mikroskop aus. Zum Schluss kleben Sie das fertige Gerät mit PDMS auf ein Substrat und backen es zum Aushärten. Vor dem Gebrauch auf Undichtigkeiten prüfen, indem Wasser durch die mikrofluidischen Kanäle fließt.
Die Softlithographie findet Anwendung in Bereichen, die von der molekularen Analyse über die klinische Diagnostik bis hin zur Arzneimittelentwicklung reichen. Werfen wir einen Blick auf einige dieser Beispiele. Mit dieser Technik lassen sich unkonventionelle Strukturen wie flexible Mikropfosten für die Mechano-Profilierung einzelner Zellen erzeugen. Mechano-Profiling bezieht sich auf die Untersuchung der mechanischen Parameter, wie z.B. der Kräfte, die von Mikroorganismen auf ihre Umgebung ausgeübt werden. Nachdem die Mikropfosten hergestellt wurden, lassen wir kultivierte Zellen auf ihnen wachsen. Daraus ergibt sich die Biegung der kleinen flexiblen Säulen, die dann gemessen werden können, um die Kräfte zu berechnen, die von den verschiedenen Zelltypen ausgeübt werden. Mehrschichtige, multifluidische Systeme können verwendet werden, um die Auswirkungen verschiedener Mikroumgebungen auf Säugetierzellen zu untersuchen und zu verstehen. Diese Systeme werden hergestellt, indem jede einzelne PDMS-Schicht unter Verwendung verschiedener Urformen hergestellt wird. Dann werden die verschiedenen PDMS-Umwandlungen gereinigt, ausgerichtet und übereinander geschichtet und eingebrannt. Die mehreren Schichten des PDMS-Geräts ermöglichen eine effiziente Trennung der Flüssigkeit von den Zellen über eine semipermeable PDMS-Membran. Dieser Aufbau ermöglicht es den Forschern, die Auswirkungen neuer Mikroumgebungen auf die Zellen zu untersuchen und zu charakterisieren, indem kontrollierte Mengen an Flüssigkeiten, wie Sauerstoff oder ein neues Medium, von der oberen Testflüssigkeitsschicht zu den Säugetierzellen im unteren mikrofluidischen Kanal diffundieren können.
Sie haben gerade das Video von Jove über weiche Lithografie gesehen. Hier haben wir die Kerntechniken der weichen Lithographie zusammen mit dem detaillierten Protokoll zur Herstellung eines mikrofluidischen PDMS-Geräts als Beispiel besprochen. Danke fürs Zuschauen.
Chapters in this video
0:06
Overview
1:03
Soft Lithography Techniques
4:02
Fabrication of a Microfluidic Device
5:49
Applications
7:32
Summary
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