Engineering
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Kapitel
Summary
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Dette arbeidet presenterer en detaljert protokoll for mikrofabrikasjon av nanostrukturert α-kvarts cantilever på en Silicon-On-Isolator (SOI) teknologi substrat starter fra epitaxial vekst av kvartsfilm med dip belegg metode og deretter nanostructuration av tynnfilm via nanoimprint litografi.