En Desglose dieléctrica Situ dependiente del tiempo en el microscopio electrónico de transmisión: una posibilidad de comprender el mecanismo de falla en los dispositivos microelectrónicos

La ruptura dieléctrica dependiente del tiempo (TDDB) en las pilas de interconexión en chip es uno de los mecanismos de fallo más críticos para los dispositivos microelectrónicos. Este artículo demuestra el procedimiento de un experimento in situ de TDDB en el microscopio electrónico de transmisión, que abre la posibilidad de estudiar el mecanismo de fallo en productos microelectrónicos.