JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Vi præsenterer et kompakt refleksion digitalt holografisk systemet (CDHM) for inspektion og karakterisering af MEMS-enheder. En linse-mindre design ved hjælp af en divergerende input bølge giver naturlig geometrisk forstørrelse demonstreres. Både statiske og dynamiske studier præsenteres.