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DOI: 10.3791/51974-v
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Dieses Papier stellt eine 3D-additive Mikrofertigung Strategie (sog. "Mikromauerwerk ') für die flexible Fertigung von mikroelektromechanisches System (MEMS)-Strukturen und Geräte. Dieser Ansatz beinhaltet Transferdruck-basierte Montage von Mikro / nanoskaligen Materialien in Verbindung mit Rapid Thermal Annealing-fähigen Material Verbindungstechniken.
Ziel dieses Verfahrens ist es, eine auf Transferdruck basierende Mikrobaugruppe, die als Mikromauerwerk bezeichnet wird, für die dreidimensionale additive Mikrofertigung zu demonstrieren. Dies wird erreicht, indem zunächst Silikon- oder Gold-Mikroobjekte, sogenannte Tinten, auf Donorsubstraten so präpariert werden, dass sie auf gemusterten Fotolackträgern aufgehängt werden. Der zweite Schritt besteht darin, einen elastomeren Mikrospitzenstempel präzise auf eine Tinte auszurichten und eine Vorspannung mit vordefinierter Kraft auf den Stempel aufzubringen, um eine klebende Kontaktfläche zu bilden.
Zwischendurch hat sich der Stempel dann schnell zurückgezogen, um die Tinte herauszuholen. Anschließend werden der Stempel und die entnommene Tinte auf ein Empfängersubstrat übertragen, wo die Tinte sanft auf den Zielbereich gedruckt wird. Mit der kleinen Vorspannung wird der Stempel dann langsam zurückgezogen, so dass die Tinte auf dem Empfängersubstrat verbleibt.
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