Engineering
Ein Abonnement für JoVE ist erforderlich, um diesen Inhalt ansehen zu können. Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.
Kapitel
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Vi præsenterer et kompakt refleksion digitalt holografisk systemet (CDHM) for inspektion og karakterisering af MEMS-enheder. En linse-mindre design ved hjælp af en divergerende input bølge giver naturlig geometrisk forstørrelse demonstreres. Både statiske og dynamiske studier præsenteres.