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Methodenartikel

Trockenen Film Photoresist-basierte elektrochemische mikrofluidischen Biosensor Plattform: Gerät Fertigung, On-Chip-Test Vorbereitung und Systembetrieb

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⸱

DOI:

10.3791/56105

⸱

19. September 2017

 ,  ,  , 
1Department of Microsystems Engineering, University of Freiburg, 2Freiburg Materials Research Center, University of Freiburg, 3Department of Biosystems Science and Engineering, ETH Zurich

* These authors contributed equally

In diesem Artikel

Zusammenfassung

Eine mikrofluidischen Biosensor-Plattform wurde entworfen und hergestellt mit kostengünstigen trocken Photoresist Filmtechnik für die rasche und sensible Quantifizierung der verschiedenen Analyten. Diese Einweg-System ermöglicht das elektrochemische Auslesen der Enzym-linked-Assays auf den Chip immobilisiert mittels der Stop-Flow-Technik.

Zusammenfassung

In den letzten Jahren wurde die Biomarker-Diagnose ein unverzichtbares Werkzeug für die Diagnose der Krankheit beim Menschen, vor allem für die Point-of-Care-Diagnostik. Eine einfach zu bedienende und kostengünstige Sensorplattform ist sehr erwünscht, um verschiedene Arten von Analyten (z. B. Biomarker, Hormonen und Medikamenten) quantitativ und speziell zu messen. Aus diesem Grund wurde trockenen Film Photoresist Technologie - billig, oberflächlich und Hochdurchsatz-Fertigung - die hier vorgestellten mikrofluidischen Biosensor Herstellung verwendet. Abhängig von der Bioassay anschließend verwendet ist die vielseitige Plattform in der Lage, verschiedene Arten von Biomolekülen zu erkennen. Für die Herstellung des Geräts sind Platin-Elektroden auf eine flexible Polyimid (PI) Folie im Prozessschritt nur Reinraum-strukturiert. Die PI-Folie dient als Substrat für die Elektroden, die mit einem Epoxy-basierte Photoresist isoliert sind. Der Mikrofluidik-Kanal wird später durch die Entwicklung und Kaschierung von trockenen Film Fotolack (DFR) Folien auf die PI-Wafer erzeugt. Mithilfe einer hydrophoben anhalten Barriere im Kanal der Kanal ist aufgeteilt in zwei Bereiche: eine Immobilisierung Abschnitt für die Enzym-linked-Assay und eine elektrochemische Messzelle für die konduktometrische Signal Anzeige.

Die auf dem Chip Bioassay Immobilisierung erfolgt durch die Adsorption von Biomolekülen, die Kanal-Oberfläche. Die Glukose-Oxidase-Enzym dient als ein Wandler für elektrochemische Signalerzeugung. In Anwesenheit des Substrates, Glukose, entsteht Wasserstoffperoxid, nachgewiesen ist, auf die Platin Arbeitselektrode. Die Stop-Flow-Technik wird angewendet, um die Signalverstärkung zusammen mit schnellen Nachweis zu erhalten. Verschiedenen Biomolekülen können quantitativ mit Hilfe des eingeführten mikrofluidischen Systems, geben einen Hinweis auf verschiedene Arten von Krankheiten oder in Bezug auf therapeutische Drug monitoring, erleichtert eine personalisierte Therapie gemessen werden.

Einleitung

In den letzten zwei Jahrzehnten sind diagnostische Anwendungen für eingehende Studien über die Entwicklung der globalen öffentlichen Gesundheit elementar geworden. Traditionell werden Labor-Diagnose-Tools zur Erkennung von Krankheiten verwendet. Obwohl sie nach wie vor eine wichtige Rolle bei der Diagnose von Krankheiten spielen, Point-of-Care testing (POCT) durchgeführt, in der Nähe des Patienten oder durch den Patienten selbst in den letzten Jahren mehr und mehr alltäglich geworden. Vor allem in solchen Fällen, die eine sofortige Behandlung, wie akutem Myokardinfarkt oder Diabeteskontrolle, erfordern unbedingt die rasche Bestätigung der klinischen Befund. Daher gibt es ein wachsender Bedarf für POCT-Geräte, die von Laien bedient werden und sind gleichzeitig in der Lage präzise in-vitro- diagnostische Tests in kurzer Zeit1,2,3,4 .

Auf dem Gebiet der POCT haben bereits bemerkenswerte Verbesserungen erzielt werden. Allerdings gibt es noch viele Herausforderungen zu überwinden,5,6,7,8. Für POCT Plattform erfolgreich auf den Markt gebracht werden und mit Labordiagnostik wettbewerbsfähig zu sein, muss das Gerät streng die folgenden Anforderungen erfüllen: (i) liefern präzise und quantitative Testergebnisse, die mit Labor übereinstimmen Ergebnisse; (Ii) haben Sie kurze Beispielergebnis Zeiten, ermöglicht die sofortige Behandlung des Patienten; (Iii) verfügen über unkomplizierte und einfache Handhabung, auch wenn von ungeschulten Personen betrieben, und minimale Benutzereingriffe erfordern; und (iv) bestehen aus einer kostengünstigen Sensoreinheit für Einweg-Anwendungen konzipiert. Darüber hinaus sind Ausrüstung-kostenlose Diagnose günstig, vor allem in ressourcenarmen Umgebungen3,4,6.

Durch diese strengen Anforderungen haben nur zwei POCT-Systeme basierend auf elektrochemischen Detektion (z. B. Blutzuckerteststreifen) und lateral Flow Immunoassays (z. B. Schwangerschaftstests) erfolgreich auf dem Markt so eingeführt weit. Beide Systeme leiden jedoch Nachteile, wie schlechte Leistung (z. B. Blutzucker-monitoring hat ungenaue Testergebnisse und lateral Flow Assays liefern nur qualitative (positiv oder negativ) Messergebnisse)4, 6. Diese Nachteile herkömmlicher POCT-Systeme führten zu einer steigenden Nachfrage auf die Erforschung neuer Technologies, die schnelle, kostengünstige und quantitative Erfassung am Point of Care4,5anbieten.

Um diese Herausforderungen POCT-Geräte zu erfüllen, ist DFR Technologie vor kurzem für die Herstellung von Einweg- und kostengünstige Biosensoren9,10,11,12, beschäftigt 13 , 14. im Vergleich zu weich und flüssig lithografischen Materialien, wie z. B. PDMS oder SU-8, DFRs präsentieren viele Vorteile: sie (i) sind erhältlich in einer Vielzahl von Kompositionen und stärken (von wenigen µm bis mehrere Millimeter); (Ii) haben Sie eine sehr raue Oberfläche, die Haftung auf verschiedenen Materialien erleichtert; (Iii) Feature ausgezeichnete Dicke Gleichförmigkeit; (iv) bieten Sie billige, einfache und Hochdurchsatz-Fertigung für die Massenproduktion; (V) sind leicht mit verschiedenen kostengünstigen Tools, wie eine einfache Schere schneiden; und (vi) für die Erstellung von dreidimensionalen Strukturen, z. B. mikrofluidische Kanäle ermöglichen durch mehrere DFR Schichten übereinander stapeln.

Auf der anderen Seite haben DFRs im Allgemeinen eine relativ schlechte Auflösung im Vergleich zu flüssigen Photoresists, hervorgerufen vor allem durch die Schichtdicke und der erhöhten Abstand zwischen der Maske und der DFR aufgrund der Schutzfolie, die zusätzlich Licht ermöglicht Streuung. Dennoch sind für die Fertigung von integrierten mikrofluidischen Biosensoren, DFRs bestens geeignet für die kostengünstige Massenproduktion.

Deshalb arbeiten wir in diesem vorliegenden die Herstellung und Anwendung von einem elektrochemischen mikrofluidischen DFR-basierten Biosensor. Das ausführliche Protokoll beschreibt jeden Produktionsschritt der Biosensor-Plattform, die auf dem Chip Immobilisierung von einem DNA-basierte Modell-Assay und seinen elektrochemischen auslesen mit Hilfe der Stop-Flow-Technik. Dieses universelle Plattform ermöglicht die Erkennung von zahlreichen Arten von Biomolekülen, mit verschiedenen Assay-Technologien (z. B. Genomik, Cellomics und Proteomics) oder Assay-Formate (z.B. Wettbewerb, Sandwich, oder direkt). Basierend auf einer DFR Plattform, zeigte unsere Fraktion zuvor erfolgreich die rasche und sensible Quantifizierung der verschiedenen Analyten, einschließlich Antibiotika13,15,16 (Tetracyclin, pristinamycinresistente, und ß-Lactam-Antibiotika), Troponin ich17und Substanz P18.

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Protokoll

1. Herstellung von mikrofluidischen Biosensor verwenden DFR Technologie

  1. Vorbereitung der PI Wafer.
    1. Schnitt ein PI Substrat in 6 - In Runde Waffeln. Setzen den PI-Wafer in einem Ofen bei 120 ° C für etwa 1 h für eine Austrocknung backen.
  2. Photolithographie zunächst für den Lift-off-Prozess.
    1. Programm der Spin Coater auf eine 30-s Spinnerei Zeit bei 3.000 u/min, bei einer Beschleunigung von 2.000 u/min/s. Ort der PI-Wafer auf der Spin Coater und befestigen, Anlegen eines Vakuums. 2 mL einer Resist, ermöglichen die Lift-off, zu verzichten und das Spin Coater-Programm starten. Entfernen Sie die Wafer aus der Spin Coater und Soft-backen den PI-Wafer auf einer heißen Platte für 2 min bei 100 ° c
    2. Stellen Sie die gewünschte Maske für die Strukturierung der Elektroden auf die PI-Wafer mit bloßem Auge und setzen Sie es 400 mJ/cm 2 UV-Licht (365 nm). Ort der Wafer in einer Schüssel mit einem Resist-matching-Entwickler auf einem Orbitalschüttler gefüllt und lassen Sie es Schütteln leicht für 1 min.
    3. Nach dem Entfernen der überschüssigen Resist verwenden eine Dusche auf den PI-Wafer mit entionisiertem Wasser (VE-Wasser) auf einer nassen Bank spülen und trocknen Sie es anschließend mit Druckluft.
  3. Ablagerung von Platin für die Bildung der Elektroden.
    1. Verwenden eine standard körperliche Dampf-Abscheidung auf Kaution 200 nm von Platin auf den Wafer 19.
    2. Den Wafer in eine Schüssel legen. Geben Sie die passenden Entferner in die Schüssel und entfernen Sie der Lift-off-Resist unter leicht schütteln des Wafers auf einem Orbitalschüttler, bis alle überschüssigen Platin entfernt wird. Spülen und trocknen den PI-Wafer, wie unter Schritt 1.2.3.
  4. Zweiten Photolithographie Schritt: bilden die Isolationsschicht.
    1. Setzen den PI-Wafer in einem Ofen auf 120 ° C für 5 min zu it. dehydrieren vorgewärmt
    2. Programm der erste Schritt von einem Spin Coater, 5 s der Zeit bei 500 u/min drehen. Programmieren Sie den zweiten Schritt für 30 s bei 4.000 u/min, bei einer Beschleunigung von 700 u/min/s.
    3. Den PI-Wafer auf der Spin Coater und befestigen, Anlegen eines Vakuums. 4 mL einer entsprechenden Epoxy-basierte Photoresist vor dem Spin Coater Programmstart zu verzichten.
    4. Soft-Backen der beschichteten Wafer für 3 min bei 95 ° C auf einer heißen Platte.
    5. Stellen Sie die Maske für die Dämmschicht auf dem Wafer mit den jeweiligen Ausrichtungsmarken und ein Okular. Aussetzen den Wafer zu 100 mJ/cm 2 UV-Licht (365 nm).
    6. Für eine Post-Exposition Backen legen die Wafer auf einer vorgeheizten Herdplatte für 2 min bei 95 ° c
    7. Legen den Wafer in eine Schüssel geben und mit einem geeigneten Entwickler (z. B. 1-Methoxy-2-Propyl-Acetat für 2 min bei SU-8) auf einem Orbitalschüttler entwickeln.
    8. Den PI-Wafer zunächst mit Isopropanol abspülen und dann spülen und trocknen wie unter Schritt 1.2.3.
    9. Hard-Backen der Fotolack in einem Ofen für 3 h bei 150 ° c
  5. Plasmaunterstützte Reinigung der Elektroden.
    1. Die Photoresist-Rückstände zu entfernen, verwenden Sie Sauerstoffplasma mit einem standard-Plasma-Gerät. Starten Sie das Reinigungsprogramm mit 200-W-Niederfrequenz macht mit 100 % O 2 fließen, eine Rate von 250 Sccm und einer Gesamtzeit von 3 min.
    2. Legen Sie den PI-Wafer in der Plasmakammer, beheben die Wafer auf der geerdeten Platte mit Glasdeckel und starten das Plasmaverfahren.
  6. Silber und Silberchlorid Ablagerung: schaffen die auf dem Chip Bezugselektrode.
    1. Passivierungsschicht Platin Kontakt Pads von der Wafer mit einem Klebeband UV-empfindlich. Die Folie 5 mm Breite und 11 cm lange Streifen geschnitten und bringen Sie sie auf den Wafer, schützt die Teile nicht mit Silber hinterlegt werden.
    2. Für die silberne Abscheidung einen Laborabzug sonic Badewanne (35 kHz) hineingesteckt und legen Sie einen Behälter mit Silber Elektrolyt-Lösung (100 g/L Ag, pH 12,5) in das Bad. Das sonic Bad auf Raumtemperatur und der Leistung auf 10 % festgelegt.
      Achtung: Silber Elektrolytlösungen sind sehr giftig und sollte mit äußerster Sorgfalt behandelt werden. Die Dämpfe sollten nicht eingeatmet werden.
    3. Schließen Sie den Masse-Kontakt der Referenzelektroden an eine Konstantstromquelle. Schließen Sie die Gegenelektrode ein Silberdraht, die in der silbernen Elektrolytlösung an die Stromquelle mit standard Verbindungskabel eingetaucht ist.
    4. Setzen die Stromquelle DC und eine Stromdichte von -4,5 mA/cm 2, wodurch in einer silbernen Abscheiderate von etwa 0,3 µm/min starten die sonic Bad und lassen Sie die Stromquelle für 10 min. Spülen der Wafer mit VE-Wasser laufen
    5. Für die Chlorierung der Bezugselektrode, stecken Sie ein Schiff von 0,1 M Kaliumchlorid (KCl) Lösung der sonic Bad. Schließen Sie den Masse-Kontakt der Wafer und eine Platin-Elektrode, die in der KCl-Lösung mit der Konstantstromquelle eingetaucht ist.
    6. Setzen die Stromquelle DC und eine Stromdichte von 0,6 mA/cm 2, wodurch eine Abscheiderate von ca. 0,075 µm/min starten die sonic Bad und lassen Sie die Stromquelle für 7,5 min. laufen
    7. Nachspülen und Trocknen der PI wafer, wie unter Schritt 1.2.3.
    8. Entfernen Sie das UV-Sensitive-Band nach einer UV (365 nm) Exposition von 300 mJ/cm 2 und spülen und Trocknen der PI-Wafer, wieder wie beschrieben Schritt 1.2.3.
  7. Dritten Photolithographie Schritt: Verwendung von DFRs mikrofluidische Kanäle erstellen.
    1. Schneiden Sie die benötigten DFR-Schichten auf eine Größe ähnlich dem des Wafers (20 x 20 cm 2). Beheben Sie die gewünschte Maske auf die Belichtungseinheit zu und richten Sie die DFR-Schicht auf die Maske mit dem bloßen Auge. Beleuchten mit 250 mJ/cm 2 UV-Licht (365 nm).
    2. Entfernen Sie die Schutzfolie von der Fotolack und entwickeln der Resist für etwa 2 min (abhängig von den Strukturen) in einer 1 % Natriumcarbonat (Na 2 CO 3) Lösung mit einem standard sonic Bad (35 kHz) auf 42 ° C und einer Klanggewalt vorgewärmt von 100 %. Um die Reaktion sofort zu stoppen, Schütteln des Resists für 1 min in einem 1 % HCl Bad auf einem Orbitalschüttler. Spülen und trocknen jede DFR-Schicht, wie unter Schritt 1.2.3.
      Hinweis: Insgesamt vier DFR Schichten verarbeitet werden müssen wie in Schritt 1.7 erwähnt: ein Kanal-Ebene, einer Decklage und Rückseite zweilagig (verhindert, dass der Biosensor Biegung am Ende).
  8. Kaschierung von DFR "layers" auf dem Substrat PI.
    1. PI-Wafer auf eine Transparenz-Overhead-Folie und befestigen es mit standard Klebeband. Passen Sie die Kanalschicht DFR auf dem PI-Wafer unter dem Mikroskop, Nutzung der jeweiligen Ausrichtung Strukturen.
    2. Für die Laminierung, verwenden Sie einen standard heißen Roll Laminator und Heizen Sie die Oberwalze auf 100 ° C und der unteren Rolle bis 60 ° c Stellen Sie den Druck bis 3 Bar, mit einer Vorwärtsgeschwindigkeit von 0,3 m/min statt den Wafer mit festen DFR-Schicht in der Mitte das Laminiergerät und Starten Sie es; der DFR wird durch das Gerät geschoben. Wiederholen Sie den Schritt nach der Wafer um 180° drehen.
    3. Um zu verhindern, die Biegung der Biosensor, Laminat die beiden entwickelten Rückseite Schichten auf dem Wafer, die folgenden Schritte 1.8.1-1.8.2.
  9. Mit hydrophoben anhalten Barriere und Abdichtung des Chips.
    1. Entfernen legen die Schutzschicht von der Vorderseite des DFR-Kanalsäh indem standard Klebeband an einem Ende des DFR und nach oben herausziehen. Verwenden Sie einen Hand Dispenser mit 0,004-in Tuben um kleine Tröpfchen von gelösten Polytetrafluorethylen in die Vertiefungen der Isolierungsschicht zu verzichten. Um der Mikrofluidik-Chip zu versiegeln, Laminat DFR Deckschicht auf der Kanal-Ebene, wie in Schritt 1,8 beschrieben.
  10. Hard-Backen der mikrofluidischen Biosensor.
    1. Entfernen Sie alle schützende Folien auf dem Cover und Rückseite DFR Schichten. Schneiden Sie die Biosensoren in Streifen mit einer gewöhnlichen Schere. Heilen die Chips im Backofen bei 160 ° C für 3 h

2. Immobilisierung Testverfahren auf dem Chip

  1. Adsorption von Avidin im Bereich Immobilisierung des Kanals.
    1. Bereiten die 100 µg/mL Avidin Lösung in 10 mM Phosphat gepufferte Kochsalzlösung (PBS) bei einem pH-Wert von 7,4.
    2. Verzichten 2 µL der Avidin-Lösung auf den Einlass der Biosensor.
      Hinweis: Der Kanal durch Kapillarkräfte gefüllt, bis die Flüssigkeit die hydrophoben anhalten Barriere erreicht.
    3. Um sicherzustellen, dass die fluidische hält Halt an der Barriere während der ganzen Inkubationszeit 2 µL VE-Wasser am Ausgang des Chips verzichten. Den Chip bei 25 ° C für 1 h in einem geschlossenen Behälter inkubieren.
    4. Entfernen Sie überschüssige Reagenzien durch den Einlass des Chips durch Anlegen eines Vakuums. Waschen Sie den Kanal mit 50 µL Waschpuffer (PBS mit 0,05 % Tween 20), verzichtet auf die Steckdose während das Vakuum angewendet wird. Trocknen Sie den Kanal für 30 s, während das Vakuum angewendet wird.
  2. Blockieren die Kanal-Oberfläche, um unspezifische Bindung hemmen.
    1. Bereiten die Lösung 1 % Rinderserumalbumin (BSA) in 10 mM PBS bei einem pH-Wert von 7,4.
    2. Pipette 2 µL der 1 % BSA Lösung auf den Einlass und 2 µL VE-Wasser am Ausgang des Kanals. Inkubieren Sie den Chip bei 25 ° C für 1 h in einem geschlossenen Behälter. Entfernen Sie überschüssige Reagenzien und den Kanal zu trocknen, wie unter Schritt 2.1.4.
  3. Inkubation von DNA Oligos beschriftet mit Biotin und 6-FAM.
    1. Bereiten verschiedene Konzentrationen (0,001 bis 5 µM) der DNA-Lösung in 10 mM PBS bei einem pH-Wert von 7,4.
    2. Verzichten 2 µL von einer Konzentration der DNA-Lösung am Einlass und 2 µL VE-Wasser am Ausgang. Den Chip bei 25 ° C für 15 min in einem geschlossenen Behälter inkubieren.
    3. Wiederholen Sie Schritt 2.3.2 für die anderen DNA-Konzentrationen mit zusätzlichen Biosensor Chips.
    4. Entfernen überschüssige Reagenzien und trocknen Sie den Kanal, wie in Schritt 2.1.4 beschrieben.
  4. 6-FAM-Antikörper mit der Bezeichnung der Immobilisierung von GOx.
    1. Formulieren eine 5 µg/mL Konzentration von 6-FAM-Antikörpern in 10 mM PBS bei einem pH-Wert von 7,4.
    2. Einführen 2 µL der Antikörper-Lösung für den Einlass und 2 µL VE-Wasser an den Auslass des Kanals. Inkubieren Sie die beschriftete Antikörper bei 25 ° C für 15 min in einem geschlossenen Behälter. Entfernen Sie überschüssige Reagenzien, wie unter Schritt 2.1.4.

3. Konduktometrische Signal Erkennung mit Hilfe der Stop-Flow-Technik

  1. Vorbereitung der Substrat-Lösung zur elektrochemischen Detektion.
    1. Formulieren eine 40 mM Glukoselösung in 0,1 M PBS bei einem pH-Wert von 7,4 in Reinstwasser.
    2. Für die Vorbehandlung, bereiten Sie eine 0,1 M PBS-Lösung bei einem pH-Wert von 7,4 in Reinstwasser.
  2. Vorbehandlung der Elektroden arbeiten.
    1. Benutzen Sie den maßgeschneiderten Chip-Halter ermöglicht die einfache Platzierung des Chips und fluidische und elektrische Verbindung.
    2. Elektrisch verbinden der Biosensor zu dem Potentiostaten. Die fluidischen Kontakt des mikrofluidischen Kanals über eine Spritzenpumpe bis das Reagenz Reservoir mit maßgeschneiderten Adapter und Schläuche zu gewährleisten. Starten Sie das Notebook, das mit dem Potentiostaten verbunden ist und starten Sie die Spritze Pumpensteuerung, Steuerung durch den Chip fluidische.
    3. Die Spritzenpumpe manuell, mit 0,1 M PBS bei einer Durchflussmenge von 20 µL/min starten. An der Arbeitselektrode gegen die auf dem Chip Bezugselektrode, gelten eine Wechselspannung von 0,8 und -0,05 V für 5 s 30 Zyklen. Im Anschluss daran, oxidieren die Arbeitselektrode durch Anlegen einer Spannung von 0,8 V 60 s.
  3. Assay auslesen mit Hilfe der Stop-Flow Technik.
    1. Die Assay-Signal-Anzeige starten, warten, bis das aktuelle Messsignal stabilisiert. Stoppen Sie die Spritzenpumpe und wechseln Sie das Reagenz von 0,1 M PBS, die 40-mM Glukoselösung und starten Sie die Software auf die Spritze Pumpe Controller; Es stoppt automatisch den Fluss für 1, 2 oder 5 min und startet dann den Fluss wieder. Beobachten, die sich daraus ergebenden Spitzenstrom.
      Hinweis: Für die Analyse der Daten, die Stromspitze oder die Ladung des Peaks kann berücksichtigt werden, wie beschrieben in das Modell ein elektrochemisches Signal auslesen ( Abbildung 2).

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Ergebnisse

Design und Herstellung von mikrofluidischen Biosensor-Plattform:

Die Herstellung von mikrofluidischen Biosensor Chips wird durch photolithographische Standardtechniken beschäftigen DFR Mehrschichtigkeit auf Wafer-Ebene realisiert. Diese Herstellung Strategie stützt sich auf die Laminierung der entwickelten Schichten des DFRs auf einem Platin-gemusterten PI Substrat, Bildung von mikrofluidischen Kanälen. Eine kurze Zusammenfassung z...

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Diskussion

Das Protokoll für die Herstellung von einem mikrofluidischen elektrochemische Biosensor hier vorgestellten ermöglicht die Entwicklung einer Low-Cost, kompakt und einfach zu bedienende Plattform für die Erkennung von Biomolekülen. Abhängig von der Test anschließend auf der Biosensor verwendet können mehrere verschiedene Biomarker erkannt werden. Dies macht die Plattform sehr vielseitig und bietet breite Zugriff auf verschiedene Anwendungsbereiche von standard-diagnostische Tests (z. B. das Vorhandensein von besti...

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Offenlegungen

Die Autoren haben nichts preisgeben.

Danksagungen

Die Autoren möchte der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) für die teilweise Finanzierung dieser Arbeit unter Grant Zahlen UR 70/10-01 und UR 70/12-01.

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Materialien

Liste der in diesem Artikel verwendeten Materialien
NameUnternehmenKatalognummerKommentare
Material
PyraluxDuPontAP8525RWird als Polyimidsubstrat
verwendet MA-N 1420Micro Resist TechnologyMA-N1420Lift-off resit zur Definition der Platinabscheidung
Ma-D 533sMicro Resist TechnologyMaD533SEntwickler für MA-N1420
Platin--Material Elektroden und Kontaktpad
Ma-R 404sMicro Resist TechnologyMaR404SEntferner für MA-N1420
SU-8 3005MicroChem Corp.SU-8-3005Fotolack zur Definition des Elektrodenbereichs und als Isolierung
1-Methoxy-2-propanolacetatSigma-Aldrich108-65-6Entwickler für SU-8 3005
2-PropanolVWR8.18766.2500Entfernen des SU-8 Entwickler
1020RUltron Systems Inc.1020RUV-empfindliches Klebeband zum Schutz von Kontaktpads
Arguna SDegussa1935Für die Silberabscheidung auf der Referenzelektrode
KClMethrom62308.020Für die Chloridierung der Silber-Referenzelektrode
PyraluxDuPontPC1025Trockenfilm-Fotolack
NatriumcarbonatFluka71352Entwickler für Pyralux PC1025
ChlorwasserstoffSigma-Aldrich30720Um die Entwicklung des DFR
Teflon AF 1600DuPontAF1600Für den Einsatz der Bremsbarriere
Name<>Company<strong>KatalognummerKommentare
Ausrüstung
PA104MegaElectronics-Bubble Ätztank
FED 53Binder9010-0018Ofen
SPIN150APT-SpinCoater
Prä zithermHarry Gestigkeit GmbHPZ 28-2Heizplatte
HellasBungard Elektronik40000Belichtungseinheit
Tetra30-LF-PCDiener-Plasmaanlage
Univex 500Leybold-PhysikalischeGasphasenabscheidungsanlage Schüttler
S4ELMI-Orbitalschüttler
Sonorex Super 10 PBandelin783Schallbad
6221 DC und ACKeithley-Stromquelle
HRL 350Ozatec-Laminiereinheit
VakuumstiftEFD-Vakuumstift
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Referenzen

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