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Engineering

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JoVE Journal Engineering
Epitaxial Nanostructured α-Quartz-Folien auf Silizium
Characterization of Thermal Transport in One-dimensional Solid Materials
Journal (Engineering)
Characterization of Thermal Transport in One-dimensional Solid Materials
Electroantennography-based Bio-hybrid Odor-detecting Drone using Silkmoth Antennae for Odor Source Localization
Journal (Engineering)
Electroantennography-based Bio-hybrid Odor-detecting Drone using Silkmoth Antennae for Odor Source Localization
 
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Epitaxial Nanostructured α-Quartz-Folien auf Silizium: Vom Material zu neuen Geräten

Article DOI: 10.3791/61766-v • 11:34 min • October 6th, 2020
October 6th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS, Université de Montpellier

Kapitel

Summary
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Diese Arbeit präsentiert ein detailliertes Protokoll für die Mikrofertigung von nanostrukturierten α-Quarz-Ausleger auf einem Silizium-On-Insulator(SOI)-Technologiesubstrat ausgehend vom epitaxialen Wachstum von Quarzfolien mit dem Tauchbeschichtungsverfahren und dann der Nanostrukturierung des Dünnfilms mittels Nanoimprint-Lithographie.

Tags

Engineering Ausgabe 164 Nanoimprint Lithographie (NIL) nanostrukturierte α-Quarz SOI-Substrat piezoelektrisch Mikrofabrikation Lithographie Radierung Ausleger MEMS
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