Das Verständnis des mechanischen Verhaltens mikroelektromechanischer Systembauelemente (MEMS) ist entscheidend für das Design, die Leistung und die Zuverlässigkeitdes Geräts 1,2. Konventionelle universelle Prüfmaschinen wurden weit verbreitet zur Bewertung mechanischer Eigenschaften eingesetzt; Sie sind jedoch teuer und benötigen erheblichen Platz, Personal und Ressourcen für Installation, Wartung und Betrieb3. Außerdem gibt es erhebliche Abweichungen zwischen ihren Messbereichen und denen, die zur Bewertung der mechanischen Eigenschaften von Mikrostrukturen im Kleindehnungsbereich4 erforderlich sind, da sie hauptsächlich für hohe Kraft- und große Verdrängungsbereiche bei der mechanischen Prüfung von Materialien entwickelt wurden. Daher ist Forschung an einem neuen, kostengünstigen Kompressionsprüfgerät und einer experimentellen Methode erforderlich, die im Labormaßstab mit hoher Wiederholbarkeit anwendbar ist und zuverlässige Messungen im Bereich5 mit kleiner Dehnung und geringer Kraft liefern kann.
Mehrere mechanische Prüfgeräte, die im Labormaßstab eingesetzt werden können, wurden entwickelt, um die mechanischen Eigenschaften von kleinmaßstäblichen MEMS-Geräten 6,7,8 zu charakterisieren. Die meisten dieser Geräte wurden jedoch für die Prüfung hochfester Materialien oder für spezialisierte Umgebungen entwickelt und haben daher Einschränkungen bei der zuverlässigen Messung der mechanischen Eigenschaften von MEMS-Strukturen im Bereich Kleindehnung/Kleinkraft 9,10.
Um diese Einschränkungen zu überwinden, schlagen wir ein Kleinverdrängungs-Kompressionstestsystem und eine Methode vor, die auch in kleinen Laboren eingesetzt werden kann. Die vorgeschlagene Methode ermöglicht die quantitative Bewertung des mechanischen Verhaltens eines Materials, indem während des Kompressionsprozesses kleine Verschiebungen und Kräfte gleichzeitig gemessen werden. Das System arbeitet in einem Bereich von 4,4 N Kraft und einer kontrollierten Verdrängungsgeschwindigkeit von 1 μm/s, was präzise und stabile Messungen gewährleistet. Das System ist ein kompaktes, kostengünstiges Kompressionstestsystem, das darauf ausgelegt ist, die mechanischen Eigenschaften von Mikrostrukturen im Bereich der geringen Dehnung zu bewerten.
Dieses System integriert eine Z-Stufe mit einem Kraftsensor und einer mikrocontrollerbasierten Signalerfassung, was eine gleichzeitige Messung von Kraft und Verdrängung mit hoher Präzision ermöglicht. Die Systemvalidierung erfolgte durch Rückkopplungswiderstand (RF) Kalibrierung – der Schlüsselfaktor zur Bestimmung der Verstärkung der invertierenden Verstärkerschaltung – und die Überprüfung der vertikalen Verschiebung mit einem Laserverschiebungsmessgerät, wobei bestätigt wurde, dass die Verschiebungs- und Kraftmessauflösungen 1 μm bzw. 0,01 N betrugen. Verkleinerte Proben11,12 mit einem Drittel der Standardgröße (American Society for Testing and Materials (ASTM) D575-91, Standard Test Methods for Rubber Properties in Compression)13 wurden hergestellt, und eine Kompressionstestmethode wurde entwickelt, um die mechanischen Eigenschaften von Mikrostrukturen zuverlässig im Bereich mit kleiner Verdrängung/geringer Kraftzu bewerten 14,15.
Die Spannungs-Dehnungskurven der skalierten Proben wurden sowohl mit einer kommerziellen universellen Testmaschine (MTS) als auch mit dem entwickelten Messsystem (MS) gemessen und die Ergebnisse verglichen. Aus der Steigung des anfänglichen linearen Bereichs wurde der Druckmodul mit 1,39 MPa bestimmt, was eine Abweichung von +5,3 % von zuvor in der Literatur16 angegebenen Werten aufwies. Dieser Messansatz, der Verdrängungsregelung und Kraftmessung 17,18 kombiniert, bietet einen reproduzierbaren Messrahmen, der für MEMS- und Bio-MEMS-Anwendungen geeignet ist. Dieser Ansatz bietet nicht nur einen verlässlichen Rahmen zum Verständnis des mechanischen Verhaltens von Mikrostrukturen, sondern auch eine praktische Methode zur Bewertung von Materialien in verschiedenen Bereichen, einschließlich biomedizinischer Geräte19 und Soft-Robotik20.