La comprensión del comportamiento mecánico de los dispositivos de sistemas microelectromecánicos (MEMS) es crucial para el diseño, el rendimiento y la fiabilidad deldispositivo 1,2. Las máquinas universales convencionales de prueba se han utilizado ampliamente para evaluar propiedades mecánicas; sin embargo, son caros y requieren un espacio, personal y recursos considerables para su instalación, mantenimiento y operación3. Además, dado que fueron diseñados principalmente para rangos de alta fuerza y gran desplazamiento en la prueba mecánica de materiales de alta resistencia, existen discrepancias significativas entre sus rangos de medición y los necesarios para evaluar las propiedades mecánicas de microestructuras en la región4 de pequeña deformación. Por ello, se necesita investigación sobre un nuevo aparato y método experimental de prueba de compresión de bajo coste aplicable a escala de laboratorio con alta repetibilidad que pueda proporcionar mediciones fiables enla región 5 de pequeña deformación/pequeña fuerza.
Se han desarrollado varios dispositivos mecánicos de prueba que pueden utilizarse a escala de laboratorio para caracterizar las propiedades mecánicas de dispositivos MEMS a pequeñaescala 6,7,8. Sin embargo, la mayoría de estos dispositivos se desarrollaron para probar materiales de alta resistencia o para entornos especializados, por lo que tienen limitaciones para medir de forma fiable las propiedades mecánicas de las estructuras MEMS en la región de pequeña deformación/pequeña fuerza 9,10.
Para superar estas limitaciones, proponemos un sistema y método de prueba de compresión de desplazamiento pequeño que puede utilizarse incluso en laboratorios de pequeña escala. El método propuesto permite la evaluación cuantitativa del comportamiento mecánico de un material midiendo simultáneamente pequeños desplazamientos y fuerzas durante el proceso de compresión. El sistema opera dentro de un rango de fuerza de 4,4 N y una velocidad de desplazamiento controlada de 1 μm/s, asegurando mediciones precisas y estables. El sistema es un sistema compacto y de bajo coste diseñado para evaluar las propiedades mecánicas de las microestructuras en la región de pequeña deformación.
Este sistema integra una etapa z con un sensor de fuerza y la adquisición de señales basada en una placa microcontroladora, permitiendo la medición simultánea de fuerza y desplazamiento con alta precisión. La validación del sistema se realizó mediante calibración de resistencias de realimentación (R F), el factor clave para determinar la ganancia del circuito amplificador inversor, y verificación del desplazamiento vertical mediante un medidor láser, confirmando que las resoluciones de desplazamiento y fuerza eran de 1 μm y 0,01 N, respectivamente. Se fabricaron muestrasreducidas 11,12, con un tercio del tamaño estándar (American Society for Testing and Materials (ASTM) D575-91, Standard Test Methods for Rubber Properties in Compress)13, y se derivó un método de prueba de compresión para evaluar de forma fiable las propiedades mecánicas de las microestructuras en la región de desplazamiento pequeño/baja fuerza14,15.
Las curvas tensión-deformación de las muestras escaladas se midieron tanto con una máquina de ensayo universal comercial (MTS) como con el sistema de medición desarrollado (MS), y se compararon los resultados. A partir de la pendiente de la región lineal inicial, se determinó que el módulo de compresión era de 1,39 MPa, lo que mostró una desviación del +5,3% respecto a los valores previamente informados en laliteratura 16. Este enfoque de medición, que combina control de desplazamiento y mediciónde fuerzas 17,18, proporciona un marco de medición reproducible adecuado para aplicaciones MEMS y bio-MEMS. Este enfoque no solo proporciona un marco fiable para comprender el comportamiento mecánico de las microestructuras, sino que también ofrece un método práctico para evaluar materiales en diversos campos, incluyendo dispositivos biomédicos19 y robóticablanda 20.