Waiting
Login-Verarbeitung ...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Epitaxial Nanostructured α-Quartz Films on…
JoVE Journal
Engineering

Ein Abonnement für JoVE ist erforderlich, um diesen Inhalt ansehen zu können. Melden Sie sich an oder starten Sie Ihre kostenlose Testversion.

JoVE Journal Engineering
Epitaxial Nanostructured α-Quartz Films on Silicon
Micropunching Lithography for Generating Micro- and Submicron-patterns on Polymer Substrates
Journal (Engineering)
Micropunching Lithography for Generating Micro- and Submicron-patterns on Polymer Substrates
Visualization of Failure and the Associated Grain-Scale Mechanical Behavior of Granular Soils under Shear using Synchrotron X-Ray Micro-Tomography
Journal (Engineering)
Visualization of Failure and the Associated Grain-Scale Mechanical Behavior of Granular Soils under Shear using Synchrotron X-Ray Micro-Tomography
 
Click here for the English version

Epitaxial Nanostructured α-Quartz Films on Silicon: From the Material to New Devices

Article DOI: 10.3791/61766-v • 11:34 min • October 6th, 2020
October 6th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS, Université de Montpellier

Kapitel

Summary
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Ces travaux présentent un protocole détaillé pour la microfabrication du porte-à-faux nanostructuré de α quartz sur un substrat technologique silicon-on-isolateur (SOI) à partir de la croissance épitaxique du film de quartz avec la méthode de revêtement de trempette, puis la nanostructuration du film mince par lithographie nanoimprint.

Tags

Ingénierie Numéro 164 lithographie nanoimprint (NIL) nanostructures α-quartz substrat SOI piézoélectrique microfabrication lithographie gravure porte-à-faux MEMS
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter